一种蝶形激光器光束准直设备的制作方法

本申请涉及一种蝶形激光器光束准直设备，属于激光器。

背景技术：

1、蝶形激光器是光纤通信行业最常用的长距离传输光信号放大装置，但是蝶形激光器的准直成本一直居高不下，昂贵的准直成本、过低的准直效率与日益增长的需求量之间的巨大矛盾，极大地限制了光电子器件行业的发展速度。

2、光电子器件封装行业最大的平顶在于准直效率低下，而制约成本的关键原因就是准直的自动化程度不够先进。在自动化过程中，需要重点考虑晶圆与发光体芯片准直的位置度和同心度。光准直过程中，其对准方式大多数是由人工根据激光器输出光源是否对准，并利用调节平台进行微调。晶圆与蝶形壳体一般采用粘贴方式，也需要极其高精确，否则将影响成品合格率。

3、目前国内的很多公司器件生产基本上还是手工操作，部分产品可以实现半自动化，但是蝶形激光器准直还是需要熟练的技工在简易的单步仪器的辅助下手动完成，既费时又不能保证成品率。国外的一些光通信行业的大企业拥有一些先进的自动化准直设备，能够实现蝶形激光器的光准直。借助于这些准直设备，其生产效率比手工或半自动化生产方式有显著提高。然而，这些成套设备价格昂贵，需要较高的资金投入，并且这些准直设备采用的光准直工艺也有很多需要改善的地方，比如光准直的精度不足等。因此，如何解决现有技术中存在的光准直精度不高、成本居高不下、产品合格率低等问题，是当前蝶形激光器发展中的重点。

技术实现思路

1、根据本申请的一个方面，提供了一种蝶形激光器光束准直设备，该设备提高准直的效率，保证产品在准直过程中的合格率。

2、一种蝶形激光器光束准直设备，其特征在于，包括：

3、光学平台；

4、调节机构，所述调节机构包括光学三轴滑台和小角度旋转平台，所述光学三轴滑台和所述小角度旋转平台错位安装在所述光学平台上，且所述光学三轴滑台位于所述小角度旋转平台一侧，所述小角度旋转平台的旋转部上安装有光学弧摆滑台，所述光学弧摆滑台滑动部位分别安装有激光器壳体工装和晶圆工装；

5、晶圆夹具机构，所述晶圆夹具机构的位置可调节，所述晶圆夹具机构安装在所述光学三轴滑台上，且所述晶圆夹具机构的抓取结构位于所述晶圆工装上方；

6、架体，所述架体安装在所述光学平台上，所述架体上安装有视觉机构；所述视觉机构用于观察晶圆被夹取的位置；

7、质量分析仪，所述质量分析仪安装在所述光学平台上，且位于所述激光器壳体工装的一侧，用于对光束进行分析和调节，使其达到光束准直的效果。

8、进一步的，所述光学平台上还安装有单轴滑台机构，所述单轴滑台机构的滑动端安装有小型光学滑台，所述小型光学滑台的滑动端与所述质量分析仪连接。

9、进一步的，所述晶圆夹具机构安装在所述光学三轴滑台的z轴；

10、所述晶圆夹具机构与所述光学三轴滑台之间连接有光学弧摆平台；

11、所述光学三轴滑台的z轴与所述光学弧摆平台的固定部位连接，所述晶圆夹具机构安装在所述光学弧摆平台的滑动部位。

12、进一步的，所述架体上安装有单轴滑台，所述单轴滑台与所述单轴滑台机构平行设置，所述视觉机构安装在所述单轴滑台的滑动端上。

13、进一步的，所述视觉机构包括第一视觉机构和第二视觉机构，所述第一视觉机构位于所述晶圆工装上方，所述第二视觉机构位于所述晶圆工装一侧；

14、所述第一视觉机构与所述第二视觉机构和所述单轴滑台之间均通过燕尾滑台连接；

15、所述第一视觉机构和所述第二视觉机构与所述燕尾滑台的滑动端连接，所述燕尾滑台的固定端安装在所述单轴滑台的滑动端，所述第一视觉机构和第二视觉机构同步驱动；

16、所述第二视觉机构与所述质量分析仪垂直设置。

17、进一步的，所述激光器壳体工装下方设置有重力感应器，所述重力感应器位于所述激光器壳体工装和光学弧摆滑台之间。

18、进一步的，所述架体上还安装有点胶机构，所述点胶机构和所述燕尾滑台通过同一连接件安装在所述单轴滑台的滑动端上，实现所述点胶机构和所述视觉机构同步驱动。

19、进一步的，所述点胶机构包括支架、具有一出胶口的胶桶、与胶桶连接的胶头及用于驱动出胶口出胶的驱动组件，所述胶桶与所述驱动组件安装在所述支架上，所述支架安装在所述单轴滑台上；

