一种硅片转运装置的制作方法

本技术涉及硅片转运设备领域，具体为一种硅片转运装置。

背景技术：

1、硅片是新能源电池片的关键部件，在对硅片进行加工过程中，由于加工工艺的需要，需要将硅片在石墨舟以及花篮上进行循环转运，以保证硅片被输送至不同的加工位。由于硅片的厚度薄，在定位时容易存在左右倾斜的状态，现有的技术是将石墨舟、花篮和吸取组件设置一定的倾斜角度，使得硅片能够在自由状态下向同一方向倾斜，以此避免吸盘吸取时出现夹板的现象。

2、鉴于此，有必要提供一种硅片转运装置。

技术实现思路

1、本实用新型提供的一种硅片转运装置，有效的解决了现有硅片转运装置对硅片进行转移时容易出现夹板的现象。

2、本实用新型所采用的技术方案是

3、一种硅片转运装置，包括机架、沿x方向并列设置在机架上的若干花篮输送机构、位于若干花篮输送机构上方的移载机构、沿x方向并列设置在机架上的若干石墨舟机构、设置在机架上用于对花篮或石墨舟上的硅片进行导正的顶升机构。所述移载机构包括龙门架、沿y方向设置在龙门架上的一号直线模组、固定设置在一号直线模组输出端的至少两个升降吸附组件，所述石墨舟机构包括沿x方向设置在机架上的二号直线模组以及固定设置在二号直线模组上的一号座以及设置在一号座上的舟安装框，所述花篮输送机构包括沿x方向设置在机架上的三号直线模组上、设置在三号直线模组上的二号座、以及固定设置在二号座上的花篮安装框，所述一号座、二号座和龙门架端面均为水平状态。

4、进一步的是：所述顶升机构包括若干用于对花篮输送机构的硅片进行顶升定位的一号顶升组件以及二号顶升组件，所述一号顶升组件和二号顶升组件结构相同，所述一号顶升组件包括沿z方向设置的四号直线模组、固定设置在四号直线模组输出端的支撑架、两个固定间隔设置在支撑架上的一号块、沿x方向固定设置在一号块上的若干陶瓷棒a，所述陶瓷棒a上端设置为锥形结构。

5、进一步的是：所述升降吸附组件包括沿z方向固定设置在一号直线模组输出端的六号直线模组、固定设置在六号直线模组输出端的一号架、沿x方向固定设置在一号架上的七号直线模组、固定设置在七号直线模组上的三号块以及沿x方向固定设置在三号块上的若干吸板。

6、进一步的是：所述移载机构还包括设置在龙门上的二号定位组件，所述二号定位组件包括设置在龙门架上的固定安装架、若干沿y方向设置在固定安装架上的若干定位组件，所述定位组件包括对称设置的左定位件、右定位件以及驱动左定位件和右定位件相对移动的驱动件，所述左定位件包括设置在固定安装架上的竖向架、若干沿x方向固定设置在竖向架相对一侧的若干陶瓷棒b以及陶瓷棒c，所述陶瓷棒c位于陶瓷棒a下方，所述陶瓷棒a、陶瓷棒b以及陶瓷棒c结构相同。

7、进一步的是：所述舟安装框包括设置镂空设计的一号板、设置在一号板x方向一端的固定端以及设置在一号板x方向另一端的推移组件，所述推移组件包括设置在一号板上的气缸以及设置在气缸上的推块。

