一种适用于长方形硅片的硅片花篮的制作方法

本技术涉及硅片花篮，特别是一种适用于长方形硅片的硅片花篮。

背景技术：

1、半导体器件生产中硅片须经严格清洗，因为微量污染会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物；清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种；

2、常规的清洗方法是将硅片插入至硅片花篮中，实现对硅片的固定；但常规花篮针对的是158*158mm规格的正方形硅片进行放置，但面对210*150mm规格的长方形硅片时，之前针对正方形硅片进行设计的花篮便不适用；

3、综上，如何针对长方形硅片的花篮的设计成为了本领域研究人员急需解决的问题。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题是：如何针对长方形硅片的花篮；

2、为解决上述技术问题，本实用新型采取的技术方案为：

3、本实用新型是一种适用于长方形硅片的硅片花篮，包括：两侧板，两所述侧板相对设置；底支撑杆，其连接两所述侧板，并位于两所述侧板的底部，其适于支撑硅片底部；多个第一侧支撑杆，其连接两所述侧板，并位于两所述侧板的一侧，其适于支撑硅片的一侧；两延伸板，其沿对应所述侧板宽度方向向另一侧延伸设置；多个第二侧支撑杆，其连接两所述延伸板，其适于支撑硅片的另一侧；扇菱齿，其固定在所述底支撑杆、第一侧支撑杆、第二侧支撑杆上，相邻两所述扇菱齿形成对硅片限位的空间；

4、在本方案中，两侧板的底部设置有底支撑杆，两侧板左侧设置有多个第一支撑杆，两侧板的右侧设置有延伸板，第二支撑杆连接两延伸板，这样同一高度的第一支撑杆、第二支撑杆间距增大，能够便于横向的长方形硅片竖直插入；如果将花篮设计成长方形硅片竖直插入，这样便会发生硅片的顶部超过液面，硅片顶部不能够被清洗；

5、综上，本方案设计的花篮能够实现长方形硅片的插入安装。

6、为了能够增加对硅片的支撑，本实用新型采用还包括：压杆，其端部与所述侧板顶部可拆卸连接，所述压杆适于支撑所述硅片顶部；

7、压杆的两端与对应的侧板可拆卸连接，这样压杆能够实现与侧板的可拆卸分离，当压杆与侧板分离时，能够便于硅片的插入；当压杆与侧板连接时，能够实现侧板对硅片顶部的支撑，将硅片能够更加牢靠的固定在花篮内。

8、为了限制压杆与侧板安装时，压杆的轴向移动，本实用新型采用靠近所述压杆的两端端部设置有限位部；所述限位部适于与所述侧板的内侧面相抵，限制所述压杆的轴向安装位置；

9、在本方案中，两侧板的位置由于第一侧支撑杆、第二侧支撑杆、底支撑杆的固定而距离不变，顶杆安装在侧板顶部时，为了实现顶杆的轴向定位，在顶杆两端设置有限位部，两限位部端面的间距为两侧板的距离，限位部与侧板相抵，限制了顶杆的轴向移动。

10、为了实现压杆与侧板的可拆卸连接，本实用新型采用所述压杆的端部设置有转动部；所述转动部的外轮廓包括：第一圆弧部；第二圆弧部，其与第一圆弧部相对设置，其直径小于所述第一圆弧部的直径；两直线段，其分别接连接所述第一圆弧部端部、第二圆弧部的端部；所述侧板顶部设置有供所述转动部插入的直通道，以及设置在所述直通道底部的槽口；当所述转动部自转时，所述侧板与所述转动部锁紧配合连接；

11、转动部整体呈梨型结构，其外轮廓依次为第一圆弧部、直线段、第二圆弧部、直线段；转动部竖直插入侧板顶部开设的直通道，此时转动部左右两侧的距离为第一圆弧部的直径；当转动部位于直通道底部的槽口内时，转动转动部，使得转动部与槽口锁紧连接，进而将侧板与压杆锁紧连接。

12、为了说明槽口的具体结构，本实用新型采用槽口的底部轮廓包括：第三圆弧部，其与所述第一圆弧部的一侧贴合；第四圆弧部，其与所述第二圆弧部的一侧贴合；第二直线段，其连接所述第三圆弧部、第四圆弧部的端部，并与所述直线段贴合；

13、第三圆弧部、第二直线段、第四圆弧部整体呈半梨型结构；

14、当转动部转动到锁紧状态时，即转动部呈水平位置，此时转动部的左右两侧距离为第一圆弧部顶部的距离到第二圆弧部顶部的距离，相较于竖直状态的转动部，距离增大；槽口底部与水平状态的转动部的底部贴合，使得转动部锁紧在槽口内；

15、由于转动部为塑料件，具有一定的压缩性能，但转动部由竖直状态切换为水平状态的过程，会受到槽口与直通道连接处的挤压，使得转动部锁紧在槽口内。

16、为了便于转动部的转动，本实用新型采用所述转动部上凸起设置有手持部；

17、具体操作方式为，将手指抵住手持部，使得压杆发生自转。

18、本实用新型的有益效果：本实用新型是一种适用于长方形硅片的硅片花篮，两侧板的底部设置有底支撑杆，两侧板左侧设置有多个第一支撑杆，两侧板的右侧设置有延伸板，第二支撑杆连接两延伸板，这样同一高度的第一支撑杆、第二支撑杆间距增大，能够便于横向的长方形硅片竖直插入；如果将花篮设计成长方形硅片竖直插入，这样便会发生硅片的顶部超过液面，硅片顶部不能够被清洗；综上，本方案设计的花篮能够实现长方形硅片的插入安装。

技术特征：

1.一种适用于长方形硅片的硅片花篮，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种适用于长方形硅片的硅片花篮，其特征在于，还包括：

3.根据权利要求2所述的一种适用于长方形硅片的硅片花篮，其特征在于，靠近所述压杆的两端端部设置有限位部；

4.根据权利要求2所述的一种适用于长方形硅片的硅片花篮，其特征在于，所述压杆的端部设置有转动部；

5.根据权利要求4所述的一种适用于长方形硅片的硅片花篮，其特征在于，所述槽口的底部轮廓包括：

6.根据权利要求4所述的一种适用于长方形硅片的硅片花篮，其特征在于，所述转动部上凸起设置有手持部。

技术总结
本技术是一种适用于长方形硅片的硅片花篮，包括：两侧板，两侧板相对设置；底支撑杆，其连接两侧板，并位于两侧板的底部；多个第一侧支撑杆，其连接两侧板，并位于两侧板的一侧；两延伸板，其沿对应侧板宽度方向向另一侧延伸设置；多个第二侧支撑杆，其连接两延伸板，其适于支撑硅片的另一侧；两侧板左侧设置有多个第一支撑杆，两侧板的右侧设置有延伸板，第二支撑杆连接两延伸板，这样同一高度的第一支撑杆、第二支撑杆间距增大，能够便于横向的长方形硅片竖直插入；如果将花篮设计成长方形硅片竖直插入，这样便会发生硅片的顶部超过液面，硅片顶部不能够被清洗；综上，本方案设计的花篮能够实现长方形硅片的插入安装。

技术研发人员：张秀珍
受保护的技术使用者：常州市杰洋精密机械有限公司
技术研发日：20230427
技术公布日：2024/1/15