一种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓的制作方法

本技术属于扩散炉，具体来说，涉及一种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓。

背景技术：

1、扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

2、在晶体硅太阳能电池制造过程中硅片进行扩散工序需要使用到扩散炉反应仓，但是现有技术中的扩散炉反应仓在输入氧气和氮气的时候，大多都是固定位置输入，造成作为工艺气体的氮气、氧气和磷源在扩散工序过程中混合不足，影响了产品的扩散均匀。

3、针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

4、因此为了解决以上问题，本实用新型提供了一种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓。

技术实现思路

1、为了克服上述的技术问题，本实用新型的目的在于提供一种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓，通过电机带动减速机转动，减速机带动连接转轴转动，连接转轴带动齿轮转动，齿轮配合着啮齿带动转盘转动，从而使得通过多组分流管输入到反应仓体内的气体能够快速均匀的分布在反应仓体的内部。

2、本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

3、一种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓，包括反应仓体，所述反应仓体的内部转动连接有转盘，所述转盘的内部开设有分流通道，所述转盘的底端固定安装有分流管，所述分流管与所述分流通道相通，所述转盘的外侧边缘处固定安装有啮齿，所述反应仓体的顶端固定安装有电机箱，所述电机箱的内部安装有电机，所述电机的底端固定安装有减速机，所述减速机的底端安装有连接转轴，所述连接转轴的底端固定安装有齿轮，所述齿轮与所述啮齿啮合连接，通过电机带动减速机转动，减速机带动连接转轴转动，连接转轴带动齿轮转动，齿轮配合着啮齿带动转盘转动，从而使得通过多组分流管输入到反应仓体内的气体能够快速均匀的分布在反应仓体的内部。

4、进一步在于，所述反应仓体的顶端一侧固定安装有第一喷磷管，所述第一喷磷管上安装有第一阀门。

5、进一步在于，所述反应仓体的顶端另一侧固定安装有第二喷磷管，所述第二喷磷管上安装有第二阀门。

6、进一步在于，所述反应仓体的顶端中部固定安装有进气管，所述进气管上安装有第三阀门。

7、进一步在于，所述转盘的顶端转动连接有连接杆，所述连接杆与所述分流通道相通，且所述连接杆与所述进气管相通，所述连接杆固定安装在所述反应仓体的内部，所述分流管上开设多组均匀布置的出气孔。

8、进一步在于，所述电机箱的内部顶端固定安装有固定座，所述固定座的底端固定安装有所述电机，所述电机内转轴的输出端通过联轴器与所述减速机内转轴的接收端相连接，所述减速机内转轴的输出端通过联轴器与所述连接转轴的顶端相连接。

9、进一步在于，所述反应仓体上还安装有排出废气的排气管。

10、与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

11、本实用新型中，通过电机带动减速机转动，减速机带动连接转轴转动，连接转轴带动齿轮转动，齿轮配合着啮齿带动转盘转动，从而使得通过多组分流管输入到反应仓体内的气体能够快速均匀的分布在反应仓体的内部。

技术特征：

1.一种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓，其特征在于，包括反应仓体（1），所述反应仓体（1）的内部转动连接有转盘（5），所述转盘（5）的内部开设有分流通道（502），所述转盘（5）的底端固定安装有分流管（503），所述分流管（503）与所述分流通道（502）相通，所述转盘（5）的外侧边缘处固定安装有啮齿（504），所述反应仓体（1）的顶端固定安装有电机箱（6），所述电机箱（6）的内部安装有电机（602），所述电机（602）的底端固定安装有减速机（603），所述减速机（603）的底端安装有连接转轴（604），所述连接转轴（604）的底端固定安装有齿轮（605），所述齿轮（605）与所述啮齿（504）啮合连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓，其特征在于，所述反应仓体（1）的顶端一侧固定安装有第一喷磷管（2），所述第一喷磷管（2）上安装有第一阀门（201）。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓，其特征在于，所述反应仓体（1）的顶端另一侧固定安装有第二喷磷管（3），所述第二喷磷管（3）上安装有第二阀门（301）。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓，其特征在于，所述反应仓体（1）的顶端中部固定安装有进气管（4），所述进气管（4）上安装有第三阀门（401）。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓，其特征在于，所述转盘（5）的顶端转动连接有连接杆（501），所述连接杆（501）与所述分流通道（502）相通，且所述连接杆（501）与所述进气管（4）相通，所述连接杆（501）固定安装在所述反应仓体（1）的内部，所述分流管（503）上开设多组均匀布置的出气孔。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓，其特征在于，所述电机箱（6）的内部顶端固定安装有固定座（601），所述固定座（601）的底端固定安装有所述电机（602），所述电机（602）内转轴的输出端通过联轴器与所述减速机（603）内转轴的接收端相连接，所述减速机（603）内转轴的输出端通过联轴器与所述连接转轴（604）的顶端相连接。

7.根据权利要求1所述的一种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓，其特征在于，所述反应仓体（1）上还安装有排出废气的排气管。

技术总结
本技术公开了一种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓，包括反应仓体，反应仓体的内部转动连接有转盘，转盘的内部开设有分流通道，转盘的底端固定安装有分流管，分流管与分流通道相通，转盘的外侧边缘处固定安装有啮齿，反应仓体的顶端固定安装有电机箱，电机箱的内部安装有电机，电机的底端固定安装有减速机，减速机的底端安装有连接转轴，连接转轴的底端固定安装有齿轮，齿轮与啮齿啮合连接；通过电机带动减速机转动，减速机带动连接转轴转动，连接转轴带动齿轮转动，齿轮配合着啮齿带动转盘转动，从而使得通过多组分流管输入到反应仓体内的气体能够快速均匀的分布在反应仓体的内部。

技术研发人员：陈志涵,吴芳,姜玲玲,吴平
受保护的技术使用者：江阴华超新能源有限公司
技术研发日：20230809
技术公布日：2024/5/27