一种芯片加工设备用芯片固定装置的制作方法

本技术属于芯片加工，具体是指一种芯片加工设备用芯片固定装置。

背景技术：

1、集成电路又称微电路、微芯片、晶片/芯片在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备，也包括被动组件等小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上。

2、现有技术中公开号为cn213071093u的中国专利公开了一种芯片加工设备用芯片固定装置，通过直角基座的内部中央位置滑动连接有推板，推板的顶端和底端均贯穿直角基座并延伸至其外部，直角基座的顶部一侧固定连接有电动伸缩杆，推板的表面顶部且远离电动伸缩杆的一侧固定连接有缓压弹簧，缓压弹簧远离推板的一端固定连接有夹紧块，推板的表面底部且靠近推板的底部位置固定连接有楔紧块，直角基座的顶部且远离电动伸缩杆的一侧开设有沉孔，直角基座的内部且位于沉孔的位置滑动连接有连杆，连杆的顶端固定连接有压板，沉孔内壁底部与压板底部相对应的两侧之间且位于连杆的表面固定连接有复位弹簧，连杆的底端固定连接有连接块，直角基座表面顶部与夹紧块表面相对应的位置均开设有v形定位槽，达到了固定牢固的效果，结构合理简单，使用方便，固定快速方便，定位准确，避免刚性固定，不会对芯片造成损坏，安全可靠，提高了工作效率及使用性能。

3、但是上述现有技术还是通过夹持对需要加工的芯片进行定位仍然存在损坏风险，且取下时也较为麻烦，不能满足使用需要。

技术实现思路

1、针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供了一种芯片加工设备用芯片固定装置，有效解决了现有技术还是通过夹持对需要加工的芯片进行定位仍然存在损坏风险，且取下时也较为麻烦的问题，是一种新型芯片加工设备用芯片固定装置。

2、为了实现上述功能，本实用新型采取的技术方案如下：一种芯片加工设备用芯片固定装置，包括底板、抬高架、托板、纵向定位组件、横向定位组件、气缸和芯片定位组件，所述抬高架设有四组分别固定在底板的四角，所述抬高架上架设托板，所述纵向定位组件滑动设置在托板上，所述横向定位组件滑动设于纵向定位组件上，所述气缸固定在底板上且贯穿托板设置，所述芯片定位组件设于底板上。

3、为了适应不同规格的芯片，所述纵向定位组件包括纵向预留槽和限位条，所述托板上开设两组纵向预留槽，所述托板两侧都设有限位条，所述限位条紧贴托板设置，托板两侧的限位条通过连接板固定，连接板滑动设于纵向预留槽内，通过连接板固定的两个限位条为一组，所述限位条设有两组。

4、为了根据不同规格的芯片进行限位，所述横向定位组件包括横向预留槽、固定压板、限位档条、螺纹杆和紧固螺母，所述横向预留槽开设在托板上，所述固定压板紧贴限位条设置，所述托板两侧都设有固定压板并通过限位档条连接，通过限位档条连接的两个固定压板为一组，所述固定压板设有两组，所述螺纹杆贯穿一组固定压板，螺纹杆两端螺纹连接设有紧固螺母。

5、为了减少芯片位移，所述芯片定位组件包括负压吸引泵和保护吸盘，所述负压吸引泵固定设于底板上，所述保护吸盘活动设置在托板上，所述保护吸盘和负压吸引泵之间通过管件连接。

6、进一步地，所述纵向预留槽和横向预留槽呈垂直设置。

7、进一步地，两组限位条设于保护吸盘两侧，两组固定压板设于保护吸盘两侧，所述限位条和固定压板呈垂直设置。

8、进一步地，所述气缸设有四组。

9、进一步地，所述保护吸盘顶面和托板齐平。

10、采用上述结构本实用新型取得的有益效果如下：本方案通过设置纵向定位组件配合横向定位组件对芯片进行限位，通过设置芯片定位组件对芯片进行定位，通过设置气缸方便芯片取下，有效解决了现有技术还是通过夹持对需要加工的芯片进行定位仍然存在损坏风险，且取下时也较为麻烦的问题，是一种新型芯片加工设备用芯片固定装置。

技术特征：

1.一种芯片加工设备用芯片固定装置，其特征在于：包括底板、抬高架、托板、纵向定位组件、横向定位组件、气缸和芯片定位组件，所述抬高架设有四组分别固定在底板的四角，所述抬高架上架设托板，所述纵向定位组件滑动设置在托板上，所述横向定位组件滑动设于纵向定位组件上，所述气缸固定在底板上且贯穿托板设置，所述芯片定位组件设于底板上。

2.根据权利要求1所述的一种芯片加工设备用芯片固定装置，其特征在于：所述纵向定位组件包括纵向预留槽和限位条，所述托板上开设两组纵向预留槽，所述托板两侧都设有限位条，所述限位条紧贴托板设置，托板两侧的限位条通过连接板固定，连接板滑动设于纵向预留槽内，通过连接板固定的两个限位条为一组，所述限位条设有两组。

3.根据权利要求2所述的一种芯片加工设备用芯片固定装置，其特征在于：所述横向定位组件包括横向预留槽、固定压板、限位档条、螺纹杆和紧固螺母，所述横向预留槽开设在托板上，所述固定压板紧贴限位条设置，所述托板两侧都设有固定压板并通过限位档条连接，通过限位档条连接的两个固定压板为一组，所述固定压板设有两组，所述螺纹杆贯穿一组固定压板，螺纹杆两端螺纹连接设有紧固螺母。

4.根据权利要求3所述的一种芯片加工设备用芯片固定装置，其特征在于：所述芯片定位组件包括负压吸引泵和保护吸盘，所述负压吸引泵固定设于底板上，所述保护吸盘活动设置在托板上，所述保护吸盘和负压吸引泵之间通过管件连接。

5.根据权利要求4所述的一种芯片加工设备用芯片固定装置，其特征在于：所述纵向预留槽和横向预留槽呈垂直设置。

6.根据权利要求5所述的一种芯片加工设备用芯片固定装置，其特征在于：两组限位条设于保护吸盘两侧，两组固定压板设于保护吸盘两侧，所述限位条和固定压板呈垂直设置。

7.根据权利要求6所述的一种芯片加工设备用芯片固定装置，其特征在于：所述气缸设有四组。

8.根据权利要求7所述的一种芯片加工设备用芯片固定装置，其特征在于：所述保护吸盘顶面和托板齐平。

技术总结
本技术公开了一种芯片加工设备用芯片固定装置，包括底板、抬高架、托板、纵向定位组件、横向定位组件、气缸和芯片定位组件，所述纵向定位组件包括纵向预留槽和限位条，所述横向定位组件包括横向预留槽、固定压板、限位档条、螺纹杆和紧固螺母，所述芯片定位组件包括负压吸引泵和保护吸盘。本技术属于芯片加工技术领域，具体是一种芯片加工设备用芯片固定装置，有效解决了现有技术还是通过夹持对需要加工的芯片进行定位仍然存在损坏风险，且取下时也较为麻烦的问题，是一种新型芯片加工设备用芯片固定装置。

技术研发人员：王甲慧
受保护的技术使用者：深圳市尚格智能科技有限公司
技术研发日：20230607
技术公布日：2024/1/15