干式分片机的制作方法

本申请涉及半导体晶圆生产领域，特别是一种干式分片机。

背景技术：

1、半导体晶圆在生产过程中需要进行分片，现有的分片为单独的机械手在花篮和输送带之间来回摆动进行输送，每放置一个晶圆需要一次往复摆动的时间，效率较低。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种干式分片机，以克服现有技术中的不足。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、本申请实施例公开了干式分片机，其特征在于：包括一对输送带、横向电缸和支撑台，一对所述输送带左右对称设置在支撑台的两侧，所述横向电缸水平设置在一对输送带和支撑台的上方，所述横向电缸上配合滑动连接有移动板，所述移动板上左右对称设有一对升降气缸，一对所述升降气缸分别设置在支撑台及其中一个输送带的正上方，所述升降气缸的输出端竖直向下设置且固定有升降板，所述升降板的底面固定有真空吸盘，所述真空吸盘具有进风端和出风端，所述支撑台上放置有花篮，所述支撑台的底面与升降电缸配合升降连接。

4、优选的，在上述的干式分片机中，所述横向电缸与输送带垂直设置。

5、优选的，在上述的干式分片机中，所述支撑台上方凹设有配合花篮卡入的卡槽。

6、与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

7、该干式分片机在移动板来回的同时，两个真空吸盘来回错位吸放，来回摆动一次的时间即可完成两个晶圆的输送，提高效率。

技术特征：

1.一种干式分片机，其特征在于：包括一对输送带、横向电缸和支撑台，一对所述输送带左右对称设置在支撑台的两侧，所述横向电缸水平设置在一对输送带和支撑台的上方，所述横向电缸上配合滑动连接有移动板，所述移动板上左右对称设有一对升降气缸，一对所述升降气缸分别设置在支撑台及其中一个输送带的正上方，所述升降气缸的输出端竖直向下设置且固定有升降板，所述升降板的底面固定有真空吸盘，所述真空吸盘具有进风端和出风端，所述支撑台上放置有花篮，所述支撑台的底面与升降电缸配合升降连接。

2.根据权利要求1所述的一种干式分片机，其特征在于：所述横向电缸与输送带垂直设置。

3.根据权利要求1所述的一种干式分片机，其特征在于：所述支撑台上方凹设有配合花篮卡入的卡槽。

技术总结
本申请公开了一种干式分片机，包括一对输送带、横向电缸和支撑台，一对所述输送带左右对称设置在支撑台的两侧，所述横向电缸水平设置在一对输送带和支撑台的上方，所述横向电缸上配合滑动连接有移动板，所述移动板上左右对称设有一对升降气缸，一对所述升降气缸分别设置在支撑台及其中一个输送带的正上方，所述升降气缸的输出端竖直向下设置且固定有升降板，所述升降板的底面固定有真空吸盘，所述真空吸盘具有进风端和出风端，所述支撑台上放置有花篮，所述支撑台的底面与升降电缸配合升降连接。该干式分片机在移动板来回的同时，两个真空吸盘来回错位吸放，来回摆动一次的时间即可完成两个晶圆的输送，提高效率。

技术研发人员：杨宣教,刘荣轩
受保护的技术使用者：张家港市德昶自动化科技有限公司
技术研发日：20230606
技术公布日：2024/1/15