一种承载舟及扩散设备的制作方法

本技术涉及光伏电池制造，具体而言，涉及一种承载舟及扩散设备。

背景技术：

1、在光伏电池的生产制造过程中，石英舟承载硅片，舟托支撑起石英舟并送入扩散炉中对硅片进行扩散处理。现有的石英舟通常由左、右侧板和上、下齿杆围合形成长方体形的框架型结构，使得装载于石英舟的硅片大致处于竖直状态，而为了进行单面镀膜，以及提高产能，通常在石英舟齿杆上的每一齿槽内装载有两个硅片，由于硅片所受重力与其自身板面的夹角几乎为零，使得两个硅片在重力作用下均保持竖直状态，从而在两个硅片之间产生缝隙，导致进行扩散工艺处理时，扩散气流大量进入两个硅片之间的缝隙而造成背面绕扩，不仅增加生产成本，还会影响产品的性能。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种承载舟，其可使基片、例如硅片获得角度倾斜而相互贴合，从而改善基片在扩散工序中发生背面绕扩的状况，降低生产成本、提高产品性能；为此，本实用新型的另一目的还在于提供一种扩散设备。

2、本实用新型提供一种技术方案：

3、一种承载舟，包括左侧板、右侧板、上齿杆及下齿杆，所述上齿杆、所述下齿杆分别开设有齿槽，所述上齿杆的两端、所述下齿杆的两端分别与所述左侧板、所述右侧板连接，所述左侧板、所述右侧板均为折弯状，所述左侧板和所述右侧板相对且交错布置，所述上齿杆平行于所述下齿杆。

4、所述左侧板设置有第一舟耳，所述右侧板设置有第二舟耳，所述左侧板具有相连接的第一板段与第二板段；所述右侧板具有相连接的第三板段与第四板段；

5、以所述第一舟耳与所述第二舟耳的连线为基准线，所述第一板段与所述第三板段均垂直于所述基准线，所述第二板段与所述第四板段相对于所述基准线倾斜设置，并处于所述第一板段与所述第三板段之间。

6、所述上齿杆的两端分别连接所述第一板段与所述第四板段，所述下齿杆的两端分别连接所述第二板段与所述第三板段，所述上齿杆与所述下齿杆各自的中心线均与所述基准线呈夹角。

7、在可选的实施方式中，所述上齿杆的一端与所述第一板段远离所述第二板段的一端连接，所述下齿杆的一端与所述第二板段远离所述第一板段的一端连接，所述第一板段的长度与所述第二板段的长度之比处于1/4～1的范围内。

8、在可选的实施方式中，所述上齿杆的另一端与所述第四板段远离所述第三板段的一端连接，所述下齿杆的另一端与所述第三板段远离所述第四板段的一端连接，所述第三板段的长度与所述第四板段的长度之比处于1/4～1的范围内。

9、在可选的实施方式中，所述第一板段与所述第二板段之间形成大于90°且小于180°的夹角。

10、在可选的实施方式中，所述第三板段与所述第四板段之间形成大于90°且小于180°的夹角。

11、在可选的实施方式中，所述上齿杆的中心线与所述基准线的夹角处于1°～89°的范围内，和/或，

12、所述下齿杆的中心线与所述基准线的夹角处于1°～89°的范围内。

13、在可选的实施方式中，所述上齿杆的中心线与所述基准线的夹角处于10°～89°的范围内，和/或，

14、所述下齿杆的中心线与所述基准线的夹角处于10°～89°的范围内。

15、在可选的实施方式中，所述第二板段与所述上齿杆及所述下齿杆各自的中心线垂直，和/或，

16、所述第四板段与所述上齿杆及所述下齿杆各自的中心线垂直。

17、本实用新型还提供一种扩散设备，包括所述的承载舟，所述承载舟包括左侧板、右侧板、上齿杆及下齿杆，所述上齿杆、所述下齿杆分别开设有齿槽，所述上齿杆的两端、所述下齿杆的两端分别与所述左侧板、所述右侧板连接，所述左侧板、所述右侧板均为折弯状，所述左侧板和所述右侧板相对且交错布置，所述上齿杆平行于所述下齿杆。

18、在可选的实施方式中，所述扩散设备还包括扩散炉管，至少两个所述承载舟在所述扩散炉管内沿所述扩散炉管的管长方向依次排布；

19、每一在前的所述承载舟以其所述左侧板与所述右侧板上设置的舟耳之间的连线为转动轴旋转180°后在所述扩散炉管的横截面上的投影与相邻的每一在后的所述承载舟在所述扩散炉管的横截面上的投影重合。

