一种晶圆载盒的上料转换装置及其形成的载盒存储库的制作方法

本技术涉及晶圆载盒上料领域，尤其涉及一种晶圆载盒的上料转换装置及其形成的载盒存储库。

背景技术：

1、随着芯片产业的迅猛发展，半导体晶圆生产、高端封装、mems、led等领域应用的涂胶机、喷胶机去胶机以及清洗机等工艺处理设备提出了更高的要求，尤其是对不同规格大小的半导体晶圆生产、处理、运输等。

2、作为半导体工艺设备整套系统的一种集成子系统(efem：equipment front endmodule半导体设备前端模块)，主要应用于半导体晶圆载盒人工或自动上下料，以实现半导体晶圆从大气状态传送到真空工艺腔内的转换。efem通常由载盒存储库、机器人、预对准装置、大气过滤单元、缓存冷却单元等主要部件组成，其中载盒存储库处在设备的最前沿。

3、目前行业内对于12寸半导体晶圆载盒的载盒存储库的技术和应用相对成熟稳定，但是随着其他规格晶圆在涂胶、显影、清洗、去胶等领域的不断应用扩大，相应配套的传输以及工艺设备需求不断增加，尤其是对半导体晶圆载盒的载盒存储库提出了更高更严格的要求。行业内对于其它规格的晶圆载盒上料方式，一般采用上料转换装置适配12寸晶圆载盒的载盒存储库来实现，也就是说，各个规格的晶圆载盒上料时，载盒存储库先将晶圆载盒放置在上料转换装置中，上料转换装置再将晶圆载盒输送至对应的目的地处。

4、在实际使用过程中，发现目前的上料转换装置存在以下问题及难点没有得到很好的解决：

5、1.适配晶圆载盒种类单一，一般的只能对应一种规格的晶圆载盒；

6、2.洁净度差，一般的都是敞开的形式，未加罩壳防护；

7、3.缺少载盒身份识别功能，无法区分及检测晶圆载盒。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的问题之一。为此，本实用新型的目的在于提供一种晶圆载盒的上料转换装置及其形成的载盒存储库，能够实现不同晶圆载盒的兼容上料，还能识别晶圆载盒身份，同时还采用防护组件对晶圆载盒进行防护，有效提高了晶圆载盒上料兼容性和上料效率。

2、为了实现上述目的，本申请采用如下技术方案：一种晶圆载盒的上料转换装置，包括：

3、上料基座，包括固定块和识别组件，所述识别组件包括用于对晶圆载盒进行扫描的感应器；所述固定块用于固定所述晶圆载盒，且所述固定块能够沿着上料基座进行滑动；

4、防护组件，覆盖在所述上料基座的外侧，包括前围板和罩壳，所述前围板位于所述上料基座的侧边，所述前围板顶端设置有铰链，所述罩壳通过铰链连接前围板。

5、进一步的，所述上料基座的顶部还设置有校正块，所述校正块的底部设置有v型槽；所述v型槽与载盒存储库中凸起相适配。

6、进一步的，所述上料基座中设置有用于调平的顶丝。

7、进一步的，所述上料基座的侧边对称设置有基座把手，所述基座把手位于防护组件的外侧。

8、进一步的，所述防护组件还包括对称设置在前围板侧边的两个能够伸缩的弹力件，所述弹力件的一端固定在所述前围板的侧边底部，另一端固定在所述罩壳的外侧顶部。

9、进一步的，所述罩壳远离前围板的一侧设置有透明板。

10、进一步的，所述前围板和罩壳接触的位置处处分别安装缓冲垫。

11、进一步的，所述识别组件还包括识别盖板和识别固定板，所述识别固定板位于所述上料基座远离前围板的一侧，且所述识别固定板能够沿着所述上料基座进行滑动；所述感应器固定在识别固定板中；

