一种砷化镓ETCH腐蚀设备的制作方法

本技术涉及砷化镓etch领域，尤其涉及一种砷化镓etch腐蚀设备。

背景技术：

1、砷化镓一种无机化合物，是一种重要的半导体材料，用砷化镓制成的半导体器件具有高频、高温、低温性能好、噪声小、抗辐射能力强等优点。

2、现有的中国专利cn102108541a，在2011年6月29日公开了一种应用于vgf/vb法gaas单晶生长的原料腐蚀设备系统，其特征在于：它包括：纯水洗涤用槽及电阻加热设备；带排风系统的工作台；腐蚀原料盒，盒内置有固定装置，固定装置上置有原料移动手柄；以及烘干炉，所述的固定装置为网栅式，网栅内置待腐蚀gaas原料。

3、但是，上述装置在进行腐蚀液浸泡后，腐蚀液体敞开在外侧，缺少封闭结构，这样在放置的时候，外部物质容易进入，而且人员在操作时，容易造成危险的问题。

技术实现思路

1、本实用新型公开一种砷化镓etch腐蚀设备，旨在解决上述装置在进行腐蚀液浸泡后，腐蚀液体敞开在外侧，缺少封闭结构，这样在放置的时候，外部物质容易进入，而且人员在操作时，容易造成危险的技术问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、一种砷化镓etch腐蚀设备，包括设备机体和底部支撑座，所述设备机体安装连接在底部支撑座的上端位置上，所述设备机体的上端设置有直角顶板，所述直角顶板的左端位于设备机体上设置有支撑立柱，所述直角顶板的内部顶端设置有直线丝杠导轨模组，所述直线丝杠导轨模组的下端设置有电动升降器，所述电动升降器的下端设置有砷化镓腐蚀镂空存放箱，所述设备机体的上端左侧设置有自动封闭器，所述设备机体的上端右侧设置有喷淋清洗器，所述喷淋清洗器的外端穿过直角顶板设置有输入管道，所述电动升降器、直线丝杠导轨模组、喷淋清洗器和自动封闭器通过连接线与设备机体电性连接，所述设备机体与外部电源电性连接。

4、通过设置有底部支撑座结构，这样设备机体因下端的底部支撑座，从而可以支撑放置，人员将砷化镓工件放置到砷化镓腐蚀镂空存放箱中，直线丝杠导轨模组上的电动升降器则伸长，使得电动升降器下端的砷化镓腐蚀镂空存放箱浸泡到设备机体的内部左侧腐蚀液中，浸泡一段时间后，电动升降器带动砷化镓腐蚀镂空存放箱还原到原有高度位置，而后直线丝杠导轨模组带动电动升降器从右向左移动，而后电动升降器带动砷化镓腐蚀镂空存放箱移动，之后电动升降器则带动砷化镓腐蚀镂空存放箱伸入到设备机体的内部右侧，而后喷淋清洗器通过输入管道接收外部的水源，使得喷淋清洗器可以有效喷淋清洗砷化镓腐蚀镂空存放箱，而后人员在拿取时不会被腐蚀，设备机体的内部左侧腐蚀液上方因自动封闭器有效封闭，从而在不需要腐蚀时，使得有效封闭，这样在放置使用时，有效避免外部物质的进入，并且在使用时更加安全。

5、在一个优选的方案中，所述自动封闭器包括电动伸缩缸、存放套腔、凹型面板和封闭面板，所述凹型面板的内部设置有存放套腔，所述存放套腔的内侧位于凹型面板上设置有电动伸缩缸，所述电动伸缩缸的活塞杆前端设置有封闭面板，所述凹型面板连接在设备机体上。

6、通过设置有自动封闭器结构，这样可以自动封闭，使得起到很好的遮挡防护作用。

7、在一个优选的方案中，所述喷淋清洗器包括镂空面板、输送泵机、输送弯管和中空面板，所述输送泵机的上端设置有输送弯管，所述输送弯管的外端设置有中空面板，所述中空面板的外端设置有镂空面板，所述中空面板和输送泵机连接在设备机体上。

8、通过设置有喷淋清洗器结构，这样可以接收外部的水源进行喷淋清洗。

9、在一个优选的方案中，所述电动升降器包括抬动升降缸、锁紧螺栓和中空套管，所述中空套管的下端内侧设置有抬动升降缸，所述中空套管和抬动升降缸的连接处设置有锁紧螺栓，所述中空套管连接在直线丝杠导轨模组的丝杠滑块上，所述抬动升降缸连接在砷化镓腐蚀镂空存放箱上。

10、通过设置有电动升降器结构，从而可以进行升降使用。

11、在一个优选的方案中，所述设备机体包括控制面板、腐蚀存放腔、清洗存放腔和机体外壳，所述机体外壳的前端设置有控制面板，所述机体外壳的内部左侧设置有腐蚀存放腔，所述机体外壳的内部右侧设置有清洗存放腔，所述机体外壳连接在底部支撑座上。

