一种磁控管功率控制电路的制作方法

本技术涉及微波控制，特别是涉及一种磁控管功率控制电路。

背景技术：

1、金刚石涂层是21世纪的一种新型功能材料，具有高强度、高摩擦磨损性能、高热导率和化学稳定性，有广泛的应用前景。微波等离子体化学气相沉积法(microwaveplasmachemical vapor deposition,mpcvd)是在反应腔中的气体在微波能的激发下开始电离，形成由原子、原子团、离子和电子共存的混合物，从而在基片上沉积得到金刚石薄膜。它通过微波激发的等离子体电离反应腔的气体，进行沉积，具有无污染、可控性好，激发的微波等离子体电子密度高、无电极污染、能量利用率高等优点，在众多金刚石膜的制备方法中，被认为是制备高质量金刚石膜的首选方法。磁控管是产生微波的重要部件，输出微波功率稳定性直接关系到金刚石薄膜质量的好坏，现有传统的恒流工作磁控管，其阳极电压随输出功率及环境温度变化影响较大，导致输出功率波动较大，稳定性差，影响最终的金刚石沉淀。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对上述问题，提供一种磁控管功率控制电路。

2、一种磁控管功率控制电路，包括信号处理模块，恒功率误差放大器，恒压误差放大器与磁场电流放大器，所述信号处理模块包括电阻一至电阻八，运算放大器一，运算放大器二与四象限模拟乘法器三，电阻一、电阻二分别与运算放大器一的负极输入脚及正极输入脚连接，电阻三连接在运算放大器一的负极输入脚与输出脚之间，运算放大器一的输出脚串联电阻四与四象限模拟乘法器三的一脚连接，电阻五、电阻六分别与运算放大器二的负极输入脚及正极输入脚连接，电阻七连接在运算放大器二的负极输入脚与输出脚之间，运算放大器二的输出脚串联电阻八与四象限模拟乘法器三的三脚连接，四象限模拟乘法器三的七脚与恒功率误差放大器连接，六脚接地，运算放大器二的输出脚还通过恒压误差放大器与磁场电流放大器连接。

3、优选的，所述恒功率误差放大器包括运算放大器四，电阻九至电阻十一与电容一，电阻九与运算放大器四的负极输入脚连接，电阻十连接在运算放大器四的正极输入脚与四象限模拟乘法器三的七脚之间，电容一连接在运算放大器四的负极输入脚与输出脚之间，运算放大器四的输出脚串联电阻十一与电源控制器连接。

4、优选的，所述恒压误差放大器包括运算放大器五，电阻十二与电阻十三与电容二，运算放大器五的负极输入脚通过电阻十二与运算放大器二输出脚连接，电阻十三连接运算放大器五的正极输入脚，电容二连接在运算放大器五的负极输入脚及输出脚之间。

5、优选的，所述磁场电流放大器包括运算放大器六，三极管一与电阻十四至电阻十七，运算放大器六的正极输入脚通过电阻十五与运算放大器五输出脚连接，运算放大器六的负极输入脚通过电阻十四接地，运算放大器六的输出脚通过电阻十七与三极管一的基极连接，三极管一的集电极接电源vee，三极管一的发射极通过电阻十六与运算放大器六的负极输入脚连接。

6、优选的，所述四象限模拟乘法器三的型号为ad633。

7、优选的，所述运算放大器一，运算放大器二，运算放大器四，运算放大器五与运算放大器六的型号均为lm358。

8、本实用新型的有益之处在于：采用恒压恒功率控制，恒压用于稳定磁控管阳极电压，恒功率用于稳定磁控管输出功率(功率可调)，两种方式结合使用，可使磁控管输出功率稳定同时阳极电压保持不变，使得磁控管输出功率更稳定，解决磁控管工作中阳极电压随输出功率及环境温度变化而变化问题。

技术特征：

1.一种磁控管功率控制电路，其特征在于：包括信号处理模块，恒功率误差放大器，恒压误差放大器与磁场电流放大器，所述信号处理模块包括电阻一至电阻八，运算放大器一，运算放大器二与四象限模拟乘法器三，电阻一、电阻二分别与运算放大器一的负极输入脚及正极输入脚连接，电阻三连接在运算放大器一的负极输入脚与输出脚之间，运算放大器一的输出脚串联电阻四与四象限模拟乘法器三的一脚连接，电阻五、电阻六分别与运算放大器二的负极输入脚及正极输入脚连接，电阻七连接在运算放大器二的负极输入脚与输出脚之间，运算放大器二的输出脚串联电阻八与四象限模拟乘法器三的三脚连接，四象限模拟乘法器三的七脚与恒功率误差放大器连接，六脚接地，运算放大器二的输出脚还通过恒压误差放大器与磁场电流放大器连接。

2.如权利要求1所述的一种磁控管功率控制电路，其特征在于：所述恒功率误差放大器包括运算放大器四，电阻九至电阻十一与电容一，电阻九与运算放大器四的负极输入脚连接，电阻十连接在运算放大器四的正极输入脚与四象限模拟乘法器三的七脚之间，电容一连接在运算放大器四的负极输入脚与输出脚之间，运算放大器四的输出脚串联电阻十一与电源控制器连接。

3.如权利要求2所述的一种磁控管功率控制电路，其特征在于：所述恒压误差放大器包括运算放大器五，电阻十二与电阻十三与电容二，运算放大器五的负极输入脚通过电阻十二与运算放大器二输出脚连接，电阻十三连接运算放大器五的正极输入脚，电容二连接在运算放大器五的负极输入脚及输出脚之间。

4.如权利要求3所述的一种磁控管功率控制电路，其特征在于：所述磁场电流放大器包括运算放大器六，三极管一与电阻十四至电阻十七，运算放大器六的正极输入脚通过电阻十五与运算放大器五输出脚连接，运算放大器六的负极输入脚通过电阻十四接地，运算放大器六的输出脚通过电阻十七与三极管一的基极连接，三极管一的集电极接电源vee，三极管一的发射极通过电阻十六与运算放大器六的负极输入脚连接。

5.如权利要求1所述的一种磁控管功率控制电路，其特征在于：所述四象限模拟乘法器三的型号为ad633。

6.如权利要求4所述的一种磁控管功率控制电路，其特征在于：所述运算放大器一，运算放大器二，运算放大器四，运算放大器五与运算放大器六的型号均为lm358。

技术总结
本技术涉及一种磁控管功率控制电路，包括信号处理模块，其电阻一、电阻二分别与运算放大器一的负极输入脚及正极输入脚连接，电阻三连接在运算放大器一的负极输入脚与输出脚之间，运算放大器一的输出脚串联电阻四与四象限模拟乘法器三的一脚连接，电阻五、电阻六分别与运算放大器二的负极输入脚及正极输入脚连接，电阻七连接在运算放大器二的负极输入脚与输出脚之间，运算放大器二的输出脚串联电阻八与四象限模拟乘法器三的三脚连接，四象限模拟乘法器三的七脚与恒功率误差放大器连接，六脚接地，运算放大器二的输出脚通过恒压误差放大器与磁场电流放大器连接。恒压稳定磁控管阳极电压，恒功率稳定磁控管输出功率，使磁控管输出功率更稳定。

技术研发人员：刘引,张光,罗文波,刘欣
受保护的技术使用者：成都腾六光电有限公司
技术研发日：20230829
技术公布日：2024/3/27