一种用于晶圆质子辐照用的新型装置的制作方法

本技术涉质子辐照领域，具体是一种用于晶圆质子辐照用的新型装置。

背景技术：

1、现有双真空舱室晶圆质子辐照装置，运行过程中，对于真空要求严苛，需要保证舱内真空度不低于10-6mbar，因此采用了低温泵作为设备运行的真空保证设备。

2、设备运行在，如需进入辐照仓内，需将舱内恢复至常压状态，低温泵需停止运行，如再需重启真空，则低温泵需要再次启动。

3、真空泵正式启动为避免温度剧烈变化产生的热应力使叶轮或泵轴变形，因此需要再生、加热过程，此过程的耗时3小时以上，严重拖延设备的生产工作。

4、按照一片晶圆x元计算，一轮180片的晶圆生产时间为45分钟，则直接影响收入不低于720×x元。

5、因此，研究缩短低温泵再生加温的方法意义重大。

技术实现思路

1、实用新型目的：提供一种用于晶圆质子辐照用的新型装置，以解决现有技术存在的上述问题。

2、技术方案：一种用于晶圆质子辐照用的新型装置，包括：

3、辐照舱；

4、还包括：

5、冷泵管道，与所述辐照舱连通；

6、低温泵，设置在所述冷泵管道端部；

7、插板阀，设置在冷泵管道上，用于隔断低温泵与辐照舱的连通。

8、所述插板阀外接远程控制系统，通过远程控制系统完成对插板阀的远程启闭工作。

9、本实用新型在低温泵和辐照舱连接的冷泵管道上增加一个插板阀，当涉及到辐照舱需要开舱，则通过远程控制系统，输出信号给到插板阀，插板阀将低温泵和辐照舱分隔，辐照舱破真空的行为不影响低温泵的运行，管道内继续保持低压；

10、在辐照舱内工作完成后，则可使用机械泵短时间内将真空抽到10-2mbar，此时远程开启插板阀，低温泵照常运行，大大缩短冷泵开启的前端工作。

11、在进一步实施例中，所述插板阀包括：

12、架体，与冷泵管道连接；

13、缸体，安装在所述架体上，缸体的输出端设有伸缩杆；

14、阀体，设置在所述架体内，与所述伸缩杆固定连接，延所述架体滑动，用于断冷泵管道。

15、在进一步实施例中，所述辐照舱的一端设有舱门，顶部设有束流入口。

16、在进一步实施例中，所述辐照舱另外一端设有送片舱；

17、所述送片舱与辅照舱之间设有送片通道。

18、在进一步实施例中，所述辐照舱上还设有放气阀，用于外部空气放入辐照舱内。

19、在进一步实施例中，所述辐照舱上连接有机械泵，用于抽取辐照舱内空气。

20、有益效果：本实用新型公开了一种用于晶圆质子辐照用的新型装置，本实用新型在低温泵和辐照舱连接的冷泵管道上增加一个插板阀，当涉及到辐照舱需要开舱，闭合插板阀，插板阀将低温泵和辐照舱分隔，辐照舱破真空的行为不影响低温泵的运行，管道内继续保持低压；

21、在辐照舱内工作完成后，则可使用机械泵短时间内将真空抽到10-2mbar，此时开启插板阀，低温泵照常运行，无需关闭低温泵，大大缩短冷泵开启的前端工作。

技术特征：

1.一种用于晶圆质子辐照用的新型装置，包括：

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆质子辐照用的新型装置，其特征是：所述插板阀(25)包括：

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆质子辐照用的新型装置，其特征是：所述辐照舱(2)的一端设有舱门(24)，顶部设有束流入口(21)。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆质子辐照用的新型装置，其特征是：所述辐照舱(2)另外一端设有送片舱(1)；

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆质子辐照用的新型装置，其特征是：所述辐照舱(2)上还设有放气阀，用于外部空气放入辐照舱(2)内。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆质子辐照用的新型装置，其特征是：所述辐照舱(2)上连接有机械泵，用于抽取辐照舱(2)内空气。

技术总结
本技术公开了一种用于晶圆质子辐照用的新型装置包括：辐照舱；还包括：冷泵管道，与所述辐照舱连通；低温泵，设置在所述冷泵管道端部；插板阀，设置在冷泵管道上，用于隔断低温泵与辐照舱的连通。所述插板阀外接远程控制系统，通过远程控制系统完成对插板阀的远程启闭工作。本技术在低温泵和辐照舱连接的冷泵管道上增加一个插板阀，当涉及到辐照舱需要开舱，则通过远程控制系统，输出信号给到插板阀，插板阀将低温泵和辐照舱分隔，辐照舱破真空的行为不影响低温泵的运行，管道内继续保持低压；在辐照舱内工作完成后，则可使用机械泵短时间内将真空抽到10‑2mBar，此时远程开启插板阀，低温泵照常运行，大大缩短冷泵开启的前端工作。

技术研发人员：桂正亚,沈轩宇,李非易,周晓慧,刘辉,朱晓桦
受保护的技术使用者：国电投核力创芯(无锡)科技有限公司
技术研发日：20230627
技术公布日：2024/1/15