一种硅片花篮用高强度槽板以及硅片花篮的制作方法

本技术属于硅片花篮，具体涉及一种硅片花篮用高强度槽板以及硅片花篮。

背景技术：

1、现有的干法花篮包括硅片花篮主体，硅片花篮主体由上下两块端板、左右两块硅片花篮的槽板和若干铝侧杆组成；每块槽板两边开有若干螺丝孔，铝侧杆上阵列有若干与槽板位置对应的螺丝孔，槽板两边分别通过螺丝与铝侧杆固定连接。

2、槽板与铝侧杆通过螺栓贯穿槽板进行固定连接，由于金属裸露在外存在金属污染的风险。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种硅片花篮用高强度槽板以及硅片花篮，由于铝杆不与硅片直接接触，降低了金属对硅片造成污染的风险。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种硅片花篮用高强度槽板，包括：一体注塑槽板；其中所述一体注塑槽板的一侧面设置有若干个均匀排列并用于夹持硅片的槽齿；所述一体注塑槽板的另一侧面开设有两个与铝杆相适配的半圆弧槽，以使铝杆置于半圆弧槽内并通过固定件与一体注塑槽板固定连接。

3、进一步，所述槽齿的夹角α设置为16.71°。

4、进一步，所述一体注塑槽板上远离槽齿的一面设有若干条加强筋。

5、进一步，所述一体注塑槽板采用pvdf的材质。

6、进一步，所述一体注塑槽板还包括：与半圆弧槽相适配的半圆形壳体。

7、又一方面，本实用新型还提供了一种硅片花篮，包括：上、下设置的端板，以及位于两个端板两侧的一体注塑槽板；其中所述端板、一体注塑槽板依次围成放置硅片的花篮。

8、进一步，所述一体注塑槽板的一侧面设置有若干个均匀排列并用于夹持硅片的槽齿；所述一体注塑槽板的另一侧面开设有两个与铝杆相适配的半圆弧槽，以使铝杆置于半圆弧槽内并通过固定件与一体注塑槽板固定连接。

9、进一步，所述槽齿的夹角设置为16.71°。

10、进一步，所述一体注塑槽板上远离槽齿的一面设有若干条加强筋。

11、进一步，所述一体注塑槽板还包括：与半圆弧槽相适配的半圆形壳体。

12、本实用新型的有益效果是，本实用新型的硅片花篮用高强度槽板以及硅片花篮，槽板采用一体注塑成型，其一侧面用于夹持硅片，另一侧开设有两个与铝杆相适配的半圆弧槽，以使铝杆置于半圆弧槽内并通过固定件与一体注塑槽板固定连接，降低了金属对硅片造成污染的风险，且一体注塑成型结构更加稳定不容易开裂；将槽齿的角度变大了，减少了硅片卡片划伤的现象；在一体注塑槽板的背面设有多条加强筋，提高了一体注塑槽板承载强度；本实用新型的硅片花篮可承载硅片包括但不局限于100片，120片，160片。

13、本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。

14、为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

技术特征：

1.一种硅片花篮用高强度槽板，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的硅片花篮用高强度槽板，其特征在于，

3.如权利要求2所述的硅片花篮用高强度槽板，其特征在于，

4.如权利要求3所述的硅片花篮用高强度槽板，其特征在于，

5.如权利要求1-4任一项所述的硅片花篮用高强度槽板，其特征在于，

6.一种硅片花篮，其特征在于，包括：

7.如权利要求6所述的硅片花篮，其特征在于，

8.如权利要求7所述的硅片花篮，其特征在于，

9.如权利要求8所述的硅片花篮，其特征在于，

10.如权利要求6-9任一项所述的硅片花篮，其特征在于，

技术总结
本技术属于硅片花篮技术领域，具体涉及一种硅片花篮用高强度槽板以及硅片花篮。本硅片花篮用高强度槽板包括：一体注塑槽板；其中所述一体注塑槽板的一侧面设置有若干个均匀排列并用于夹持硅片的槽齿；所述一体注塑槽板的另一侧面开设有两个与铝杆相适配的半圆弧槽，以使铝杆置于半圆弧槽内并通过固定件与一体注塑槽板固定连接。本技术的硅片花篮用高强度槽板以及硅片花篮，槽板采用一体注塑成型，其一侧面用于夹持硅片，另一侧开设有两个与铝杆相适配的半圆弧槽，以使铝杆置于半圆弧槽内并通过固定件与一体注塑槽板固定连接，降低了金属对硅片造成污染的风险，且一体注塑成型结构更加稳定不容易开裂。

技术研发人员：苑虎,王森涛
受保护的技术使用者：常州科讯精密机械有限公司
技术研发日：20231007
技术公布日：2024/7/15