12、所述识别盖板位于所述上料基座靠近前围板的一侧，且覆盖所述感应器。

13、进一步的，所述识别组件还包括在位转换器，所述在位转换器与载盒存储库中的按压传感器通讯连接。

14、一种晶圆载盒的载盒存储库，包括如上所述的晶圆载盒的上料转换装置。

15、本申请实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点：本申请中上料基座包括固定块和识别组件，识别组件包括用于对晶圆载盒进行扫描的感应器；具体的感应器可以用于对晶圆载盒中的标志码进行扫描，识别出晶圆载盒的身份；固定块用于固定所述晶圆载盒，且所述固定块能够沿着上料基座进行滑动，当不同的晶圆载盒位于上料转换装置中时，固定块在上料基座中的位置不同，进而实现对不同尺寸晶圆载盒的固定；本申请通过感应器能够对晶圆载盒的身份进行识别，通过可滑动的固定块可以实现对不同种类尺寸的晶圆载盒进行固定；

16、本申请还包括覆盖在上料基座的外侧的防护组件，防护组件具体包括前围板和罩壳，前围板位于上料基座的侧边，前围板顶端设置有铰链，罩壳通过铰链连接前围板，当上料转换装置中放置有晶圆载盒的时候，罩壳通过铰链转动至覆盖上料基座的位置处，对上料基座中的晶圆载盒形成防护，避免晶圆载盒被污染；当载盒存储库对上料转换装置进行上料的时候，罩壳通过铰链转动至打开位置处，使得晶圆载盒能够顺利上料；本申请中增加的防护装置能够确保晶圆载盒在上料中转过程中得到防护，避免晶圆载盒上料过程中被污染。

技术特征：

1.一种晶圆载盒的上料转换装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种晶圆载盒的上料转换装置，其特征在于，所述上料基座的顶部还设置有校正块，所述校正块的底部设置有v型槽；所述v型槽与载盒存储库中凸起相适配。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆载盒的上料转换装置，其特征在于，所述上料基座中设置有用于调平的顶丝。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆载盒的上料转换装置，其特征在于，所述上料基座的侧边对称设置有基座把手，所述基座把手位于防护组件的外侧。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆载盒的上料转换装置，其特征在于，所述防护组件还包括对称设置在前围板侧边的两个能够伸缩的弹力件，所述弹力件的一端固定在所述前围板的侧边底部，另一端固定在所述罩壳的外侧顶部。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆载盒的上料转换装置，其特征在于，所述罩壳远离前围板的一侧设置有透明板。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆载盒的上料转换装置，其特征在于，所述前围板和罩壳接触的位置处分别安装缓冲垫。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆载盒的上料转换装置，其特征在于，所述识别组件还包括识别盖板和识别固定板，所述识别固定板位于所述上料基座远离前围板的一侧，且所述识别固定板能够沿着所述上料基座进行滑动；所述感应器固定在识别固定板中；

9.根据权利要求1所述的一种晶圆载盒的上料转换装置，其特征在于，所述识别组件还包括在位转换器，所述在位转换器与载盒存储库中的按压传感器通讯连接。

10.一种晶圆载盒的载盒存储库，其特征在于，包括权利要求1-9任意一项所述的晶圆载盒的上料转换装置。

技术总结
本技术公开了一种晶圆载盒的上料转换装置，包括：上料基座，包括固定块和识别组件，所述识别组件包括用于对晶圆载盒进行扫描的感应器；所述固定块用于固定所述晶圆载盒，且所述固定块能够沿着上料基座进行滑动；防护组件，覆盖在所述上料基座的外侧，包括前围板和罩壳，所述前围板位于所述上料基座的侧边，所述前围板顶端设置有铰链，所述罩壳通过铰链连接前围板。本技术提供的一种晶圆载盒的上料转换装置及其形成的载盒存储库，能够实现不同晶圆载盒的兼容上料，还能识别晶圆载盒身份，同时还采用防护组件对晶圆载盒进行防护，有效提高了晶圆载盒上料兼容性和上料效率。

技术研发人员：张贤龙,马刚,刘恩龙,曹洁,桂浩,董怀宝,朱运东
受保护的技术使用者：上海广川科技有限公司
技术研发日：20230328
技术公布日：2024/1/15