一种用于芯片加工的更换装置的制作方法

本技术涉及芯片加工相关，具体为一种用于芯片加工的更换装置。

背景技术：

1、芯片在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备，也包括被动组件等)小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上，芯片在制造中大多为以下几个步骤：晶圆加工、氧化、光刻、刻蚀、薄膜沉积、互连、测试、封装；

2、其中在对芯片进行光刻加工中，需要使用光刻机对芯片进行加工，在加工中需要将芯片转移至加工工位上等待后续加工。

3、但是目前芯片加工设备在对芯片进行生产加工时，其加工位上的芯片无法实现连续的转动更换，因而在单次加工完成后，需要停机将成品芯片取出后更换半成品进行后续加工，无法实现芯片的连续更换，因而使得整体加工效率较低。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种用于芯片加工的更换装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于芯片加工的更换装置，包括转换台，在转换台下表面安装有固定架，在固定架上安装有旋转电机，通过旋转电机带动固定架以及转换台进行旋转实现工位更换，并在转换台上安装有同步机构，该同步机构在转换台上用于对工位进行微调以及芯片夹紧固定。

3、作为本技术方案的进一步优选的，所述同步机构包括通过支架安装在转换台下表面中心处的驱动电机，所述驱动电机输出端安装有一号锥齿轮，在转换台下表面呈十字形分布有四个调节框，在调节框内转动安装有丝杆，所述丝杆外部套设有丝杆螺母，且丝杆螺母与调节框滑动连接，并在调节框靠近驱动电机一侧转动安装有二号锥齿轮，且二号锥齿轮与丝杆传动连接，所述一号锥齿轮与四个调节框上的二号锥齿轮啮合传动连接，在转换台上表面呈十字形滑动设有四个夹紧部件，通过四个夹紧部件在转换台上形成四个加工工位。

4、作为本技术方案的进一步优选的，在转换台上表面呈十字形开设有四个滑道，在滑道内滑动安装有滑台，所述滑台与丝杆螺母连接。

5、作为本技术方案的进一步优选的，所述夹紧部件包括安装在滑台上表面的固定座，在固定座上表面转动安装有夹台，在固定座内隐藏安装有舵机，且舵机输出端与夹台传动连接，通过舵机带动夹台进行转动，所述夹台上表面两侧对称安装有两个挡板，在挡板内侧滑动安装有夹块，所述挡板上固定穿设有夹紧气缸，且夹紧气缸输出端与夹块侧壁传动连接，通过夹块对夹台上的芯片进行两侧夹紧固定。

6、作为本技术方案的进一步优选的，所述夹台上表面中间位置开设有轨道，且夹块底部对应滑动卡合至轨道内。

7、作为本技术方案的进一步优选的，所述转换台整体呈圆形结构，且固定架整体呈凹状结构。

8、本实用新型提供了一种用于芯片加工的更换装置，具备以下有益效果：

9、(1)本实用新型通过设有同步机构，首先将芯片放在夹台上，借助两个夹块在夹台上对芯片进行两侧夹紧固定，之后在旋转电机的驱动下，驱使四个工位上的芯片连续的进入加工区域，能够实现连续的加工动作，可对芯片进行快速的更换，无需人工手动区域，采用圆周循环进行芯片的更换提高了加工效率。

10、(2)本实用新型只需启动驱动电机，经由一号锥齿轮对二号锥齿轮啮合传动将动力同步传递至四个丝杆，通过丝杆螺母驱动夹台在转换台上在滑道的限制下左右滑动，能够对多个工位上的芯片进行同步移动，避免在后续加工中出现失位的问题，提升了适应性，可针对具体的加工环境对加工位置进行微调。

技术特征：

1.一种用于芯片加工的更换装置，包括转换台(1)，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种用于芯片加工的更换装置，其特征在于：在转换台(1)上表面呈十字形开设有四个滑道(10)，在滑道(10)内滑动安装有滑台(11)，所述滑台(11)与丝杆螺母(8)连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于芯片加工的更换装置，其特征在于：所述夹紧部件包括安装在滑台(11)上表面的固定座(12)，在固定座(12)上表面转动安装有夹台(13)，在固定座(12)内隐藏安装有舵机(14)，且舵机(14)输出端与夹台(13)传动连接，通过舵机(14)带动夹台(13)进行转动，所述夹台(13)上表面两侧对称安装有两个挡板(15)，在挡板(15)内侧滑动安装有夹块(16)，所述挡板(15)上固定穿设有夹紧气缸(17)，且夹紧气缸(17)输出端与夹块(16)侧壁传动连接，通过夹块(16)对夹台(13)上的芯片进行两侧夹紧固定。

4.根据权利要求3所述的一种用于芯片加工的更换装置，其特征在于：所述夹台(13)上表面中间位置开设有轨道，且夹块(16)底部对应滑动卡合至轨道内。

5.根据权利要求1所述的一种用于芯片加工的更换装置，其特征在于：所述转换台(1)整体呈圆形结构，且固定架(2)整体呈凹状结构。

技术总结
本技术公开了一种用于芯片加工的更换装置，包括转换台，在转换台下表面安装有固定架，在固定架上安装有旋转电机，通过旋转电机带动固定架以及转换台进行旋转实现工位更换，并在转换台上安装有同步机构，该同步机构在转换台上用于对工位进行微调以及芯片夹紧固定。本技术在转换台上的同步机构上形成四个呈十字分布的工位，旋转电机驱动各夹紧部件的夹台跟随转动实现工位的更换，保证了整体加工工作的连续性，能够对芯片进行不间断的加工，并且在同步机构的驱动下，能够驱使夹台在转换台的滑道内前后移动实现位置微调，通过夹紧部件对芯片进行主动的夹紧固定，保证了加工过程中芯片的稳定，避免其移动对加工造成干扰。

技术研发人员：谢平亚,刘平,穆大勇,钟锦香
受保护的技术使用者：深圳市鑫德源科技有限公司
技术研发日：20231101
技术公布日：2024/8/20