20、所述胶头位于所述晶圆工装上方。

21、进一步的，所述驱动组件为单作用气缸。

22、本申请能产生的有益效果包括：

23、1)本申请所提供的一种蝶形激光器光束准直设备，所述激光器壳体工装的一侧安装质量分析仪，便于对光束的分析和调节，使其达到光束准直的效果，在所述激光器壳体下方安装了光学弧摆平台，便于调整水平面，所束光学弧摆平台下方安装小角度旋转平台，在蝶形激光器准直后调整度数，能够进行位置调整以实现蝶形激光器的准直的产品合格。

技术特征：

1.一种蝶形激光器光束准直设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种蝶形激光器光束准直设备，其特征在于，所述光学平台上还安装有单轴滑台机构(10)，所述单轴滑台机构(10)的滑动端安装有小型光学滑台(11)，所述小型光学滑台的滑动端与所述质量分析仪(9)连接。

3.根据权利要求1所述的一种蝶形激光器光束准直设备，其特征在于，所述晶圆夹具机构(7)安装在所述光学三轴滑台(2)的z轴；

4.根据权利要求2所述的一种蝶形激光器光束准直设备，其特征在于，所述架体(8)上安装有单轴滑台(13)，所述单轴滑台(13)与所述单轴滑台机构(10)平行设置，所述视觉机构安装在所述单轴滑台(13)的滑动端上。

5.根据权利要求4所述的一种蝶形激光器光束准直设备，其特征在于，所述视觉机构包括第一视觉机构(14)和第二视觉机构(15)，所述第一视觉机构(14)位于所述晶圆工装(6)上方，所述第二视觉机构(15)位于所述晶圆工装(6)一侧；

6.根据权利要求1所述的一种蝶形激光器光束准直设备，其特征在于，所述激光器壳体工装(5)下方设置有重力感应器，所述重力感应器位于所述激光器壳体工装(5)和光学弧摆滑台(4)之间。

7.根据权利要求5所述的一种蝶形激光器光束准直设备，其特征在于，所述架体(8)上还安装有点胶机构(17)，所述点胶机构和所述燕尾滑台(16)通过同一连接件安装在所述单轴滑台(13)的滑动端上，实现所述点胶机构(17)和所述视觉机构同步驱动。

8.根据权利要求7所述的一种蝶形激光器光束准直设备，其特征在于，所述点胶机构(17)包括支架、具有一出胶口的胶桶、与胶桶连接的胶头及用于驱动出胶口出胶的驱动组件，所述胶桶与所述驱动组件安装在所述支架上，所述支架安装在所述单轴滑台(13)上；

9.根据权利要求8所述的一种蝶形激光器光束准直设备，其特征在于，所述驱动组件为单作用气缸。

技术总结
本申请公开了一种蝶形激光器光束准直设备，包括：光学平台；调节机构，调节机构包括光学三轴滑台和小角度旋转平台，光学三轴滑台和小角度旋转平台错位安装在光学平台上，且光学三轴滑台位于小角度旋转平台一侧，小角度旋转平台的旋转部上安装有光学弧摆滑台，激光器壳体工装和晶圆工装分别安装在光学弧摆滑台滑动部位；晶圆夹具机构，晶圆夹具机构的位置可调节，晶圆夹具机构安装在光学三轴滑台上，且晶圆夹具机构的抓取结构位于晶圆工装上方；质量分析仪，质量分析仪安装在光学平台上，且位于激光器壳体工装的一侧，用于对光束进行分析和调节，使其达到光束准直的效果。本技术提高了光束准直的效率，保证产品在准直过程中的合格率。

技术研发人员：杨国锋,周丹
受保护的技术使用者：西安智慧谷科技研究院有限公司
技术研发日：20231025
技术公布日：2024/5/10