一种硅片夹取装置及硅片抛光设备的制作方法

本技术涉及硅片生产设备，更具体地说，它涉及一种硅片夹取装置及硅片抛光设备。

背景技术：

1、硅片是半导体元件制造的材料，一般情况下，多晶硅通过重熔拉晶，切片，倒角，研磨，抛光，清洗等工序后，即可获得表面光滑平坦，边缘整齐的芯片级硅片。随着硅片直径越来越大与集成电路特征尺寸越来越小，对晶圆表面平坦度及表面的洁净程度、损伤度提出了更高的要求，当硅片生产完成后，通常需要使用夹取设备对生产完成后的硅片进行夹取至抛光设备内进行平抛光使用，因此需要使用自动化夹取和抛光。

2、市面上常见的硅片在夹持过程中一般直接使用夹爪对硅片进行夹持移料，夹持装置一般在夹持过程中一般依靠顶端安装有夹爪的机械爪进行夹持移料，使用机械爪进行移料较为繁琐。

3、因此，为了解决上述技术问题本申请提出一种硅片夹取装置及硅片抛光设备。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种硅片夹取装置及硅片抛光设备。

2、为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：包括背板，还包括固定安装在所述背板背面一端的伸缩电机a，所述伸缩电机动力输出端固定连接齿条动力输入端，所述齿条上方啮合连接有齿轮，所述齿轮一端固定连接有传动杆，所述传动杆贯穿所述背板表面并连接转板一端，所述转板另一端表面通过滑杆连接竖板顶端，所述竖板底端固定连接有用于对硅片进行夹持的夹具，通过在背板背面设置伸缩电机a并连接齿条，将齿条上方啮合连接齿轮，将齿轮通过传动杆连接转板，将转板表面通过轴承连接竖板，在竖板下端安装夹具，以便于通过伸缩电机a的伸缩，从而通过齿条带动齿轮进行转动，从而将夹具进行左右上下运动，对硅片进行夹持后移料使用。

3、优选地，所述夹具底部两端设置有呈菱形的缓冲夹座，所述缓冲夹座内弯折位置皆设置有扭簧转轴，所述缓冲夹座底端固定连接有夹板，所述夹板内侧顶部设置有卡板，在夹具底部设置呈菱形的缓冲夹座，在缓冲夹座弯折位置设置扭簧转轴，在缓冲夹座底端设置夹板，在夹板内侧顶部设置卡板，能够便于通过夹板对硅片进行夹持的同时，通过缓冲夹座对夹板在接触到上料输送带表面进行夹持硅片时，提供一定的缓冲作用。

4、优选地，所述竖板外侧纵向滑动套接有限位滑套，所述限位滑套背面设置有滑盘，所述滑盘横向滑动连接在滑轨内，所述滑轨横向开设在所述背板表面，在竖板外侧纵向滑动套接限位滑套，将限位滑套背面设置的滑盘滑动连接在滑轨内，从而便于对竖板的位置进行限制，从而在转板进行转动左右滑动的同时，通过限位滑套对竖板进行限制而只能够进行上下滑动，而在左右滑动时，限位滑套在滑轨内滑动，以保持对夹具进行上下滑动夹持移料使用。

5、优选地，所述滑杆滑动连接在活动槽内，所述活动槽呈圆弧形开设在所述背板内顶部，滑杆随转板的转动而左右位移，因此滑杆的活动轨迹为弧线形，因此滑杆会在呈圆弧形的活动槽内进行滑动，从而对转板的位置进行限定。

6、优选地，所述齿条两端设置有限位板，齿条两端设置的限位板能够对齿轮的左右滑动的幅度提供限制，防止齿轮才能够齿条表面脱落而影响对夹具的控制移料。

7、优选地，所述背板上料端固定安装有上料输送带。

8、优选地，一种硅片抛光设备包括：固定板，还包括固定安装在所述固定板表面的滑板，所述滑板内一端固定安装有伸缩电机b，所述伸缩电机顶端动力输出端连接滑盒一侧动力输入端，所述滑板底部固定安装有固定架，所述滑盒底部设置有抵触板，所述抵触板底部表面横向滑动连接有滑轮，所述滑轮安装在顶杆顶端，所述顶杆底端活动贯穿所述固定架并延伸至下料输送带上方安装有挡板，在夹取装置的出料端设置固定板并在表面设置滑板，将滑板表面通过伸缩电机b连接滑盒，将滑盒底部设置呈直角梯形装的抵触板并抵触滑动连接滑轮，将滑轮底部通过顶杆连接挡板，以便于通过滑盒在滑板表面的左右滑动，从而通过抵触板配合抵触的滑轮之间的滑动，从而配合顶杆将挡板在下料输送带表面进行上下滑动，从而对硅片进行阻挡后抛光使用。

9、优选地，所述顶杆顶端固定安装有固定盘，所述固定盘底部通过复位弹簧连接所述固定架表面，顶杆顶端设置的固定盘和复位弹簧连接固定架表面，以便于对顶杆的向上回弹复位。

10、优选地，所述抵触板呈直角梯形并在两端设置有限位条，抵触板呈直角梯形并在向上凹陷一端设置限位条能够便于对滑轮的位移范围提供限制。

11、优选地，所述挡板底部和所述下料输送带表面对应挡板位置设置有接触传感器，挡板底部和下料输送带表面对应设置有接触传感器，能够便于在挡板向下滑动抵触到接触传感器对所需要抛光的硅片进行阻挡时，从而对下料输送带进行控制停止运行，从而对硅片进行抛光使用。

