换热装置及光伏设备的制作方法

本技术涉及光伏制造，尤其涉及一种换热装置及光伏设备。

背景技术：

1、随着光伏电池的发展，工艺对温度控制精度方面的要求也越来越高，有的工艺就会要求载板或者工艺腔体内的温度能够在一定的范围内急速的升高或降低，或者恒定在某个温度区间没有大的波动；而目前一般采用人为监控调节内部的温度，但是此种方式控制不精确，具有一定的误差性，易造成产品出现瑕疵，由此亟需一种换热装置解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种换热装置及光伏设备，通过监测的温度控制制冷源与制热源的开启或关闭，从而代替人为的控制和换热转换，提高转换的精确度和换热效率。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、换热装置，用于工艺腔体内部换热，包括：

4、换热结构，具有进液口和出液口，且所述换热结构设置有非金属导热层；

5、制热源，与所述进液口或出液口连接；

6、制冷源，与所述进液口或出液口连接；

7、温度监测结构，用于监测所述工艺腔体内部的温度，所述温度监测结构分别与所述制热源和所述制冷源连接。

8、作为优选，所述换热结构包括：

9、换热板，安装于所述工艺腔体内部；

10、若干个散热翅片，沿所述换热板的长度方向间隔设置，所述散热翅片和所述换热板均设置有所述非金属导热层；

11、具有所述进液口和所述出液口的换热管，设置于所述换热板上，且所述换热管穿设于所述散热翅片。

12、作为优选，所述进液口和所述出液口位于相对的两端，所述制热源与所述进液口连接，所述制冷源与所述出液口连接。

13、作为优选，所述非金属导热层为金刚石导热层或石墨烯导热层。

14、作为优选，所述换热装置还包括：

15、疏水管，与所述换热管的出液口连接，所述疏水管上设置有第一阀门和疏水阀，所述疏水阀设置于所述第一阀门下方。

16、作为优选，所述换热装置还包括：

17、排出管，一端与所述换热管的出液口连接，另一端连接所述制热源或收集桶，所述排出管上设置有排出阀。

18、作为优选，所述换热装置还包括：

19、冷回管，分别与所述换热管的进液口、所述制冷源的入口连接，所述冷回管上设置有第二阀门。

20、作为优选，当所述制热源与所述制冷源产生的换热介质为同一物质时，所述换热管的进液口连接有第一总液管，所述第一总液管分两路，一路连接所述冷回管，另一路连接所述制热源，所述换热管的出液口连接有第二总液管，所述第二总液管分三路，一路连接所述制冷源，另两路分别连接所述疏水管、排出管。

21、作为优选，所述温度监测结构包括：

22、第一温度监测器，设置于所述工艺腔体的内壁与所述换热板之间，用于监测工艺腔体内部的温度；

23、第二温度监测器，设置于所述换热板上，用于监测所述换热板的温度；

24、控制系统，与所述第一温度监测器、第二温度监测器连接，且所述控制系统分别与所述制热源和所述制冷源连接。

25、还提供一种光伏设备，包括工艺腔体和上任一所述的换热装置。

26、本实用新型的有益效果：

27、通过温度监测结构，一方面能够实时监测工艺腔体内的温度，另一方面也通过监测的温度从而控制制冷源与制热源的开启或关闭，从而代替人为的控制和换热转换，提高转换的精确度和换热效率，此外在换热结构设置非金属导热层，增大导热系数，能够进行快速的升温或降温，以用来快速地升温降温保持工艺腔体内温度的恒定。

技术特征：

1.换热装置，用于工艺腔体(1)内部换热，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的换热装置，其特征在于，所述换热结构包括：

3.根据权利要求2所述的换热装置，其特征在于，所述进液口和所述出液口位于相对的两端，所述制热源(4)与所述进液口连接，所述制冷源(3)与所述出液口连接。

4.根据权利要求1所述的换热装置，其特征在于，所述非金属导热层为金刚石导热层或石墨烯导热层。

5.根据权利要求2所述的换热装置，其特征在于，所述换热装置还包括：

6.根据权利要求5所述的换热装置，其特征在于，所述换热装置还包括：

7.根据权利要求6所述的换热装置，其特征在于，所述换热装置还包括：

8.根据权利要求7所述的换热装置，其特征在于，当所述制热源(4)与所述制冷源(3)产生的换热介质为同一物质时，所述换热管(2)的进液口连接有第一总液管，所述第一总液管分两路，一路连接所述冷回管(9)，另一路连接所述制热源(4)，所述换热管(2)的出液口连接有第二总液管，所述第二总液管分三路，一路连接所述制冷源(3)，另两路分别连接所述疏水管(7)、排出管(8)。

9.根据权利要求2所述的换热装置，其特征在于，所述温度监测结构(5)包括：

10.光伏设备，其特征在于，包括工艺腔体(1)和如权利要求1-9任一所述的换热装置。

技术总结
本技术属于光伏以及半导体制造技术领域，公开了一种换热装置及光伏设备，换热装置用于工艺腔体内部换热，该装置包括具有进液口和出液口的换热结构；且换热结构设置有非金属导热层；换热装置还具有制热源和制冷源，分别与进液口或出液口连接；还具有温度监测结构，温度监测结构用于监测工艺腔体内部的温度；温度监测结构分别与制冷源和制热源连接。通过温度监测结构能够实时监测工艺腔体内的温度，也了可以控制制冷源与制热源的开启或关闭，提高转换的精确度和换热效率；此外在换热管设置非金属导热层，增大导热系数，能够进行快速的升温或降温。

技术研发人员：朱鹤囡,林佳继,张武
受保护的技术使用者：拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司
技术研发日：20230228
技术公布日：2024/1/13