辅助定位卡尺的制作方法

本技术涉及半导体，特别涉及一种辅助定位卡尺。

背景技术：

1、半导体工厂普遍面临制程多，工艺复杂的问题，为保证晶圆的质量，需要用量测设备检测晶圆的加工参数是否达到了设计的要求，以确保加工参数符合设计要求，并且需要查看晶圆表面上是否存在影响良率的缺陷，确保将加工产线的良率控制在规定的水平之上。

2、晶圆量测设备安装在基座上，晶圆量测设备的机台的防震脚需要锁定在基座上，来达到防震的目的，基座落位必须要准确，晶圆量测设备的机台防震脚才能锁定在基座上。晶圆装在晶圆传送盒中，晶圆传送盒由天车运送，天车的移动动线上通常有两个晶圆装载点，安装基座时，基座落位需要依靠天车的晶圆装载点进行定位从而确定落位是否准确。而基座落位需要先把部分高架地板搬走，这样一来，标记在原先高架地板上的两个晶圆装载点也会被移走，基座就无从定位。

3、为了解决晶圆装载点随高架地板被移走而无法准确定位基座的这个问题，目前采用的方法是贴胶带。图1为现有技术中使用胶带确定晶圆装载点的示意图，具体而言，参见图1，先沿着天车的移动动线在高架地板上对应的地方贴一条胶带70，然后测量出晶圆装载点80到周围不用搬走的高架地板401的距离，相当于测量出一个横向距离和一个纵向距离，以此来确定晶圆装载点80的位置；随后将部分高架地板搬走，搬走的高架地板402上的胶带70也被掀开，再沿着胶带断连处的两端重新将胶带70贴上，此时胶带70除了两端，其余部分都是悬空的；最后根据之前测量到的晶圆装载点80的横向距离和纵向距离，用卷尺重新测量找点，然后在胶带70上做标记，以此来找到晶圆装载点80，从而给基座落位起到一个辅助定位的作用。

4、但是，上述方法的缺点也很明显，由于胶带是软的，胶带悬空的长度较长，参见图1，胶带横跨了三块高架地板，每块高架地板的长宽都是60厘米，悬空的长度至少有180厘米，贴胶带的时候往往存在人为操作误差，容易出现胶带变形，胶带贴斜的情况。并且，由于胶带悬空的长度较长，容易受重力影响，使用卷尺测量时，卷尺也容易受到重力的作用而下垂，从而导致测量找到的晶圆装载点的位置不准确，进而导致基座落位不准确，最后影响到晶圆量测设备的机台防震脚是否能够锁在基座上面，影响晶圆量测设备工作。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种辅助定位卡尺，可以准确找到晶圆装载点的位置以帮助基座辅助定位，准度高，使用起来方便快捷。

2、为了达到上述目的，本实用新型提供了一种辅助定位卡尺，包括：两种卡尺，分别是固定卡尺和移动卡尺，所述固定卡尺具有若干刻度线，所述移动卡尺垂直连接所述固定卡尺，并可沿所述固定卡尺移动；若干定位孔，所述固定卡尺的两端、所述移动卡尺的一端部以及所述移动卡尺上与所述固定卡尺的交叠处均设有所述定位孔；其中，所述固定卡尺上的定位孔和所述移动卡尺的端部的定位孔均用于供标记工具在高架地板上做标记；所述移动卡尺上与所述固定卡尺的交叠处的定位孔用于显露所述刻度线。

3、可选的，所述移动卡尺的数量为两个。

4、可选的，两个所述移动卡尺之间通过连接杆连接。

5、可选的，所述连接杆至少有两根。

6、可选的，所述连接杆位于所述固定卡尺的两侧，且所述连接杆平行于所述固定卡尺。

7、可选的，所述卡尺具有透明部，所述透明部的材料是透光材料，所述定位孔位于所述透明部内。

8、可选的，所述透明板材透明部上设有十字线，且所述十字线与所述定位孔共心，所述十字线在所述定位孔处断开。

9、可选的，所述十字线的材质为金属材质，所述定位孔的外周和所述透明部的外周均为金属框。

10、可选的，所述固定卡尺上安装有水平仪。

11、可选的，所述移动卡尺套设在所述固定卡尺上。

12、如上配置，在基座落位前，也即是高架地板掀起前，将固定卡尺和移动卡尺的交叉处对准晶圆装载点，如此放置固定卡尺和移动卡尺，并通过固定卡尺两端的定位孔和移动卡尺端部的定位孔在不用掀起的高架地板上做标记，掀开高架地板后，根据未掀开的高架地板上的标记，重新放置固定卡尺和移动卡尺，就能找到晶圆装载点。本实用新型的辅助定位卡尺，与现有的贴胶带的定位方法相比，操作简单快捷，相比软质的胶带，卡尺受人为操作的影响较小，准确度更高，使得基座落位更精准，利于后续晶圆量测设备的机台防震脚的安装，避免影响晶圆量测设备工作。并且，本实用新型制造简单，还能根据晶圆装载点数量的多少设置移动卡尺的数量，具有较强的可推广性。

技术特征：

1.一种辅助定位卡尺，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的辅助定位卡尺，其特征在于，所述移动卡尺的数量为两个。

3.如权利要求2所述的辅助定位卡尺，其特征在于，两个所述移动卡尺之间通过连接杆连接。

4.如权利要求3所述的辅助定位卡尺，其特征在于，所述连接杆至少有两根。

5.如权利要求4所述的辅助定位卡尺，其特征在于，所述连接杆位于所述固定卡尺的两侧，且所述连接杆平行于所述固定卡尺。

6.如权利要求1所述的辅助定位卡尺，其特征在于，所述卡尺具有透明部，所述透明部的材料是透光材料，所述定位孔位于所述透明部内。

7.如权利要求6所述的辅助定位卡尺，其特征在于，所述透明部上设有十字线，且所述十字线与所述定位孔共心，所述十字线在所述定位孔处断开。

8.如权利要求7所述的辅助定位卡尺，其特征在于，所述十字线的材质为金属材质，所述定位孔的外周和所述透明部的外周均为金属框。

9.如权利要求1所述的辅助定位卡尺，其特征在于，所述固定卡尺上安装有水平仪。

10.如权利要求1所述的辅助定位卡尺，其特征在于，所述移动卡尺套设在所述固定卡尺上。

技术总结
本技术提供了一种辅助定位卡尺，辅助定位卡尺包括两种卡尺和若干定位孔，两种卡尺分别是固定卡尺和移动卡尺，固定卡尺具有若干刻度线，移动卡尺垂直连接固定卡尺，并可沿固定卡尺移动；固定卡尺的两端、移动卡尺的一端部以及移动卡尺上与固定卡尺的交叠处均设有定位孔；其中，固定卡尺上的定位孔和移动卡尺的端部的定位孔均用于供标记工具在高架地板上做标记；移动卡尺上与固定卡尺的交叠处的定位孔用于显露刻度线。本技术可以准确找到晶圆装载点的位置以帮助基座辅助定位，准度高，使用起来方便快捷。

技术研发人员：卢卫柱
受保护的技术使用者：粤芯半导体技术股份有限公司
技术研发日：20230602
技术公布日：2024/1/15