8、实用新型的有益效果：通过将一号座、二号座和龙门架端面设置为水平状态，能够保证在对硅片进行转移前，硅片被顶升组件有效的定位，提高转运效率。

技术特征：

1.一种硅片转运装置，包括机架(1)、沿x方向并列设置在机架(1)上的若干花篮输送机构(2)、位于若干花篮输送机构(2)上方的移载机构(3)、沿x方向并列设置在机架(1)上的若干石墨舟机构(4)、设置在机架(1)上用于对花篮或石墨舟上的硅片进行导正的顶升机构(5)，其特征在于：所述移载机构(3)包括龙门架(31)、沿y方向设置在龙门架(31)上的一号直线模组(32)、固定设置在一号直线模组(32)输出端的至少两个升降吸附组件(33)，所述石墨舟机构(4)包括沿x方向设置在机架(1)上的二号直线模组(41)以及固定设置在二号直线模组(41)上的一号座(42)以及设置在一号座(42)上的舟安装框(43)，所述花篮输送机构(2)包括沿x方向设置在机架(1)上的三号直线模组(21)上、设置在三号直线模组(21)上的二号座(22)、以及以及固定设置在二号座(22)上的花篮安装框(23)，所述一号座(42)、二号座(22)和龙门架(31)端面均为水平状态。

2.根据权利要求1所述的硅片转运装置，其特征在于：所述顶升机构(5)包括若干用于对花篮输送机构(2)的硅片进行顶升定位的一号顶升组件(51)以及二号顶升组件(52)，所述一号顶升组件(51)和二号顶升组件(52)结构相同，所述一号顶升组件(51)包括沿z方向设置的四号直线模组(511)、固定设置在四号直线模组(511)输出端的支撑架(512)、两个固定间隔设置在支撑架(512)上的一号块(513)、沿x方向固定设置在一号块(513)上的若干陶瓷棒a(514)，所述陶瓷棒a(514)上端设置为锥形结构。

3.根据权利要求1所述的硅片转运装置，其特征在于：所述升降吸附组件(33)包括沿z方向固定设置在一号直线模组(32)输出端的六号直线模组(331)、固定设置在六号直线模组(331)输出端的一号架(332)、沿x方向固定设置在一号架(332)上的七号直线模组(333)、固定设置在七号直线模组(333)上的三号块(334)以及沿x方向固定设置在三号块(334)上的若干吸板(335)。

4.根据权利要求1所述的硅片转运装置，其特征在于：所述移载机构(3)还包括设置在龙门上的二号定位组件(34)，所述二号定位组件(34)包括设置在龙门架(31)上的固定安装架、若干沿y方向设置在固定安装架上的若干定位组件，所述定位组件包括对称设置的左定位件(343)、右定位件(344)以及驱动左定位件(343)和右定位件(344)相对移动的驱动件(345)，所述左定位件(343)包括设置在固定安装架上的竖向架(3431)、若干沿x方向固定设置在竖向架(3431)相对一侧的若干陶瓷棒b(3432)以及陶瓷棒c(3433)，所述陶瓷棒c(3433)位于陶瓷棒a(514)下方，所述陶瓷棒a(514)、陶瓷棒b(3432)以及陶瓷棒c(3433)结构相同。

5.根据权利要求1所述的硅片转运装置，其特征在于：所述舟安装框(43)包括设置镂空设计的一号板(231)、设置在一号板(231)x方向一端的固定端(232)以及设置在一号板(231)x方向另一端的推移组件，所述推移组件包括设置在一号板(231)上的气缸(233)以及设置在气缸(233)上的推块(234)。

技术总结
本技术公开一种硅片转运装置，包括机架、若干花篮输送机构、位于若干花篮输送机构上方的移载机构、若干石墨舟机构、顶升机构。移载机构包括龙门架、一号直线模组、固定设置在一号直线模组输出端的升降吸附组件，石墨舟机构包括二号直线模组以及固定设置在二号直线模组上的一号座以及设置在一号座上的舟安装框，花篮输送机构包括沿X方向设置在机架上的三号直线模组上、设置在三号直线模组上的二号座、以及固定设置在二号座上的花篮安装框，一号座、二号座和龙门架端面均为水平状态。优点：通过将一号座、二号座和龙门架端面设置为水平状态，能够保证在对硅片进行转移前，硅片被顶升组件有效的定位，提高转运效率。

技术研发人员：石磊
受保护的技术使用者：苏州诚拓智能装备有限公司
技术研发日：20230828
技术公布日：2024/6/18