具有导引盘的药液回收装置的制作方法

本技术涉及一种半导体加工装置，尤指一种具有导引盘的药液回收装置。

背景技术：

1、现有技术于半导体加工的制程中，通常会以药液对晶圆进行蚀刻，蚀刻完毕后的药液再经由管路搜集并进行回收处理，如中国台湾专利号为tw i727902b的气液分离分层独立回收装置，其包含一固定内层、多个夹层、一移动外层、及一升降机构，固定内层、夹层、移动外层依序套设且借由能升降机构相对于彼此上下移动，各层之间形成有独立的气体空间与盛液环槽，当每层相对于前一层向上移动时开启对应的气体空间与盛液环槽，并以独立的液体管路与气体管路分别连接盛液环槽与气体空间，借此，通过升降机构升降各层，来分别进行不同液体药剂的蚀刻反应且分别回收该液体药剂以及反应后的化学气体与化学液体至回收槽中。

2、然而，因为目前晶圆具有多种尺寸，故整体结构须以最大尺寸的晶圆进行设计，但当安装小尺寸的晶圆时，因为晶圆的外周缘与各层之间的间距较大，蚀刻所喷洒出的部分液体药剂容易因为重力的关系，在尚未进入到所对应的该层盛液环槽前，就会先落下至较低层的盛液环槽，导致不同的液体药剂进入到同一回收槽中，形成液体药剂混合污染的情形；因此，针对前述问题实有待加以改良。

技术实现思路

1、有鉴于现有技术的缺点及不足，本实用新型提供一种具有导引盘的药液回收装置，其借由于升降杆设置导引盘，达到可承接上方晶圆所抛出而提早下落的药液的目的。

2、为达上述目的，本实用新型所采用的技术手段为设计一种具有导引盘的药液回收装置，其包含：

3、一装置本体，其包含一基座、多个分层板、一升降杆及一吸附盘，各该分层板间隔设置于基座上，各该分层板呈环状且由内而外间隔排列地围绕形成一内部空间及与该内部空间连通的一上方开口，该升降杆设置于该基座且位于各该分层板内，该升降杆可上下移动地穿设于该上方开口，该吸附盘设置于该升降杆上；

4、一导引盘，其设置于该升降杆且位于该吸附盘的下方位置，该导引盘与该吸附盘之间的距离小于相邻的任二该分层板之间的距离。

5、进一步而言，所述的具有导引盘的药液回收装置，其中该导引盘贯穿有多个镂空孔，各该镂空孔呈环绕间隔排列。

6、进一步而言，所述的具有导引盘的药液回收装置，其中各该镂空孔为四边形孔。

7、进一步而言，所述的具有导引盘的药液回收装置，其中该升降杆邻近于顶端的位置环凸有一结合部，该结合部穿设有多个结合孔，各该结合孔形成有内螺纹，该导引盘环绕间隔贯穿有多个连接孔，该导引盘借由多个锁固件穿设于各该连接孔锁固于各该结合孔。

8、本实用新型的优点在于，借由导引盘旋转的离心力，承接部分由上方晶圆所抛出的药液再抛出至相邻的二分层板之间，借此达到可将药液完全的集中于特定的盛液环槽中，达到避免药液抛至下方其他不同的盛液环槽中，而导致污染回收槽的情形；此外，导引盘形成有镂空孔，故具有减轻重量的功效。

技术特征：

1.一种具有导引盘的药液回收装置，其特征在于，包含：

2.如权利要求1所述的具有导引盘的药液回收装置，其特征在于，该导引盘贯穿有多个镂空孔，各该镂空孔呈环绕间隔排列。

3.如权利要求2所述的具有导引盘的药液回收装置，其特征在于，各该镂空孔为四边形孔。

4.如权利要求1至3中任一项所述的具有导引盘的药液回收装置，其特征在于，该升降杆邻近于顶端的位置环凸有一结合部，该结合部穿设有多个结合孔，各该结合孔形成有内螺纹，该导引盘环绕间隔贯穿有多个连接孔，该导引盘借由多个锁固件穿设于各该连接孔锁固于各该结合孔。

技术总结
本技术为一种具有导引盘的药液回收装置，其包含一装置本体，装置本体包含一基座、多个分层板、一升降杆及一吸附盘，各分层板间隔设置于基座上，升降杆位于各分层板内，吸附盘设置于升降杆上；一导引盘，其设置于升降杆且位于吸附盘的下方位置；一晶圆利用吸附盘吸附固定，当一喷嘴对晶圆进行喷洒药液时，升降杆同步进行旋转，而自晶圆抛出的部分药液会落在导引盘，再借由导引盘旋转的离心力将药液再抛出至相邻的二分层板之间，借此达到可将药液完全集中于特定的盛液环槽中，达到避免药液抛至下方其他不同的盛液环槽中，而导致污染回收槽的情形。

技术研发人员：徐庆吉,刘仕伟
受保护的技术使用者：凯尔迪科技股份有限公司
技术研发日：20230510
技术公布日：2024/1/14