12、通过设置有设备机体结构，这样可以放置加工处理。

13、在一个优选的方案中，所述自动封闭器共设置有两个，且所述自动封闭器对称设置在设备机体的上端左侧位置上。

14、通过设置有自动封闭器结构，从而可以有效封闭设备机体的上端左侧开口。

15、在一个优选的方案中，所述设备机体的后端设置有两个排放阀管。

16、通过设置有设备机体结构，这样经过两个排放阀管可以控制排放液体。

17、由上可知，一种砷化镓etch腐蚀设备，包括设备机体和底部支撑座，所述设备机体安装连接在底部支撑座的上端位置上，所述设备机体的上端设置有直角顶板，所述直角顶板的左端位于设备机体上设置有支撑立柱，所述直角顶板的内部顶端设置有直线丝杠导轨模组，所述直线丝杠导轨模组的下端设置有电动升降器，所述电动升降器的下端设置有砷化镓腐蚀镂空存放箱，所述设备机体的上端左侧设置有自动封闭器，所述设备机体的上端右侧设置有喷淋清洗器，所述喷淋清洗器的外端穿过直角顶板设置有输入管道，所述电动升降器、直线丝杠导轨模组、喷淋清洗器和自动封闭器通过连接线与设备机体电性连接，所述设备机体与外部电源电性连接。本实用新型提供的砷化镓etch腐蚀设备具有自动封闭遮挡，从而在加工处理的时候更加安全的技术效果。

技术特征：

1.一种砷化镓etch腐蚀设备，包括设备机体(7)和底部支撑座(8)，其特征在于，所述设备机体(7)安装连接在底部支撑座(8)的上端位置上，所述设备机体(7)的上端设置有直角顶板(1)，所述直角顶板(1)的左端位于设备机体(7)上设置有支撑立柱(2)，所述直角顶板(1)的内部顶端设置有直线丝杠导轨模组(4)，所述直线丝杠导轨模组(4)的下端设置有电动升降器(3)，所述电动升降器(3)的下端设置有砷化镓腐蚀镂空存放箱(10)，所述设备机体(7)的上端左侧设置有自动封闭器(9)，所述设备机体(7)的上端右侧设置有喷淋清洗器(5)，所述喷淋清洗器(5)的外端穿过直角顶板(1)设置有输入管道(6)，所述电动升降器(3)、直线丝杠导轨模组(4)、喷淋清洗器(5)和自动封闭器(9)通过连接线与设备机体(7)电性连接，所述设备机体(7)与外部电源电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种砷化镓etch腐蚀设备，其特征在于，所述自动封闭器(9)包括电动伸缩缸(91)、存放套腔(92)、凹型面板(93)和封闭面板(94)，所述凹型面板(93)的内部设置有存放套腔(92)，所述存放套腔(92)的内侧位于凹型面板(93)上设置有电动伸缩缸(91)，所述电动伸缩缸(91)的活塞杆前端设置有封闭面板(94)，所述凹型面板(93)连接在设备机体(7)上。

3.根据权利要求1所述的一种砷化镓etch腐蚀设备，其特征在于，所述喷淋清洗器(5)包括镂空面板(51)、输送泵机(52)、输送弯管(53)和中空面板(54)，所述输送泵机(52)的上端设置有输送弯管(53)，所述输送弯管(53)的外端设置有中空面板(54)，所述中空面板(54)的外端设置有镂空面板(51)，所述中空面板(54)和输送泵机(52)连接在设备机体(7)上。

4.根据权利要求1所述的一种砷化镓etch腐蚀设备，其特征在于，所述电动升降器(3)包括抬动升降缸(31)、锁紧螺栓(32)和中空套管(33)，所述中空套管(33)的下端内侧设置有抬动升降缸(31)，所述中空套管(33)和抬动升降缸(31)的连接处设置有锁紧螺栓(32)，所述中空套管(33)连接在直线丝杠导轨模组(4)的丝杠滑块上，所述抬动升降缸(31)连接在砷化镓腐蚀镂空存放箱(10)上。

5.根据权利要求1所述的一种砷化镓etch腐蚀设备，其特征在于，所述设备机体(7)包括控制面板(71)、腐蚀存放腔(72)、清洗存放腔(73)和机体外壳(74)，所述机体外壳(74)的前端设置有控制面板(71)，所述机体外壳(74)的内部左侧设置有腐蚀存放腔(72)，所述机体外壳(74)的内部右侧设置有清洗存放腔(73)，所述机体外壳(74)连接在底部支撑座(8)上。

6.根据权利要求1所述的一种砷化镓etch腐蚀设备，其特征在于，所述自动封闭器(9)共设置有两个，且所述自动封闭器(9)对称设置在设备机体(7)的上端左侧位置上。

7.根据权利要求1所述的一种砷化镓etch腐蚀设备，其特征在于，所述设备机体(7)的后端设置有两个排放阀管。

技术总结
本技术公开了一种砷化镓ETCH腐蚀设备，包括设备机体和底部支撑座，所述设备机体安装连接在底部支撑座的上端位置上，所述设备机体的上端设置有直角顶板，所述直角顶板的左端位于设备机体上设置有支撑立柱，所述直角顶板的内部顶端设置有直线丝杠导轨模组，所述直线丝杠导轨模组的下端设置有电动升降器，所述电动升降器的下端设置有砷化镓腐蚀镂空存放箱，所述设备机体的上端左侧设置有自动封闭器，所述设备机体的上端右侧设置有喷淋清洗器，所述喷淋清洗器的外端穿过直角顶板设置有输入管道。本技术公开的砷化镓ETCH腐蚀设备具有自动封闭遮挡，从而在加工处理的时候更加安全的技术效果。

技术研发人员：李国庆
受保护的技术使用者：北京上鼎嘉成科技有限公司
技术研发日：20231107
技术公布日：2024/10/10