一种玻璃晶圆适配器的制作方法

本技术是关于晶圆检测，特别是关于一种玻璃晶圆适配器。

背景技术：

1、由于晶圆新材料的不断升级迭代，出现了玻璃晶圆能提供更好的性能和成本效益。玻璃晶圆加工工艺过程复杂，为保证质量，几乎每一步加工工序都需要进行质量检测。若缺陷产品流入下一道工序，不仅对产品的整体质量有很大影响，而且会造成生产成本的巨大浪费。

2、现有技术中，只能将晶圆放置在真空吸附工作台上进行扫描，由于材料特性，每个晶圆被切割后切割道位置变得很薄很脆，极易碎裂，需要精确控制真空吸附力，并不停调准焦距。由于晶圆是透明材料，自动聚焦时设备易将晶圆底层载台位置焦距作为检测时的焦距，调准焦距耗时较长、成本较大；并且对真空要求高，过高会使产品碎裂，过低会使产品在设备运行时掉落，一旦出现问题产品就容易损毁；

3、因此，针对上述技术问题，有必要提供一种玻璃晶圆适配器。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种玻璃晶圆适配器，其能够解决调准焦距耗时较长、成本较大、对真空要求高的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供了一种玻璃晶圆适配器，包括适配器主体和定位架，所述定位架固定安装在适配器主体的一侧，所述适配器主体的底端面与定位架的底端面在同一水平面上，所述适配器主体内部的底端固定连接有镜片，所述适配器主体的边缘位置处开设有吸附槽口。

3、在一个或多个实施方式中，所述定位架上开设有多组通孔，所述通孔内部插接有定位插销。

4、在一个或多个实施方式中，所述通孔与定位插销之间过盈配合。

5、在一个或多个实施方式中，所述镜片采用单面镜。

6、在一个或多个实施方式中，所述吸附槽口的顶端设置有凸台。

7、在一个或多个实施方式中，所述凸台的厚度小于适配器主体边缘的厚度。

8、在一个或多个实施方式中，所述适配器主体的边缘位置处开设有凹口。

9、在一个或多个实施方式中，所述适配器主体的外表面涂布有防静电涂层。

10、与现有技术相比，根据本实用新型的有益效果为：

11、本实用新型通过设置单独的适配器，能够只吸附玻璃晶圆边缘使其固定，不会损坏内部产品，通过底部的镜片可保证设备自动运行检测时不会找错焦距，节省调焦时间和成本，适配器主体上涂布防静电涂层，隔绝静电，保护玻璃晶圆产品。

技术特征：

1.一种玻璃晶圆适配器，其特征在于，包括适配器主体和定位架，所述定位架固定安装在适配器主体的一侧，所述适配器主体的底端面与定位架的底端面在同一水平面上，所述适配器主体内部的底端固定连接有镜片，所述适配器主体的边缘位置处开设有吸附槽口。

2.如权利要求1所述的一种玻璃晶圆适配器，其特征在于，所述定位架上开设有多组通孔，所述通孔内部插接有定位插销。

3.如权利要求2所述的一种玻璃晶圆适配器，其特征在于，所述通孔与定位插销之间过盈配合。

4.如权利要求1所述的一种玻璃晶圆适配器，其特征在于，所述镜片采用单面镜。

5.如权利要求1所述的一种玻璃晶圆适配器，其特征在于，所述吸附槽口的顶端设置有凸台。

6.如权利要求5所述的一种玻璃晶圆适配器，其特征在于，所述凸台的厚度小于适配器主体边缘的厚度。

7.如权利要求1所述的一种玻璃晶圆适配器，其特征在于，所述适配器主体的边缘位置处开设有凹口。

8.如权利要求1所述的一种玻璃晶圆适配器，其特征在于，所述适配器主体的外表面涂布有防静电涂层。

技术总结
本技术公开了一种玻璃晶圆适配器，包括适配器主体和定位架，所述定位架固定安装在适配器主体的一侧，所述适配器主体的底端面与定位架的底端面在同一水平面上，所述适配器主体内部的底端固定连接有镜片，所述适配器主体的边缘位置处开设有吸附槽口，所述定位架上开设有多组通孔，所述通孔内部插接有定位插销，所述通孔与定位插销之间过盈配合。本技术通过设置单独的适配器，能够只吸附玻璃晶圆边缘使其固定，不会损坏内部产品，通过底部的镜片可保证设备自动运行检测时不会找错焦距，节省调焦时间和成本，适配器主体上涂布防静电涂层，隔绝静电，保护玻璃晶圆产品。

技术研发人员：顾振鹏,凌栋,茅志敏
受保护的技术使用者：苏州康钛检测科技有限公司
技术研发日：20230627
技术公布日：2024/1/15