一种带有定位功能的离子注入机的制作方法

本技术涉及离子注入机相关，特别是涉及了一种带有定位功能的离子注入机。

背景技术：

1、离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多，它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等，离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备，离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。

2、如中国实用新型专利(cn212209416u)公开了一种用于离子注入机的校对装置，其中记载了：“通过将加工件本体放置于放置台的顶部，开启电机，电机的输出轴最终带动两个夹板和夹块进行以导向块一侧转轴为轴心相向的弧形运动，进而对加工件本体进行定位校正，即达到了方便使用的目的；节省了人力，并且提高了加工件的稳定性”，还记载了：“目前在离子注入的过程中一般采用螺栓将加工件进行定位校正，浪费人力，操作步骤繁琐，导致在夹持和释放时所需时间长，不利于使用”。

3、综合上述，可知现有技术中存在以下技术问题：目前在离子注入的过程中一般采用螺栓将加工件进行定位校正，浪费人力，操作步骤繁琐，导致在夹持和释放时所需时间长，不利于使用，为此，本申请提出一种带有定位功能的离子注入机，为解决上述专利中提到的技术问题，提供一种新的技术方案。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种带有定位功能的离子注入机，通过驱动组件可带动夹板一和夹板二进行相互方向上的移动，从而可对加工件进行定位校正，即达到了方便使用的目的；节省了人力，并且提高了加工件的稳定性。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型采用了如下所述的技术方案：

3、一种带有定位功能的离子注入机，其应用于离子注入机定位。

4、所述带有定位功能的离子注入机具体包括：

5、工作台，所述工作台内侧上部开设有放置腔，所述放置腔的内部对称设置有夹板一和夹板二，用于加工件的定位，所述工作台的内侧下部开设有调节腔，所述夹板一和夹板二的下端均通过通槽延伸至调节腔内部；

6、驱动组件，其设置在所述调节腔内部内侧，所述夹板一的下端固定有第一连接横板，所述夹板一通过第一连接横板与驱动组件相连接，所述夹板二的下端固定有第二连接横板，所述夹板二通过第二连接横板与驱动组件相连接，所述驱动组件用于夹板一和夹板二的移动调节。

7、作为本实用新型提供的所述的带有定位功能的离子注入机的一种优选实施方式，所述夹板一和夹板二相互靠近的一侧均固定有垫片。

8、作为本实用新型提供的所述的带有定位功能的离子注入机的一种优选实施方式，所述驱动组件包括固定板，所述固定板的正面转动连接有驱动齿轮，所述固定板的背面固定有驱动电机，所述驱动电机的输出端与驱动齿轮相连接；所述固定板的上下两端分别固定有上滑轨和下滑轨，所述上滑轨的正面滑动连接有上调节板，所述下滑轨的正面滑动连接有下调节板，所述上调节板和下调节板均与驱动齿轮啮合连接，所述夹板二的端部与上调节板固定连接，所述夹板一的端部与下调节板固定连接。

9、作为本实用新型提供的所述的带有定位功能的离子注入机的一种优选实施方式，所述上调节板和下调节板的两端均转动连接有滚轮，所述上调节板和下调节板均通过滚轮分别与上滑轨和下滑轨滑动连接。

10、作为本实用新型提供的所述的带有定位功能的离子注入机的一种优选实施方式，所述调节腔的内部且位于第二连接横板下方的位置处固定有第一引导滑槽，所述第二连接横板的下端通过导轮与第一引导滑槽滑动连接，所述调节腔的内部且位于第一连接横板下方的位置处固定有第二引导滑槽，所述第一连接横板的下端通过导轮与第二引导滑槽滑动连接。

11、作为本实用新型提供的所述的带有定位功能的离子注入机的一种优选实施方式，所述工作台的正面且位于调节腔的位置处设置有检修窗口，用于调节腔内部部件的维护；所述工作台的正面且位于检修窗口的位置处扣合有密封板。

12、作为本实用新型提供的所述的带有定位功能的离子注入机的一种优选实施方式，所述检修窗口与密封板的连接处套设有弹性环，所述密封板通过弹性环与检修窗口相连接。

13、作为本实用新型提供的所述的带有定位功能的离子注入机的一种优选实施方式，所述检修窗口的外侧固定有凸环二，所述密封板的外侧固定有凸环一，所述弹性环的内侧开设有扣槽，所述密封板通过弹性环与检修窗口连接时，所述凸环一和凸环二均位于弹性环内侧开设的扣槽内。

14、与现有技术相比，本实用新型有以下有益效果：

15、本实用新型提供的带有定位功能的离子注入机，通过驱动组件可带动夹板一和夹板二进行相互方向上的移动，从而可对加工件进行定位校正，即达到了方便使用的目的；节省了人力，并且提高了加工件的稳定性。

16、本实用新型提供的带有定位功能的离子注入机，通过检修窗口的设计，使得装置部件损坏时可方便快捷的进行更换维修，使得装置维护较为方便。

技术特征：

1.一种带有定位功能的离子注入机，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的带有定位功能的离子注入机，其特征在于，所述夹板一（3）和夹板二（4）相互靠近的一侧均固定有垫片（5）。

3.根据权利要求1所述的带有定位功能的离子注入机，其特征在于，所述驱动组件（9）包括固定板（11），所述固定板（11）的正面转动连接有驱动齿轮（12），所述固定板（11）的背面固定有驱动电机（13），所述驱动电机（13）的输出端与驱动齿轮（12）相连接；所述固定板（11）的上下两端分别固定有上滑轨（14）和下滑轨（15），所述上滑轨（14）的正面滑动连接有上调节板（16），所述下滑轨（15）的正面滑动连接有下调节板（17），所述上调节板（16）和下调节板（17）均与驱动齿轮（12）啮合连接，所述夹板二（4）的端部与上调节板（16）固定连接，所述夹板一（3）的端部与下调节板（17）固定连接。

4.根据权利要求3所述的带有定位功能的离子注入机，其特征在于，所述上调节板（16）和下调节板（17）的两端均转动连接有滚轮，所述上调节板（16）和下调节板（17）均通过滚轮分别与上滑轨（14）和下滑轨（15）滑动连接。

5.根据权利要求3所述的带有定位功能的离子注入机，其特征在于，所述调节腔（8）的内部且位于第二连接横板（6）下方的位置处固定有第一引导滑槽（18），所述第二连接横板（6）的下端通过导轮与第一引导滑槽（18）滑动连接，所述调节腔（8）的内部且位于第一连接横板（7）下方的位置处固定有第二引导滑槽（19），所述第一连接横板（7）的下端通过导轮与第二引导滑槽（19）滑动连接。

技术总结
本技术公开了一种带有定位功能的离子注入机，包括：工作台，工作台内侧上部开设有放置腔，放置腔的内部对称设置有夹板一和夹板二，用于加工件的定位，工作台的内侧下部开设有调节腔，夹板一和夹板二的下端均通过通槽延伸至调节腔内部；驱动组件，其设置在调节腔内部内侧，夹板一的下端固定有第一连接横板，夹板一通过第一连接横板与驱动组件相连接，夹板二的下端固定有第二连接横板。本技术提供的一种带有定位功能的离子注入机，通过驱动组件可带动夹板一和夹板二进行相互方向上的移动，从而可对加工件进行定位校正，即达到了方便使用的目的；节省了人力，并且提高了加工件的稳定性。

技术研发人员：张玲
受保护的技术使用者：扬州信尚电子科技有限公司
技术研发日：20230807
技术公布日：2024/2/25