一种安全性高的退火炉的制作方法

本技术涉及退火炉，具体涉及一种安全性高的退火炉。

背景技术：

1、退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

2、例如公开号为cn214830516u的中国专利，其中提出了一种安全可靠的退火炉，该专利设置了鼓风管和抽风管，在配合风机、多个鼓风内管和多个抽风内管的使用下，可以借助一个风机同时产生气流和负压吸力，利用气流将落入在加热结构处的氧化皮吹起，同时借助负压吸力将吹起的氧化皮抽走，鼓风和抽取结构设置在加热结构的底部，无需等待退火炉主体停机完全降温后也可进行清理操作，清理时间更加任意、灵活，且无需人员伸入到退火炉主体内部进行清理，安全性更高，同时也会避免因清理操作的失误对结构的损坏，但是该方案中，由于退火炉在退火之后温度较高，在工作人员打开退火炉的门取出退火炉中的物品时，退火炉内的热气可能会向外涌出，可能会导致工作人员被涌出的热气烫伤。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种安全性高的退火炉，解决了由于退火炉在退火之后温度较高，在工作人员打开退火炉的门取出退火炉中的物品时，退火炉内的热气可能会向外涌出，可能会导致工作人员被涌出热气烫伤的问题。

2、本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

3、一种安全性高的退火炉，包括：退火炉本体，所述退火炉本体的一侧固定安装有若干个合页，所述退火炉本体的一侧设置有第一连接门与第二连接门，所述退火炉本体与所述第一连接门通过合页相连接，所述退火炉本体与所述第二连接门通过合页相连接，所述第一连接门与所述第二连接门的一侧分别固定安装有把手；散气组件，所述散气组件设置在所述第一连接门的一侧，用于将所述退火炉本体内的热气散出。

4、为了将退火炉本体内的热气散出，作为本实用新型的一种安全性高的退火炉，较佳的，所述散气组件包括：散气口，所述散气口开设在所述第一连接门的一侧，所述散气口的内部固定套接有散气框，所述散气框的两侧分别固定安装有第一固定块，所述第一固定块的一侧固定安装有螺纹柱，所述散气框的一侧设置有连接板，所述连接板的一侧固定安装有连接塞，所述连接塞与所述散气框活动套接，所述连接板的两侧分别固定安装有第二固定块，所述第二固定块的一侧开设有卡接孔，所述卡接孔与所述螺纹柱活动套接，所述螺纹柱的外圆壁面螺纹连接有螺纹环，所述连接板的一侧固定安装有连接块。

5、为了将散出的热气吹散，作为本实用新型的一种安全性高的退火炉，较佳的，所述第一连接门的一侧固定安装有固定框，所述固定框的内部设置有吹风扇。

6、为了对吹风扇进行拆卸，作为本实用新型的一种安全性高的退火炉，较佳的，所述固定框的一侧开设有两个固定槽，所述固定槽的内部一侧开设有螺纹槽，所述吹风扇的两侧分别固定安装有限制块，所述限制块的一侧开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内圆壁面螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆与所述螺纹槽通过螺纹相连接。

7、为了方便工作人员将吹风扇从固定框内取下，作为本实用新型的一种安全性高的退火炉，较佳的，所述吹风扇的一侧固定安装有手拿板。

8、为了对退火炉本体进行支撑，作为本实用新型的一种安全性高的退火炉，较佳的，所述退火炉本体的底面固定安装有若干个支撑座。

9、综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：

10、通过把手、第一连接门、退火炉本体、螺纹环、螺纹柱、连接块、连接板、连接塞与散气框之间的相互配合使用，使热气可以通过散气框从退火炉本体内散出，避免工作人员在打开第一连接门取出退火炉本体内的物品时被退火炉本体内的热气烫伤，提高了工作人员使用退火炉本体对物品进行加热时的安全性。

技术特征：

1.一种安全性高的退火炉，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种安全性高的退火炉，其特征在于：所述散气组件包括：散气口(8)，所述散气口(8)开设在所述第一连接门(4)的一侧，所述散气口(8)的内部固定套接有散气框(9)，所述散气框(9)的两侧分别固定安装有第一固定块(10)，所述第一固定块(10)的一侧固定安装有螺纹柱(11)，所述散气框(9)的一侧设置有连接板(13)，所述连接板(13)的一侧固定安装有连接塞(14)，所述连接塞(14)与所述散气框(9)活动套接，所述连接板(13)的两侧分别固定安装有第二固定块(15)，所述第二固定块(15)的一侧开设有卡接孔(16)，所述卡接孔(16)与所述螺纹柱(11)活动套接，所述螺纹柱(11)的外圆壁面螺纹连接有螺纹环(12)，所述连接板(13)的一侧固定安装有连接块(17)。

3.根据权利要求1所述的一种安全性高的退火炉，其特征在于：所述第一连接门(4)的一侧固定安装有固定框(18)，所述固定框(18)的内部设置有吹风扇(19)。

4.根据权利要求3所述的一种安全性高的退火炉，其特征在于：所述固定框(18)的一侧开设有两个固定槽(2)，所述固定槽(2)的内部一侧开设有螺纹槽(3)，所述吹风扇(19)的两侧分别固定安装有限制块(21)，所述限制块(21)的一侧开设有螺纹孔(23)，所述螺纹孔(23)的内圆壁面螺纹连接有螺纹杆(22)，所述螺纹杆(22)与所述螺纹槽(3)通过螺纹相连接。

5.根据权利要求4所述的一种安全性高的退火炉，其特征在于：所述吹风扇(19)的一侧固定安装有手拿板(20)。

6.根据权利要求1所述的一种安全性高的退火炉，其特征在于：所述退火炉本体(1)的底面固定安装有若干个支撑座(7)。

技术总结
本技术公开了一种安全性高的退火炉，其技术方案要点是：包括退火炉本体，所述退火炉本体的一侧固定安装有若干个合页，所述退火炉本体的一侧设置有第一连接门与第二连接门，所述退火炉本体与所述第一连接门通过合页相连接，所述退火炉本体与所述第二连接门通过合页相连接，所述第一连接门与所述第二连接门的一侧分别固定安装有把手，通过把手、第一连接门、退火炉本体、螺纹环、螺纹柱、连接块、连接板、连接塞与散气框之间的相互配合使用，使热气可以通过散气框从退火炉本体内散出，避免工作人员在打开第一连接门取出退火炉本体内的物品时被退火炉本体内的热气烫伤，提高了工作人员使用退火炉本体对物品进行加热时的安全性。

技术研发人员：王再宏
受保护的技术使用者：马鞍山市泰平金属制品有限公司
技术研发日：20230213
技术公布日：2024/1/13