一种晶体刻蚀承载料条的制作方法

本技术涉及晶体加工，特别涉及一种晶体刻蚀承载料条。

背景技术：

1、在晶体制造领域中，离子刻蚀是非常关键的一个工序。目前石英晶片在刻蚀过程中需采用承载晶体的治具将其固定，承载晶体的治具又称为承载料条，承载料条要求精密度高且寿命要长。

2、现有技术中的承载料条的晶体固定板和掩膜板整体焊接成型，承载料条经过离子的不断轰击刻蚀，晶体固定板及掩膜板会损坏，一旦有异常整个承载料条只能进行报废，成本高，浪费材料，同时，目前使用的承载料条由于为整体结构，不能根据具体情况单独更换掩膜板或者晶体固定板，通用性差，使用不方便。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型提供了一种晶体刻蚀承载料条，部分结构可以重复使用，便于满足不同的刻蚀需求，大大节约了成本和材料，通用性更好。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种晶体刻蚀承载料条，包括从上至下依次分体设置的晶体固定板、掩膜板和底座，所述掩膜板可拆卸设置于所述底座上，所述晶体固定板可拆卸或者固定设置于所述底座上；

4、所述晶体固定板、掩膜板和底座通过贯穿三者的连接件连接。

5、可选地，所述底座上设置有成排设置的多个第一通孔，所述第一通孔靠近所述底座的长边的边缘设置；

6、所述底座上设置有成排设置的多个第二通孔，所述第二通孔靠近所述底座的中心位置设置。

7、可选地，所述第一通孔设置有两排，两排所述第一通孔关于所述底座的平行长边的中心线对称设置；

8、所述第二通孔设置有两排，两排所述第二通孔关于所述底座的平行长边的中心线对称设置；

9、一排所述第一通孔的个数比另一排所述第一通孔的个数少一个。

10、可选地，所述底座上还设置有第一连接孔和第一计数孔，所述第一连接孔设置有两个，所述第一计数孔设置有两个；

11、所述第一连接孔和第一计数孔均设置于所述底座的平行长边的中心线上。

12、可选地，所述掩膜板上设置有成排设置的第三通孔，所述第三通孔的中心与所述第二通孔的中心对应设置；

13、所述第三通孔的形状和大小与晶体的待刻蚀区域对应设置；

14、所述第二通孔的中心到其孔侧壁的距离大于所述第三通孔的中心到其孔侧壁的最大距离；

15、所述掩膜板为石墨材质板。

16、可选地，所述第三通孔为方形孔，所述第二通孔为圆形孔；

17、所述第二通孔的半径大于所述第三通孔的中心到其孔侧拐角的距离。

18、可选地，所述掩膜板上还设置有第二连接孔和第二计数孔，所述第二连接孔与所述底座上的第一连接孔对应设置，所述第二计数孔与所述底座上的第一计数孔对应设置；

19、所述第二连接孔与第一连接孔的孔径相同，所述第二计数孔与第一计数孔的孔径相同。

20、可选地，所述晶体固定板上设置有成排设置的第四通孔，所述第四通孔的中心与所述第二通孔的中心对应设置；

21、所述第四通孔与待刻蚀晶体对应设置，所述第四通孔的尺寸大于所述掩膜板上的第三通孔的尺寸。

22、可选地，所述晶体固定板上设置有第三连接孔和第三计数孔，所述第三连接孔与所述底座上的第一连接孔对应设置，所述第三计数孔与所述底座上的第一计数孔对应设置；

23、所述第三连接孔与第一连接孔的孔径相同，所述第三计数孔与第一计数孔的孔径相同。

24、可选地，所述晶体固定板、掩膜板和底座均为平面板，所述晶体固定板、掩膜板和底座依次对应叠置后通过所述连接件连接；

25、或者，所述底座上沿长度方向设置有两端开口设置的第一限位凹槽，所述第一限位凹槽与所述掩膜板对应设置，所述掩膜板的厚度与所述第一限位凹槽的槽深度相同，所述掩膜板滑动连接在所述第一限位凹槽内；

26、所述晶体固定板焊接在所述第一限位凹槽的槽口位置。

27、从上述技术方案可以看出，本实用新型提供的晶体刻蚀承载料条，通过将晶体刻蚀承载料条设置为可拆卸的分体结构，其中的易损件掩膜板可拆卸设置于底座上，在掩膜板损坏后，可仅需要对掩膜板进行更换，晶体固定板和底座可以继续重复使用，相对于现有技术中的整体焊接的晶体刻蚀承载料条，本实用新型的晶体刻蚀承载料条的部分结构可以重复使用，仅仅更换损坏的板件即可，大大节约了成本和材料。同时，使用过程中，工作人员可以根据具体情况单独更换掩膜板或者晶体固定板，满足不同的刻蚀需求，底座能够重复使用，通用性更好。

技术特征：

1.一种晶体刻蚀承载料条，其特征在于，包括从上至下依次分体设置的晶体固定板、掩膜板和底座，所述掩膜板可拆卸设置于所述底座上，所述晶体固定板可拆卸或者固定设置于所述底座上；

2.根据权利要求1所述的晶体刻蚀承载料条，其特征在于，所述底座上设置有成排设置的多个第一通孔，所述第一通孔靠近所述底座的长边的边缘设置；

3.根据权利要求2所述的晶体刻蚀承载料条，其特征在于，所述第一通孔设置有两排，两排所述第一通孔关于所述底座的平行长边的中心线对称设置；

4.根据权利要求2所述的晶体刻蚀承载料条，其特征在于，所述底座上还设置有第一连接孔和第一计数孔，所述第一连接孔设置有两个，所述第一计数孔设置有两个；

5.根据权利要求2所述的晶体刻蚀承载料条，其特征在于，所述掩膜板上设置有成排设置的第三通孔，所述第三通孔的中心与所述第二通孔的中心对应设置；

6.根据权利要求5所述的晶体刻蚀承载料条，其特征在于，所述第三通孔为方形孔，所述第二通孔为圆形孔；

7.根据权利要求5所述的晶体刻蚀承载料条，其特征在于，所述掩膜板上还设置有第二连接孔和第二计数孔，所述第二连接孔与所述底座上的第一连接孔对应设置，所述第二计数孔与所述底座上的第一计数孔对应设置；

8.根据权利要求2所述的晶体刻蚀承载料条，其特征在于，所述晶体固定板上设置有成排设置的第四通孔，所述第四通孔的中心与所述第二通孔的中心对应设置；

9.根据权利要求8所述的晶体刻蚀承载料条，其特征在于，所述晶体固定板上设置有第三连接孔和第三计数孔，所述第三连接孔与所述底座上的第一连接孔对应设置，所述第三计数孔与所述底座上的第一计数孔对应设置；

10.根据权利要求1所述的晶体刻蚀承载料条，其特征在于，所述晶体固定板、掩膜板和底座均为平面板，所述晶体固定板、掩膜板和底座依次对应叠置后通过所述连接件连接；

技术总结
本技术公开了一种晶体刻蚀承载料条，包括从上至下依次分体设置的晶体固定板、掩膜板和底座，所述掩膜板可拆卸设置于所述底座上，所述晶体固定板可拆卸或者固定设置于所述底座上；所述晶体固定板、掩膜板和底座通过贯穿三者的连接件连接。本技术的晶体刻蚀承载料条，部分结构可以重复使用，便于满足不同的刻蚀需求，大大节约了成本和材料，通用性更好。

技术研发人员：张程
受保护的技术使用者：山东百利通亚陶科技有限公司
技术研发日：20230921
技术公布日：2024/4/22