一种用于晶圆检测设备的定心机构的制作方法

本技术半导体生产设备，尤其涉及一种用于晶圆检测设备的定心机构。

背景技术：

1、在使用检测设备对晶圆片进行检测的过程中，晶圆中心位置的确定非常重要，只有对中心位置进行准确定位后，才能对晶圆表面进行全面检测。

2、专利文献cn216597541u公开一种晶圆自动定心装置，其包括支承装配组件、轴向支撑组件、静止定心组件、活动定心组件及切换驱动组件，支承装配组件安装于晶圆检测装置的移动平台上，其内部具有安装空间，轴向支撑组件安装于支承装配组件上，并与晶圆的端面配合，由轴向支撑组件对晶圆进行轴向支撑，静止定心组件通过固定结构安装于支承装配组件上，并与晶圆的侧面配合，由静止定心组件对晶圆进行径向定位，活动定心组件通过活动结构安装于支承装配组件上，可与晶圆的侧面抵合或脱离，由活动定心组件对晶圆进行径向定位，并与静止定心组件共同对晶圆进行定心处理，切换驱动组件安装于支承装配组件上，并与活动定心组件衔接，由切换驱动组件对活动定心组件与晶圆的配合状态进行切换。

3、然而，这种定心装置采用活动压轮与静止压轮相互配合对晶圆进行定心操作，活动压轮安装于活动摆杆的头端，可随活动摆杆一同偏转，由活动摆杆带动活动压轮与晶圆的侧面抵合，其调节过程不够灵敏，并且晶圆在静止压轮及活动压轮进行定心处理后由切换拉簧对其进行位置保持，拉簧的拉力与活动压轮的压力不在同一方向，使得其定位状态稳定性不足。因此，有必要对这种定心装置进行结构优化，以克服上述缺陷。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种用于晶圆检测设备的定心机构，以便于对晶圆片进行定心操作，提升精度和稳定性。

2、本实用新型为解决其技术问题所采用的技术方案是：

3、一种用于晶圆检测设备的定心机构，包括：

4、固定支承组件，该固定支承组件安装于晶圆调平装置上，并与晶圆吸盘位置对应，其内部具有安装空间；

5、活动支承组件，该活动支承组件通过活动连接结构安装于固定支承组件中，并可在固定支承组件中移动，以靠近或远离晶圆吸盘；

6、导向配接组件，该导向配接组件安装于固定支承组件中，并与活动支承组件适配，由导向配接组件对活动支承组件的移动过程进行导向；

7、晶圆定位组件，该晶圆定位组件安装于活动支承组件上，可随活动支承组件一同移动，其与晶圆吸盘上的晶圆配合时，可对晶圆进行径向定位；

8、弹性压合组件，该弹性压合组件安装于固定支承组件及活动支承组件之间，由弹性压合组件带动活动支承组件及晶圆定位组件向晶圆吸盘方向移动，并对晶圆施加径向压力；

9、气动牵引组件，该气动牵引组件安装于固定支承组件上，并与活动支承组件配合，由气动牵引组件牵引活动支承组件，使晶圆定位组件与晶圆边缘脱离，以在晶圆吸盘上进行晶圆片取放操作。

10、具体地，固定支承组件包括：

11、支承座块，该支承座块通过连接件固定安装于晶圆调平装置上，其内部开设有导向轴孔，该导向轴孔具有一对，各导向轴孔分别贯穿支承座块两端，并相互平行，导向配接组件通过导向轴孔安装于支承座块中，支承座块中部开设有牵引槽口，牵引槽口位于导向轴孔之间，气动牵引组件安装于牵引槽口中，支承座块两端分别开设有压合槽口，弹性压合组件安装于压合槽口中。

12、活动支承组件包括：

13、活动支杆，该活动支杆设有一对，各活动支杆分别经导向轴孔贯穿支承座块两端，可在支承座块中沿轴向移动，其两端分别从导向轴孔中露出，并分别与晶圆定位组件及弹性压合组件位置对应；