20、本实用新型的有益效果是：相比现有技术，本实用新型提供的承载舟，通过采用折弯状的左侧板、右侧板以及相对且交错的布置，使得两端分别与左侧板、右侧板连接且彼此平行的上齿杆、下齿杆具有一定倾斜角度，在承载基片并置于扩散设备内进行扩散工艺时，可使单个齿槽内的两个基片获得一定角度的倾斜并在重力作用和齿槽的限位作用下相互贴合，从而改善基片在扩散工序中发生背面绕扩的状况，降低生产成本、提高产品性能。

技术特征：

1.一种承载舟，包括左侧板(110)、右侧板(120)、上齿杆(130)及下齿杆(140)，所述上齿杆(130)、所述下齿杆(140)分别开设有齿槽(150)，所述上齿杆(130)的两端、所述下齿杆(140)的两端分别与所述左侧板(110)、所述右侧板(120)连接，其特征在于，所述左侧板(110)、所述右侧板(120)均为折弯状，所述左侧板(110)和所述右侧板(120)相对且交错布置，所述上齿杆(130)平行于所述下齿杆(140)。

2.根据权利要求1所述的承载舟，其特征在于，所述左侧板(110)设置有第一舟耳(113)，所述右侧板(120)设置有第二舟耳(123)，所述左侧板(110)具有相连接的第一板段(111)与第二板段(112)；所述右侧板(120)具有相连接的第三板段(121)与第四板段(122)；

3.根据权利要求2所述的承载舟，其特征在于，所述上齿杆(130)的两端分别连接所述第一板段(111)与所述第四板段(122)，所述下齿杆(140)的两端分别连接所述第二板段(112)与所述第三板段(121)，所述上齿杆(130)与所述下齿杆(140)各自的中心线均与所述基准线呈夹角。

4.根据权利要求2所述的承载舟，其特征在于，所述上齿杆(130)的一端与所述第一板段(111)远离所述第二板段(112)的一端连接，所述下齿杆(140)的一端与所述第二板段(112)远离所述第一板段(111)的一端连接，所述第一板段(111)的长度与所述第二板段(112)的长度之比处于1/4～1的范围内。

5.根据权利要求2所述的承载舟，其特征在于，所述上齿杆(130)的另一端与所述第四板段(122)远离所述第三板段(121)的一端连接，所述下齿杆(140)的另一端与所述第三板段(121)远离所述第四板段(122)的一端连接，所述第三板段(121)的长度与所述第四板段(122)的长度之比处于1/4～1的范围内。

6.根据权利要求2所述的承载舟，其特征在于，所述第一板段(111)与所述第二板段(112)之间形成大于90°且小于180°的夹角。

7.根据权利要求2所述的承载舟，其特征在于，所述第三板段(121)与所述第四板段(122)之间形成大于90°且小于180°的夹角。

8.根据权利要求3所述的承载舟，其特征在于，所述上齿杆(130)的中心线与所述基准线的夹角处于1°～89°的范围内，和/或，

9.根据权利要求3所述的承载舟，其特征在于，所述上齿杆(130)的中心线与所述基准线的夹角处于10°～89°的范围内，和/或，

10.根据权利要求2所述的承载舟，其特征在于，所述第二板段(112)与所述上齿杆(130)及所述下齿杆(140)各自的中心线垂直，和/或，

11.一种扩散设备，其特征在于，包括如权利要求1-10任一项所述的承载舟(100)。

12.根据权利要求11所述的扩散设备，其特征在于，所述扩散设备(10)还包括扩散炉管(11)，至少两个所述承载舟(100)在所述扩散炉管(11)内沿所述扩散炉管(11)的管长方向依次排布；

技术总结
本技术公开了一种承载舟及扩散设备，涉及光伏电池制造技术领域。该承载舟包括左侧板、右侧板、上齿杆及下齿杆，上齿杆、下齿杆分别开设有齿槽，上齿杆的两端、下齿杆的两端分别与左侧板、右侧板连接，左侧板、右侧板均为折弯状，左侧板和右侧板相对且交错布置，上齿杆平行于下齿杆。本技术提供的承载舟能够使基片获得一定角度的倾斜并在重力作用和齿槽的限位作用下相互贴合，从而改善基片在扩散工序中发生背面绕扩的状况，降低生产成本、提升产品性能。

技术研发人员：陈云,廖宝臣,张敏,种世平,曹炜博,陈程,黎微明
受保护的技术使用者：江苏微导纳米科技股份有限公司
技术研发日：20231016
技术公布日：2024/6/23