一种防脱落的晶圆储存装置的制作方法

本技术涉及晶圆加工，具体为一种防脱落的晶圆储存装置。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒经过切片后形成晶圆片，对晶圆片检测前，需要将晶圆片放置在晶圆储存仓中，晶圆储存仓的正面设置有出仓口，晶圆储存仓的侧壁上自上而下设置有多个固定槽，多个晶圆片分别设置在各固定槽中，晶圆储存仓通过基座固定在晶圆检测设备上，通过机械手从晶圆储存仓中拿取晶圆片进行检测，由于晶圆片在加工过程中经过了打磨抛光处理，其表面非常光滑，因此当晶圆储存仓受到外力导致水平状态失衡，则非常容易自晶圆储存仓的出仓口脱落造成晶圆片损坏。

技术实现思路

1、针对现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种防脱落的晶圆储存装置，通过阻挡装置对晶圆储存仓的出仓口进行封闭或打开，解决了晶圆片脱落的问题。

2、本实用新型是通过以下技术方案来实现：

3、一种防脱落的晶圆储存装置，包括晶圆储存组件以及与晶圆储存组件连接的阻挡装置；

4、所述晶圆储存组件包括基座以及设置在其上的晶圆储存仓，晶圆储存仓中自下而上设置有多个晶圆片，所述晶圆储存仓的出仓口设置有光电传感器；阻挡装置包括驱动装置以及与其连接的挡板，当光电传感器的光路被晶圆片阻挡，驱动装置用于驱动挡板转动对晶圆储存仓的出仓口关闭。

5、优选的，所述基座的顶面设置有固定孔，并位于晶圆储存仓的出仓口，所述光电传感器嵌置在固定孔中，光电传感器的光束垂直向上发射。

6、优选的，所述光电传感器为反射式光电传感器。

7、优选的，所述挡板的长度大于晶圆储存仓的垂直高度。

8、优选的，所述驱动装置上设置有定位检测装置，用于对晶圆储存仓的出仓口处于打开状态下的挡板位置进行检测。

9、优选的，所述检测装置包括u型光电感应开关和开关板，开关板套设在驱动装置的输出轴上并与挡板固定连接，开关板的边缘设置有信号槽，u型光电感应开关固定在基座上，并且开关板的边缘位于u型光电感应开关的u型槽中。

10、优选的，所述开关板上还设置有调节槽，用于调节信号槽与u型光电感应开关的u型槽位置。

11、优选的，所述调节槽为弧形槽。

12、优选的，所述基座包括基板以及设置在其底部的多个支撑柱。

13、优选的，所述基板和晶圆储存仓之间设置有定位机构。

14、与现有技术相比，本实用新型具有以下有益的技术效果：

15、本实用新型提供的一种防脱落的晶圆储存装置，包括设置在基座上的光线传感器，并位于晶圆储存仓的出仓口，以及设置在基座上的驱动装置，驱动装置连接有挡板，光线传感器对晶圆储存仓的出仓口发射检测光束，当出现晶圆片意外滑出出仓口，对光线传感器的光束形成阻挡，光线传感器输出信号，控制器启动驱动装置，使挡板对晶圆储存仓的出仓口封闭，避免晶圆片完全自晶圆储存仓滑落，因此能够有效降低晶圆的生产成本。

技术特征：

1.一种防脱落的晶圆储存装置，其特征在于，包括晶圆储存组件以及与晶圆储存组件连接的阻挡装置(30)；

2.根据权利要求1所述的一种防脱落的晶圆储存装置，其特征在于，所述基座的顶面设置有固定孔(13)，并位于晶圆储存仓(1)的出仓口，所述光电传感器嵌置在固定孔中，光电传感器的光束垂直向上发射。

3.根据权利要求1所述的一种防脱落的晶圆储存装置，其特征在于，所述光电传感器为反射式光电传感器。

4.根据权利要求1所述的一种防脱落的晶圆储存装置，其特征在于，所述挡板的长度大于晶圆储存仓(1)的垂直高度。

5.根据权利要求1所述的一种防脱落的晶圆储存装置，其特征在于，所述驱动装置上设置有定位检测装置，用于对晶圆储存仓的出仓口处于打开状态下的挡板位置进行检测。

6.根据权利要求5所述的一种防脱落的晶圆储存装置，其特征在于，所述检测装置包括u型光电感应开关(37)和开关板(34)，开关板(34)套设在驱动装置的输出轴上并与挡板固定连接，开关板(34)的边缘设置有信号槽(36)，u型光电感应开关(37)固定在基座上，并且开关板(34)的边缘位于u型光电感应开关(37)的u型槽中。

7.根据权利要求6所述的一种防脱落的晶圆储存装置，其特征在于，所述开关板(34)上还设置有调节槽，用于调节信号槽与u型光电感应开关(37)的u型槽位置。

8.根据权利要求7所述的一种防脱落的晶圆储存装置，其特征在于，所述调节槽为弧形槽。

9.根据权利要求1所述的一种防脱落的晶圆储存装置，其特征在于，所述基座包括基板(3)以及设置在其底部的多个支撑柱(4)。

10.根据权利要求9所述的一种防脱落的晶圆储存装置，其特征在于，所述基板和晶圆储存仓之间设置有定位机构。

技术总结
本技术公开了一种防脱落的晶圆储存装置，包括晶圆储存组件以及与晶圆储存组件连接的阻挡装置；所述晶圆储存组件包括基座以及设置在其上的晶圆储存仓，晶圆储存仓中自下而上设置有多个晶圆片，所述晶圆储存仓的出仓口设置有光线传感器；阻挡装置包括驱动装置以及与其连接的挡板，光线传感器对晶圆储存仓的出仓口发射检测光束，当出现晶圆片意外滑出出仓口，对光线传感器的光束形成阻挡，光线传感器输出信号，控制器启动驱动装置，使挡板对晶圆储存仓的出仓口封闭，避免晶圆片完全自晶圆储存仓滑落，因此能够有效降低晶圆的生产成本。

技术研发人员：刘明璋,谢新梅
受保护的技术使用者：东莞市瀚基智能科技有限公司
技术研发日：20230329
技术公布日：2024/1/14