14、定位座块，该定位座块位于活动支杆之间，其两端分别与活动支杆的定位端接合，晶圆定位组件安装于定位座块上；

15、压合座块，该压合座块位于活动支杆之间，其两端分别与活动支杆的压合端接合，弹性压合组件与压合座块配合。

16、导向配接组件包括：

17、直线轴承，该直线轴承设有一对，各直线轴承分别嵌设于导向轴孔中，并包套于活动支杆外部，由直线轴承对对活动支杆的移动过程进行导向。

18、晶圆定位组件包括：

19、定位顶板，该定位顶板安装于定位座块上，并沿活动支杆的轴向延伸，其末端延伸至晶圆吸盘边缘；

20、定位滚轮，该定位滚轮设有一对，各定位滚轮分别安装于定位顶板末端，定位滚轮之间留有间隙，其外壁可与晶圆边缘抵合，由定位滚轮对晶圆进行径向定位。

21、弹性压合组件包括：

22、弹性簧柱，该弹性簧柱设有一对，各弹性簧柱分别置于压合槽口中，其一端与支承座块连接，另一端与压合座块连接，由弹性簧柱拉动活动支杆沿其轴向移动，并带动定位滚轮压合于晶圆边缘。

23、气动牵引组件包括：

24、牵引气缸，该牵引气缸的缸体安装于牵引槽口中，其活塞杆末端与定位座块连接，由牵引气缸带动活动支杆沿其轴向移动，并带动定位滚轮与晶圆分离。

25、本实用新型的优点在于：

26、该定心机构采用安装有一对定位滚轮的定位顶板作为晶圆定位结构，并在支承座块中设置一对弹性簧柱，由弹性簧柱拉动活动支杆沿其轴向移动，并带动定位滚轮压合于晶圆边缘，弹性簧柱的拉力与活动支杆的轴向位于同一方向，其拉力完全应用于晶圆压合过程中，还在支承座块上设置牵引气缸，牵引气缸带动活动支杆沿其轴向移动，并带动定位滚轮与晶圆分离，其牵引力与活动支杆的轴向位于同一方向，使得晶圆定位和分离过程更为灵敏，定位状态更为稳定，有利于提升晶圆检测的效率和精确度，提升后续集成电路加工的质量。

技术特征：

1.一种用于晶圆检测设备的定心机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测设备的定心机构，其特征在于，固定支承组件包括：

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆检测设备的定心机构，其特征在于，活动支承组件包括：

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆检测设备的定心机构，其特征在于，导向配接组件包括：

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆检测设备的定心机构，其特征在于，晶圆定位组件包括：

6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆检测设备的定心机构，其特征在于，弹性压合组件包括：

7.根据权利要求6所述的一种用于晶圆检测设备的定心机构，其特征在于，气动牵引组件包括：

技术总结
本技术提出一种用于晶圆检测设备的定心机构，其包括固定支承组件、活动支承组件、导向配接组件、晶圆定位组件、弹性压合组件及气动牵引组件，该定心机构采用安装有一对定位滚轮的定位顶板作为晶圆定位结构，并在支承座块中设置弹性簧柱，由弹性簧柱拉动活动支杆沿其轴向移动，并带动定位滚轮压合于晶圆边缘，弹性簧柱的拉力与活动支杆的轴向位于同一方向，其拉力完全应用于晶圆压合过程中，还在支承座块上设置牵引气缸，牵引气缸带动活动支杆沿其轴向移动，并带动定位滚轮与晶圆分离，其牵引力与活动支杆的轴向位于同一方向，使得晶圆定位和分离过程更为灵敏，定位状态更为稳定，有利于提升晶圆检测的效率和精确度，提升集成电路加工的质量。

技术研发人员：徐鑫,石正飞
受保护的技术使用者：嘉兴微拓电子科技股份有限公司
技术研发日：20230519
技术公布日：2024/1/14