盛装溶液容器的制作方法

本申请涉及半导体，具体涉及一种盛装溶液容器。

背景技术：

1、目前量测光阻稀释剂(也称ok-72或ebr-7030)的方法，通常是将喷嘴臂(nozzlearm)移至中心位置，并用手拿起盛装溶液容器盛装从光阻稀释剂喷嘴喷出的液体，但是，采用此种方法测量光阻稀释剂，容易导致人员与机械存在较大的碰撞风险或其他风险，出现较大的安全隐患。

技术实现思路

1、鉴于此，本申请提供一种盛装溶液容器，以解决现有测量光阻稀释剂喷量时，安全性不高的问题。

2、本申请提供的一种盛装溶液容器，用于盛装喷向喷嘴槽的光阻稀释剂，所述盛装溶液容器包括底璧以及与所述底璧连接的侧壁，所述底璧与所述侧壁构成容纳腔，用于盛装所述光阻稀释剂，所述侧壁背离所述容纳腔的一面设置有卡合部，所述卡合部卡合于所述喷嘴槽的槽璧上，以使所述盛装溶液容器卡合于所述喷嘴槽内。

3、其中，所述侧壁包括依次连接的第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁以及第四侧壁，所述卡合部位于所述第四侧壁上，所述光阻稀释剂自所述第一侧壁喷入所述容纳腔内。

4、其中，所述卡合部位于所述第四侧壁远离所述底璧的一侧。

5、其中，所述第一侧壁以及所述第四侧壁的高度均小于所述第二侧壁以及所述第三侧壁的高度。

6、其中，与所述第二侧壁以及所述第三侧壁对应的所述喷嘴槽的槽璧的高度均与所述第二侧壁以及所述第三侧壁的高度相同。

7、其中，与所述第二侧壁对应设置的所述喷嘴槽的槽璧与所述第二侧壁之间的距离至少小于1mm。

8、其中，所述盛装溶液容器采用透明材质，所述第一侧壁设置有连续的刻度。

9、其中，所述卡合部具有卡槽，所述卡槽的槽口朝向所述底璧，所述卡槽与所述喷嘴槽的槽璧相卡合。

10、其中，自所述第二侧壁向所述第四侧壁的方向上，所述第三侧壁远离底璧的一侧倾斜设置。

11、其中，所述侧壁包括依次连接的第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁以及第四侧壁，所述卡合部位于所述第二侧壁上，所述光阻稀释剂自所述第一侧壁喷入所述容纳腔内。

12、本申请提供一种盛装溶液容器，用于盛装喷向喷嘴槽的光阻稀释剂，盛装溶液容器包括底璧以及与底璧连接的侧壁，底璧与侧壁构成容纳腔，用于盛装光阻稀释剂，侧壁背离容纳腔的一面设置有卡合部，卡合部卡合于喷嘴槽的槽璧上，以使盛装溶液容器卡合于喷嘴槽内，以提高测量光阻稀释剂喷量时的安全性。

技术特征：

1.一种盛装溶液容器，其特征在于，用于盛装喷向喷嘴槽的光阻稀释剂，所述盛装溶液容器包括底璧以及与所述底璧连接的侧壁，所述底璧与所述侧壁构成容纳腔，用于盛装所述光阻稀释剂，所述侧壁背离所述容纳腔的一面设置有卡合部，所述卡合部卡合于所述喷嘴槽的槽璧上，以使所述盛装溶液容器卡合于所述喷嘴槽内。

2.根据权利要求1所述的盛装溶液容器，其特征在于，所述侧壁包括依次连接的第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁以及第四侧壁，所述卡合部位于所述第四侧壁上，所述光阻稀释剂自所述第一侧壁喷入所述容纳腔内。

3.根据权利要求2所述的盛装溶液容器，其特征在于，所述卡合部位于所述第四侧壁远离所述底璧的一侧。

4.根据权利要求3所述的盛装溶液容器，其特征在于，所述第一侧壁以及所述第四侧壁的高度均小于所述第二侧壁以及所述第三侧壁的高度。

5.根据权利要求4所述的盛装溶液容器，其特征在于，与所述第二侧壁以及所述第三侧壁对应的所述喷嘴槽的槽璧的高度均与所述第二侧壁以及所述第三侧壁的高度相同。

6.根据权利要求4所述的盛装溶液容器，其特征在于，与所述第二侧壁对应设置的所述喷嘴槽的槽璧与所述第二侧壁之间的距离至少小于1mm。

7.根据权利要求2所述的盛装溶液容器，其特征在于，所述盛装溶液容器采用透明材质，所述第一侧壁设置有连续的刻度。

8.根据权利要求1所述的盛装溶液容器，其特征在于，所述卡合部具有卡槽，所述卡槽的槽口朝向所述底璧，所述卡槽与所述喷嘴槽的槽璧相卡合。

9.根据权利要求2所述的盛装溶液容器，其特征在于，自所述第二侧壁向所述第四侧壁的方向上，所述第三侧壁远离底璧的一侧倾斜设置。

10.根据权利要求1所述的盛装溶液容器，其特征在于，所述侧壁包括依次连接的第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁以及第四侧壁，所述卡合部位于所述第二侧壁上，所述光阻稀释剂自所述第一侧壁喷入所述容纳腔内。

技术总结
本申请提供一种盛装溶液容器，用于盛装喷向喷嘴槽的光阻稀释剂，盛装溶液容器包括底璧以及与底璧连接的侧壁，底璧与侧壁构成容纳腔，用于盛装光阻稀释剂，侧壁背离容纳腔的一面设置有卡合部，卡合部卡合于喷嘴槽的槽璧上，以使盛装溶液容器卡合于喷嘴槽内，以提高测量光阻稀释剂喷量时的安全性。

技术研发人员：王国涛
受保护的技术使用者：粤芯半导体技术股份有限公司
技术研发日：20230427
技术公布日：2024/1/15