一种均匀刻蚀样品台的制作方法

本技术涉及样品台，尤其涉及一种均匀刻蚀样品台。

背景技术：

1、目前，公知的反应离子刻蚀机样品台构造主要是由阴极、支架、水冷装置和射频信号连接器组装而成。当阴极接通射频信号后，在阴极和阳极放气管之间利用射频产生气体辉光放电，放电产生的化学活性基、原子等多种化学成分和样品物质表面发生作用从而实现对样品的刻蚀。

2、但是现有的刻蚀的样品台不能进行调节，进而在对不同厚度的样品进行刻蚀时，不能保证样品在样品台上与离子源距离的一致性，进而使得刻蚀的效果较差，为此，我们提出一种均匀刻蚀样品台来解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决背景技术中涉及的现有技术存在的缺点，而提出的一种均匀刻蚀样品台。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、一种均匀刻蚀样品台，包括安装底座，所述安装底座的顶端设置有转动座，所述转动座的顶端设置有移动台，所述移动台的顶端两侧皆设置有移动限位杆，所述移动限位杆的外部套接有支撑平台，所述支撑平台的顶端一侧设置有支撑立杆，所述支撑立杆的外部套接有移动座，所述移动座的端部设置有安装板，所述安装板的边侧设置有压板，所述压板位于支撑平台的上方；

4、可以对支撑平台在移动台的上方进行左右的调节，同时该压板可以通过移动座在支撑立杆的外部进行调节，进而可以对支撑平台和压板之间的间距进行调节，方便不同厚度的样品进行刻蚀，操作简单，使用方便。

5、优选的，所述转动座的边侧设置有第一伺服电机，所述第一伺服电机可以带动转动座的顶端进行转动；

6、可以使第一伺服电机带动转动座进行转动，进而使转动座带动移动台进行转动，从而可以对移动台的角度进行调节，方便在不同的工作场景下进行工作。

7、优选的，所述移动台的顶端中心位置处设置有转动杆，所述支撑平台的中间位置处与转动杆相互连接；

8、可以增加支撑平台滑动的稳定性，避免其发生脱离的情况，进而可以提高扫描的均匀性。

9、优选的，所述移动台的边侧设置有第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出端与转动杆固定连接；

10、可以使第二伺服电机通过转动杆带动支撑平台进行移动，可以使支撑平台进行均匀性的往复运动，进而使得扫描的均匀性较好。

11、优选的，所述移动台的边侧设置有手动摇杆，所述手动摇杆的端部延伸至第二伺服电机的内部并与转动杆的端部固定连接；

12、增加手动摇杆带动转动杆的转动，可以实现不同闪耀角的刻蚀。

13、优选的，所述支撑平台的边侧中间位置处设置有输送杆，且输送杆位于两组支撑立杆之间，所述移动座套接在输送杆的外部；

14、可以使移动座滑动的稳定性更好，避免移动座发生晃动和脱离的情况。

15、优选的，所述支撑立杆的顶端设置有第三伺服电机，所述第三伺服电机的输出端与输送杆固定连接；

16、可以使第三伺服电机通过输送杆带动移动座进行均匀移动，进一步提高了后续扫描的均匀性。

17、与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

18、1、本实用新型可以使得支撑平台在移动限位杆上均匀进行移动，同时该移动座可以跟随支撑平台进行移动，同时可以带动压板进行移动，从而可以根据不同厚度的样品进行调节，使得后续的扫描更加均匀，操作简单，使用方便。

19、2、本实用新型工作台采用三维电动，一维手动，左右运动为主运动，要求最高，工作是为连续运动，垂直运动为间歇运动，刻蚀一次最多动作五次，为保持真空稳定性，将其第二伺服电机和第三伺服电机置于真空室内，根据现有刻蚀机的使用情况，完全可以长时间稳定运行，工作台增加一维垂直扫描,可以将离子束刻蚀均匀性提高一倍以上。

20、3、本实用新型中的支撑平台上为金属散热板，无需采用常规的水冷散热，使得基板与金属散热板进行接触，同时因为基板本身较小，使得金属散热板可以正常的完成散热，使得散热更加方便

技术特征：

1.一种均匀刻蚀样品台，包括安装底座(1)，其特征在于，所述安装底座(1)的顶端设置有转动座(2)，所述转动座(2)的顶端设置有移动台(4)，所述移动台(4)的顶端两侧皆设置有移动限位杆(5)，所述移动限位杆(5)的外部套接有支撑平台(15)，所述支撑平台(15)的顶端一侧设置有支撑立杆(10)，所述支撑立杆(10)的外部套接有移动座(9)，所述移动座(9)的端部设置有安装板(13)，所述安装板(13)的边侧设置有压板(14)，所述压板(14)位于支撑平台(15)的上方。

2.根据权利要求1所述的一种均匀刻蚀样品台，其特征在于，所述转动座(2)的边侧设置有第一伺服电机(3)，所述第一伺服电机(3)可以带动转动座(2)的顶端进行转动。

3.根据权利要求1所述的一种均匀刻蚀样品台，其特征在于，所述移动台(4)的顶端中心位置处设置有转动杆(7)，所述支撑平台(15)的中间位置处与转动杆(7)相互连接。

4.根据权利要求3所述的一种均匀刻蚀样品台，其特征在于，所述移动台(4)的边侧设置有第二伺服电机(6)，所述第二伺服电机(6)的输出端与转动杆(7)固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种均匀刻蚀样品台，其特征在于，所述移动台(4)的边侧设置有手动摇杆(8)，所述手动摇杆(8)的端部延伸至第二伺服电机(6)的内部并与转动杆(7)的端部固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种均匀刻蚀样品台，其特征在于，所述支撑平台(15)的边侧中间位置处设置有输送杆(12)，且输送杆(12)位于两组支撑立杆(10)之间，所述移动座(9)套接在输送杆(12)的外部。

7.根据权利要求6所述的一种均匀刻蚀样品台，其特征在于，所述支撑立杆(10)的顶端设置有第三伺服电机(11)，所述第三伺服电机(11)的输出端与输送杆(12)固定连接。

技术总结
本技术公开了一种均匀刻蚀样品台，属于样品台技术领域；包括安装底座，所述安装底座的顶端设置有转动座，所述转动座的顶端设置有移动台，所述移动台的顶端两侧皆设置有移动限位杆，所述移动限位杆的外部套接有支撑平台，所述支撑平台的顶端一侧设置有支撑立杆，所述支撑立杆的外部套接有移动座，所述移动座的端部设置有安装板，所述安装板的边侧设置有压板，所述压板位于支撑平台的上方。本技术可以使得支撑平台在移动限位杆上均匀进行移动，同时该移动座可以跟随支撑平台进行移动，同时可以带动压板进行移动，从而可以根据不同厚度的样品进行调节，使得后续的扫描更加均匀，操作简单，使用方便。

技术研发人员：陈火耀,张莉,刘斌,方明英
受保护的技术使用者：安徽中科光栅科技有限公司
技术研发日：20230911
技术公布日：2024/4/22