一种空中走行机构自动检查装置的制作方法

本技术涉及空中走行机构维护，尤其涉及一种空中走行机构自动检查装置。

背景技术：

1、oht，overhead hoist transfer，又称空中走行机构、空中走行式无人搬送车、天车等，能够在空中轨道上行驶，进行搬运物料等工作。

2、在半导体领域，空中走行机构作为主要的物料搬运设备被广泛应用，可以用于搬送晶圆等物料，相对于传统的人工搬送物料的方式，可以在很大程度上提高物料搬送效率，一满足更高的生产要求。空中走行机构作为主要搬运设备，日常的保养维护非常重要。为了保证空中走行机构工作的可靠性，需要定期对其进行检查，例如检查走行轮、导向轮是否有损坏。

3、相关技术中，对空中走行机构进行检查时，需要将空中走行机构从空中的工作轨道下降至地面承载平台，然后通过人工对空中走行机构进行检查，完成检查后，再将空中走行机构上线回到空中的工作轨道，此种检查方式速度慢、效率低，且从空中下降走行式运输车的过程中也存在风险。

技术实现思路

1、本实用新型实施例的目的在于：提供一种空中走行机构自动检查装置，其无需空中走行机构下降，在空中的检查轨道上即可完成对空中走行机构的自动检查，降低风险，提高检查效率，节省人力。

2、为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、一种空中走行机构自动检查装置，包括：

4、检查轨道；

5、图像采集组件，包括安装支架以及图像采集装置；所述安装支架与所述检查轨道连接，所述图像采集装置设置于所述安装支架，所述图像采集装置用于采集空中走行机构的图像；

6、机构定位器，设于所述检查轨道，用于感应空中走行机构的位置。

7、可选地，所述检查轨道设置检查窗口；所述图像采集组件设置于所述检查窗口旁，所述图像采集装置被配置为可通过所述检查窗口采集所述检查轨道内部的图像。

8、可选地，所述检查轨道包括顶板、两间隔设置的侧板以及两间隔设置的支撑板；所述侧板与所述顶板连接，所述支撑板与所述侧板连接；所述支撑板用于支撑空中走行机构的走行轮。

9、可选地，两所述侧板分别设置侧检查窗口，每个所述侧检查窗口旁设置至少一个所述图像采集组件。

10、可选地，所述顶板设置顶检查窗口，每个所述顶检查窗口旁设置至少一个所述图像采集组件。

11、可选地，每个所述侧板沿其延伸方向间隔设置至少两个所述侧检查窗口；每个所述顶板沿其延伸方向间隔设置至少两个所述顶检查窗口。

12、可选地，包括遮挡组件，所述遮挡组件包括活动轨道板以及驱动机构；

13、所述活动轨道板与所述顶板滑动连接，所述活动轨道板可在所述驱动机构的驱动下移动，以选择性地打开或封闭所述顶板的所述顶检查窗口。

14、可选地，包括机构在席检知传感器，所述机构在席检知传感器设于所述侧板和/或所述顶板。

15、可选地，所述机构定位器为定位传感器，沿所述侧板的延伸方向设置两个所述定位传感器；所述在席检知传感器设于相邻所述定位传感器之间。

16、可选地，包括轨道板传感器；

17、所述轨道板传感器设于所述侧板，所述轨道板传感器用于检测所述活动轨道板位于关闭位置和/或打开位置。

18、本实用新型的有益效果为：该空中走行机构自动检查装置，可以对空中走行机构走行轮进行自动点检，不需要将空中走行机构从高空下降至检查平台，也可以实现对空中走行机构走行轮进行点检，避免高空下降带来的风险，节约点检作业时间，提高点检效率。

技术特征：

1.一种空中走行机构自动检查装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的空中走行机构自动检查装置，其特征在于，所述检查轨道(10)设置检查窗口(101)；所述图像采集组件设置于所述检查轨道(10)的外部且设于所述检查窗口(101)旁，所述图像采集装置被配置为可通过所述检查窗口(101)采集所述检查轨道(10)内部的图像。

3.根据权利要求2所述的空中走行机构自动检查装置，其特征在于，所述检查轨道(10)包括顶板(13)、两间隔设置的侧板(12)以及两间隔设置的支撑板(11)；所述侧板(12)与所述顶板(13)连接，所述支撑板(11)与所述侧板(12)连接；所述支撑板(11)用于支撑空中走行机构(200)的走行轮(220)。

4.根据权利要求3所述的空中走行机构自动检查装置，其特征在于，两所述侧板(12)分别设置侧检查窗口(121)，每个所述侧检查窗口(121)旁设置至少一个所述图像采集组件。

5.根据权利要求4所述的空中走行机构自动检查装置，其特征在于，所述顶板(13)设置顶检查窗口(131)，每个所述顶检查窗口(131)旁设置至少一个所述图像采集组件。

6.根据权利要求5所述的空中走行机构自动检查装置，其特征在于，每个所述侧板(12)沿其延伸方向间隔设置至少两个所述侧检查窗口(121)；每个所述顶板(13)沿其延伸方向间隔设置至少两个所述顶检查窗口(131)。

7.根据权利要求5所述的空中走行机构自动检查装置，其特征在于，包括遮挡组件，所述遮挡组件包括活动轨道板(31)以及驱动机构(32)；

8.根据权利要求3-7任一项所述的空中走行机构自动检查装置，其特征在于，包括机构在席检知传感器(50)，所述机构在席检知传感器(50)设于所述侧板(12)和/或所述顶板(13)。

9.根据权利要求8所述的空中走行机构自动检查装置，其特征在于，所述机构定位器(40)为定位传感器，沿所述侧板(12)的延伸方向设置两个所述定位传感器；所述在席检知传感器(50)设于相邻所述定位传感器之间。

10.根据权利要求7所述的空中走行机构自动检查装置，其特征在于，包括轨道板传感器(60)；

技术总结
本技术公开一种空中走行机构自动检查装置，属于空中走行机构维护技术领域。该空中走行机构自动检查装置包括检查轨道、图像采集装置以及机构定位器，图像采集装置通过安装支架安装在检查轨道，图像采集装置用于采集空中走行机构的图像，机构定位器设置在检查轨道，机构定位器用于检测空中走行机构的位置。该空中走行机构自动检查装置，可以对空中走行机构走行轮进行自动点检，点检时不需要将空中走行机构从高空下降至检查平台，也可以实现对空中走行机构走行轮进行点检，避免高空下降带来的风险，节约点检作业时间，提高点检效率。

技术研发人员：陈嘉锋,李佰干
受保护的技术使用者：粤芯半导体技术股份有限公司
技术研发日：20230802
技术公布日：2024/4/24