加热盘的制作方法

本技术涉及半导体设备，特别涉及一种加热盘。

背景技术：

1、用于加工晶圆的腔体的内部一般具有加热盘，加热盘用于加热晶圆基片。目前的加热盘通常在盘体上间隔设置有多个加热槽，以同时加热多个晶圆基片，提高效率。但是若其中一个加热槽损坏，无法起到加热作用时，需要将加热盘整体拆卸进行维修，盘体尺寸较大，拆装及维修不方便。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种加热盘，拆装及维修更加方便。

2、根据本实用新型的实施例的加热盘，安装于工艺腔室内，所述工艺腔室呈圆柱状，所述加热盘包括旋转支撑架、多个盘体、盖板和多个第一加热元器件，所述旋转支撑架能够旋转；多个所述盘体呈圆环状间隔设置，且均安装于所述旋转支撑架，多个所述盘体均设有加热槽；所述盖板呈圆饼状，并设有多个呈圆环状间隔设置的第一避让槽，所述盖板与所述工艺腔室的侧壁配合并盖设于多个所述盘体上，多个所述第一避让槽一一对应地显露出多个所述加热槽；多个所述第一加热元器件与多个所述盘体一一对应连接，以能够对多个所述盘体的所述加热槽加热。

3、根据本实用新型实施例的加热盘，至少具有如下有益效果：由于盖板与工艺腔室的侧壁配合并盖设于多个盘体上，多个第一避让槽一一对应地显露出多个加热槽，故在加工晶圆基片时，工艺气体被局限在加热盘的上方，避免工艺气体进入加热盘的下方，影响加热盘的使用。另外，由于多个第一加热元器件与多个盘体一一对应连接，以能够对盘体的加热槽加热。故若其中一个加热槽损坏，无法起到加热作用时，只需要拆卸下相应的盘体和第一加热元器件即可，不需要将加热盘整体拆卸下来进行维修，故拆装及维修更加方便。

4、根据本实用新型的一种实施例，所述旋转支撑架包括中心部和多个支撑板，多个所述支撑板呈发散状连接于所述中心部的周侧，每个所述盘体都与至少一个所述支撑板连接。

5、根据本实用新型的一种实施例，所述支撑板包括板体和支撑块，所述支撑块连接于所述板体和所述盘体之间。

6、根据本实用新型的一种实施例，所述中心部设有走线孔，多个所述第一加热元器件穿过所述走线孔。

7、根据本实用新型的一种实施例，所述盘体的上端面设有凸台和安装环，所述安装环套设于所述凸台，且所述安装环的上端面高于所述凸台的上端面，以形成所述加热槽。

8、根据本实用新型的一种实施例，所述凸台设有至少三个第一支撑凸起和至少三个第一顶针孔。

9、根据本实用新型的一种实施例，所述盘体的上端面设有凹槽和托盘，所述托盘配合于所述凹槽，所述托盘限定出所述加热槽。

10、根据本实用新型的一种实施例，所述托盘设有至少三个第二支撑凸起和至少三个第二顶针孔，所述盘体设有至少三个第三顶针孔，所述第二顶针孔和所述第三顶针孔数量相等，且一一对应连通。

11、根据本实用新型的一种实施例，所述盘体的上端面还设有第一定位结构，所述托盘设有第二定位结构，所述第一定位结构与所述第二定位结构定位配合。

12、根据本实用新型的一种实施例，所述第一定位结构为定位凸起，所述定位凸起位于所述凹槽，所述第二定位结构为定位槽，所述定位槽设于所述托盘。

13、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.加热盘，安装于工艺腔室内，所述工艺腔室呈圆柱状，其特征在于，所述加热盘包括：

2.根据权利要求1所述的加热盘，其特征在于，所述旋转支撑架包括中心部和多个支撑板，多个所述支撑板呈发散状连接于所述中心部的周侧，每个所述盘体都与至少一个所述支撑板连接。

3.根据权利要求2所述的加热盘，其特征在于，所述支撑板包括板体和支撑块，所述支撑块连接于所述板体和所述盘体之间。

4.根据权利要求2所述的加热盘，其特征在于，所述中心部设有走线孔，多个所述第一加热元器件穿过所述走线孔。

5.根据权利要求1所述的加热盘，其特征在于，所述盘体的上端面设有凸台和安装环，所述安装环套设于所述凸台，且所述安装环的上端面高于所述凸台的上端面，以形成所述加热槽。

6.根据权利要求5所述的加热盘，其特征在于，所述凸台设有至少三个第一支撑凸起和至少三个第一顶针孔。

7.根据权利要求1所述的加热盘，其特征在于，所述盘体的上端面设有凹槽和托盘，所述托盘配合于所述凹槽，所述托盘限定出所述加热槽。

8.根据权利要求7所述的加热盘，其特征在于，所述托盘设有至少三个第二支撑凸起和至少三个第二顶针孔，所述盘体设有至少三个第三顶针孔，所述第二顶针孔和所述第三顶针孔数量相等，且一一对应连通。

9.根据权利要求8所述的加热盘，其特征在于，所述盘体的上端面还设有第一定位结构，所述托盘设有第二定位结构，所述第一定位结构与所述第二定位结构定位配合。

10.根据权利要求9所述的加热盘，其特征在于，所述第一定位结构为定位凸起，所述定位凸起位于所述凹槽，所述第二定位结构为定位槽，所述定位槽设于所述托盘。

技术总结
本技术具体公开了一种加热盘，安装于工艺腔室内，工艺腔室呈圆柱状，加热盘包括旋转支撑架、多个盘体、盖板和多个第一加热元器件，旋转支撑架能够旋转；多个盘体呈圆环状间隔设置，且均安装于旋转支撑架，多个盘体均设有加热槽；盖板呈圆饼状，并设有多个呈圆环状间隔设置的第一避让槽，盖板与工艺腔室的侧壁配合并盖设于多个盘体上，多个第一避让槽一一对应地显露出多个加热槽；多个第一加热元器件与多个盘体一一对应连接，以能够对多个盘体的加热槽加热，根据本技术实施例的加热盘，拆装及维修更加方便。

技术研发人员：请求不公布姓名,请求不公布姓名,请求不公布姓名,请求不公布姓名,请求不公布姓名
受保护的技术使用者：深圳市原速光电科技有限公司
技术研发日：20230907
技术公布日：2024/4/29