一种晶圆斜插检测装置的制作方法

本技术涉及晶圆检测，尤其涉及一种晶圆斜插检测装置。

背景技术：

1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，随着集成电路芯片的广泛应用，晶圆的重要性也逐渐体现出来。

2、在进行不同的半导体工艺制程时，需要将晶圆在从晶舟内导出，在晶圆进行导片时，如果将其斜插在晶圆载具中可能会造成损坏，严重时两边的晶圆或者整批晶圆也会损坏，为了解决上述问题，本实用新型公开了一种晶圆斜插检测装置。

技术实现思路

1、为克服现有技术的不足，本实用新型公开了一种晶圆斜插检测装置。

2、为实现上述目的，本实用新型通过以下技术方案实现：一种晶圆斜插检测装置，包括底板和晶圆载具，所述底板上方于第一方向两侧分别设置有第一架体和第二架体；

3、所述晶圆载具设置在第一架体和第二架体之间对应的底板上，所述晶圆载具上具有若干个沿着第一方向排布用于晶圆摆放的插槽；

4、所述第一架体在第二方向对应的两个侧壁上方分别设置有向着第一方向发射光电信号的光电sensor发射器；

5、所述第二架体在第二方向对应的两个侧壁上方分别设置有用于接收光电信号的光电sensor接收器；

6、所述第一方向和第二方向相互垂直。

7、进一步的是，所述第一架体为第一门架，所述第一门架的两个立柱底部和向内或者向外设置有安装片，两个第一安装片上分别设置有安装孔a,所述底板沿着第二方向对应设置有两个安装孔b，在第一门架与底板固定时，每个安装孔a和与其对应的安装孔b之间拧接有一螺栓。

8、进一步的是，所述第一门架的两个立柱上方分别设置有腰形孔a，两个光电sensor发射器分别沿着第三方向设置有两个安装孔c，在两个光电sensor发射器分别与第一门架的两个立柱固定时，每个安装孔c和与其对应的腰形孔a之间拧接有一螺栓。

9、进一步的是，所述第二架体为倒放的第二门架，所述第二门架的横梁上设置有两个腰形孔b，所述底板沿着第二方向对应设置有两个腰形孔c，在第二门架与底板固定时，每个腰形孔b和与其对应的腰形孔c之间拧接有一螺栓。

10、进一步的是，所述第二门架的两个立柱上方分别设置有腰形孔d，两个光电sensor接收器分别沿着第三方向设置有两个安装孔d，在两个光电sensor接收器分别与第二门架的两个立柱固定时，每个安装孔d和与其对应的腰形孔d之间拧接有一螺栓。

11、进一步的是，所述晶圆载具上用于摆放晶圆的插槽数量为25个。

12、进一步的是，两个光电sensor发射器和两个光电sensor接收器外接有plc控制器。

13、本实用新型实现以下有益效果：

14、本实用新型增加晶圆检测装置后，在导片时通过两个光电sensor发射器和光电sensor接收器相配合及时发现晶圆斜插的情况，即时停止后续动作，减少了晶圆的损坏。

15、至于本实用新型的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在说明书以及附图中所指出的结构来实现和获得。

技术特征：

1.一种晶圆斜插检测装置，其特征在于，包括底板和晶圆载具，所述底板上方于第一方向两侧分别设置有第一架体和第二架体；

2.根据权利要求1所述的一种晶圆斜插检测装置，其特征在于，所述第一架体为第一门架，所述第一门架的两个立柱底部和向内或者向外设置有安装片，两个第一安装片上分别设置有安装孔a,所述底板沿着第二方向对应设置有两个安装孔b，在第一门架与底板固定时，每个安装孔a和与其对应的安装孔b之间拧接有一螺栓。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆斜插检测装置，其特征在于，所述第一门架的两个立柱上方分别设置有腰形孔a，两个光电sensor发射器分别沿着第三方向设置有两个安装孔c，在两个光电sensor发射器分别与第一门架的两个立柱固定时，每个安装孔c和与其对应的腰形孔a之间拧接有一螺栓。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆斜插检测装置，其特征在于，所述第二架体为倒放的第二门架，所述第二门架的横梁上设置有两个腰形孔b，所述底板沿着第二方向对应设置有两个腰形孔c，在第二门架与底板固定时，每个腰形孔b和与其对应的腰形孔c之间拧接有一螺栓。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆斜插检测装置，其特征在于，所述第二门架的两个立柱上方分别设置有腰形孔d，两个光电sensor接收器分别沿着第三方向设置有两个安装孔d，在两个光电sensor接收器分别与第二门架的两个立柱固定时，每个安装孔d和与其对应的腰形孔d之间拧接有一螺栓。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆斜插检测装置，其特征在于，所述晶圆载具上用于摆放晶圆的插槽数量为25个。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆斜插检测装置，其特征在于，两个光电sensor发射器和两个光电sensor接收器外接有plc控制器。

技术总结
本技术涉及晶圆检测设备技术领域，具体公开了一种晶圆斜插检测装置，包括底板和晶圆载具，底板上方于第一方向两侧分别设置有第一架体和第二架体；晶圆载具设置在第一架体和第二架体之间对应的底板上，晶圆载具上具有若干个沿着第一方向排布用于晶圆摆放的插槽；第一架体在第二方向对应的两个侧壁上方分别设置有向着第一方向发射光电信号的光电sensor发射器；第二架体在第二方向对应的两个侧壁上方分别设置有用于接收光电信号的光电sensor接收器；第一方向和第二方向相互垂直，本技术增加晶圆检测装置后，在导片时通过两个光电sensor发射器和光电sensor接收器相配合及时发现晶圆斜插的情况，即时停止后续动作，减少了晶圆的损坏。

技术研发人员：王文章,郭青,江明,徐福兴
受保护的技术使用者：昆山基侑电子科技有限公司
技术研发日：20230906
技术公布日：2024/4/17