12、优选地，所述下料输送带固定安装在所述固定板下方下料端。

13、优选地，所述固定板靠近所述下料输送带进料一端固定安装有激光抛光机。

14、与现有技术相比，本实用新型具备以下有益效果：

15、1、本实用新型中，通过在背板背面设置伸缩电机a并连接齿条，将齿条上方啮合连接齿轮，将齿轮通过传动杆连接转板，将转板表面通过轴承连接竖板，在竖板下端安装夹具，以便于通过伸缩电机a的伸缩，从而通过齿条带动齿轮进行转动，从而将夹具进行左右上下运动，对硅片进行夹持后移料使用。

16、2、本实用新型中，通过在夹具底部设置呈菱形的缓冲夹座，在缓冲夹座弯折位置设置扭簧转轴，在缓冲夹座底端设置夹板，在夹板内侧顶部设置卡板，能够便于通过夹板对硅片进行夹持的同时，通过缓冲夹座对夹板在接触到上料输送带表面进行夹持硅片时，提供一定的缓冲作用。

17、3、本实用新型中，通过在竖板外侧纵向滑动套接限位滑套，将限位滑套背面设置的滑盘滑动连接在滑轨内，从而便于对竖板的位置进行限制，从而在转板进行转动左右滑动的同时，通过限位滑套对竖板进行限制而只能够进行上下滑动，而在左右滑动时，限位滑套在滑轨内滑动，以保持对夹具进行上下滑动夹持移料使用。

18、4、本实用新型中，通过在夹取装置的出料端设置固定板并在表面设置滑板，将滑板表面通过伸缩电机b连接滑盒，将滑盒底部设置呈直角梯形装的抵触板并抵触滑动连接滑轮，将滑轮底部通过顶杆连接挡板，以便于通过滑盒在滑板表面的左右滑动，从而通过抵触板配合抵触的滑轮之间的滑动，从而配合顶杆将挡板在下料输送带表面进行上下滑动，从而对硅片进行阻挡后抛光使用。

技术特征：

1.一种硅片夹取装置，包括：

2.根据权利要求1所述的一种硅片夹取装置，其特征在于：所述夹具(12)底部两端设置有呈菱形的缓冲夹座(10)，所述缓冲夹座(10)内弯折位置皆设置有扭簧转轴，所述缓冲夹座(10)底端固定连接有夹板(9)，所述夹板(9)内侧顶部设置有卡板(33)。

3.根据权利要求2所述的一种硅片夹取装置，其特征在于：所述竖板(16)外侧纵向滑动套接有限位滑套(24)，所述限位滑套(24)背面设置有滑盘(25)，所述滑盘(25)横向滑动连接在滑轨(13)内，所述滑轨(13)横向开设在所述背板(1)表面。

4.根据权利要求3所述的一种硅片夹取装置，其特征在于：所述滑杆(18)滑动连接在活动槽(14)内，所述活动槽(14)呈圆弧形开设在所述背板(1)内顶部。

5.根据权利要求4所述的一种硅片夹取装置，其特征在于：所述齿条(20)两端设置有限位板(19)。

6.根据权利要求5所述的一种硅片夹取装置，其特征在于：所述背板(1)上料端固定安装有上料输送带(11)。

7.一种硅片抛光设备，包括：

8.根据权利要求7所述的一种硅片抛光设备，其特征在于：所述顶杆(27)顶端固定安装有固定盘(35)，所述固定盘(35)底部通过复位弹簧(34)连接所述固定架(32)表面。

9.根据权利要求8所述的一种硅片抛光设备，其特征在于：所述抵触板(28)呈直角梯形并在两端设置有限位条(30)。

10.根据权利要求9所述的一种硅片抛光设备，其特征在于：所述挡板(26)底部和所述下料输送带(8)表面对应挡板(26)位置设置有接触传感器(6)。

11.根据权利要求10所述的一种硅片抛光设备，其特征在于：所述下料输送带(8)固定安装在所述固定板(3)下方下料端。

12.根据权利要求11所述的一种硅片抛光设备，其特征在于：所述固定板(3)靠近所述下料输送带(8)进料一端固定安装有激光抛光机(7)。

技术总结
本技术公开了一种硅片夹取装置及硅片抛光设备，涉及硅片生产设备技术领域，其技术方案要点是：包括背板，还包括固定安装在所述背板背面一端的伸缩电机A，所述伸缩电机动力输出端固定连接齿条动力输入端，所述齿条上方啮合连接有齿轮，所述齿轮一端固定连接有传动杆，所述传动杆贯穿所述背板表面并连接转板一端，所述转板另一端表面通过滑杆连接竖板顶端，效果是通过在背板背面设置伸缩电机A并连接齿条，将齿条上方啮合连接齿轮，将齿轮通过传动杆连接转板，将转板表面通过轴承连接竖板，在竖板下端安装夹具，便于通过伸缩电机A的伸缩，从而通过齿条带动齿轮进行转动，从而将夹具进行左右上下运动，对硅片进行夹持后移料使用。

技术研发人员：杨崇秋,周林,吉成东
受保护的技术使用者：上海磐盟电子材料有限公司
技术研发日：20230726
技术公布日：2024/4/7