离子注入机的锁紧装置的制作方法

本申请涉及半导体制造设备，尤其涉及一种离子注入机的锁紧装置。

背景技术：

1、离子注入技术广泛应用于材料表面处理、半导体器件制造等多个领域。离子注入机的核心部件包括离子源(source)真空腔体、离子传输管以及mrs真空腔体。在离子注入机的运行过程中，保持高度真空状态是确保精确度和效率的关键因素。离子传输管作为连接离子源真空腔体和mrs真空腔体的关键部件，其密封性能直接影响到整个系统的密封性能。传统的离子传输管通常用固定板和压紧螺丝固定，并在两端通过密封圈实现相应的真空腔体的密封。然而，在实际应用中，由于离子传输管受力不均，导致密封连接处出现泄漏。

2、因此，亟需一种新的锁紧装置，在锁紧时自动调整位置，实现离子传输管与真空腔体之间的密封连接处的受力均匀，从而提升离子注入机的密封性能，减少离子注入机的真空泄漏风险。

技术实现思路

1、本申请所要解决的技术问题是提供一种离子注入机的锁紧装置，其在锁紧时能自动调整位置，实现离子传输管与真空腔体之间的密封连接处受力均匀，从而提升离子注入机的密封性能，减少离子注入机的真空泄漏风险。

2、为了解决上述问题，本申请提供了一种离子注入机的锁紧装置，包括：离子传输管，容置于离子注入机的腔体内，所述离子传输管的侧部设有一抵接面；固定板，所述固定板具有与所述离子传输管的抵接面相贴合的第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面；凹型压块，所述凹型压块的底部与所述固定板的第二表面相贴合，并能够沿所述第二表面滑移，所述凹型压块的顶部设有弧形凹坑；紧固件，所述紧固件用于与所述凹型压块抵接的端部为弧形凸起并能够容置于所述弧形凹坑中，通过所述紧固件、所述凹型压块以及所述固定板将所述离子传输管与所述离子注入机固定连接。

3、在一些实施例中，所述紧固件为与所述凹型压块抵接的端部为弧形凸起的压紧螺丝。

4、在一些实施例中，所述紧固件贯穿所述离子注入机上的连接架与所述弧形凹坑抵接。

5、在一些实施例中，所述连接架为钣金件，所述连接架上设有螺纹孔，所述紧固件穿过所述螺纹孔与所述弧形凹坑抵接。

6、在一些实施例中，所述离子注入机的腔体包括输入真空腔体和输出真空腔体，所述离子传输管与所述输入真空腔体和所述输出真空腔体密封连接，离子从所述输入真空腔体穿过所述离子传输管进入所述输出真空腔体。

7、在一些实施例中，所述离子传输管的抵接面朝向所述输入真空腔体倾斜延伸出一斜面，所述固定板的一端平行于所述离子传输管的斜面设置，所述固定板的另一端平行于所述离子传输管的抵接面设置。

8、在一些实施例中，所述离子传输管与所述输入真空腔体和所述输出真空腔体的密封连接处设置有密封垫圈。

9、在一些实施例中，所述凹型压块与所述固定板之间设有润滑脂。

10、在一些实施例中，所述固定板上设有加强筋。

11、上述技术方案，通过在所述固定板的第二表面上设置所述凹型压块，将所述紧固件上的弧形凸起端部容置于所述凹型压块上的弧形凹坑中，使得所述紧固件与所述凹型压块抵接，由于所述固定板的第一表面与所述离子传输管的抵接面相贴合，当所述离子注入机运行时，若受力不均使得所述离子传输管往任一方向偏移时，所述凹型压块能够在所述固定板的第二表面上相应滑移从而调整所述紧固件的弧形凸起在所述弧形凹坑中的位置，用于平衡不均匀的受力，进行自适应调整，以使所述离子传输管受力均匀，最终提升所述离子注入机的密封性能。

12、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。

技术特征：

1.一种离子注入机的锁紧装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的离子注入机的锁紧装置，其特征在于，所述紧固件(14)为与所述凹型压块(13)抵接的端部为弧形凸起(141)的压紧螺丝。

3.根据权利要求1所述的离子注入机的锁紧装置，其特征在于，所述紧固件(14)贯穿所述离子注入机(10)上的连接架(15)与所述弧形凹坑(131)抵接。

4.根据权利要求3所述的离子注入机的锁紧装置，其特征在于，所述连接架(15)为钣金件，所述连接架(15)上设有螺纹孔(151)，所述紧固件(14)穿过所述螺纹孔(151)与所述弧形凹坑(131)抵接。

5.根据权利要求1所述的离子注入机的锁紧装置，其特征在于，所述离子注入机(10)的腔体包括输入真空腔体(121)和输出真空腔体(122)，所述离子传输管(11)与所述输入真空腔体(121)和所述输出真空腔体(122)密封连接，离子从所述输入真空腔体(121)穿过所述离子传输管(11)进入所述输出真空腔体(122)。

6.根据权利要求5所述的离子注入机的锁紧装置，其特征在于，所述离子传输管(11)的抵接面(111)朝向所述输入真空腔体(121)倾斜延伸出一斜面(113)，所述固定板(17)的一端平行于所述离子传输管(11)的斜面(113)设置，所述固定板(17)的另一端平行于所述离子传输管(11)的抵接面(111)设置。

7.根据权利要求5所述的离子注入机的锁紧装置，其特征在于，所述离子传输管(11)与所述输入真空腔体(121)和所述输出真空腔体(122)的密封连接处(112)设置有密封垫圈(18)。

8.根据权利要求1所述的离子注入机的锁紧装置，其特征在于，所述凹型压块(13)与所述固定板(17)之间设有润滑脂。

9.根据权利要求1所述的离子注入机的锁紧装置，其特征在于，所述固定板(17)上设有加强筋。

技术总结
本申请提供了一种离子注入机的锁紧装置，包括：离子传输管，容置于离子注入机的腔体内，所述离子传输管的侧部设有一抵接面；固定板，所述固定板具有与所述离子传输管的抵接面相贴合的第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面；凹型压块，所述凹型压块的底部与所述固定板的第二表面相贴合，并能够沿所述第二表面滑移，所述凹型压块的顶部设有弧形凹坑；紧固件，所述紧固件用于与所述凹型压块抵接的端部为弧形凸起并能够容置于所述弧形凹坑中，通过所述紧固件、所述凹型压块以及所述固定板将所述离子传输管与所述离子注入机固定连接。其在锁紧时能自动调整位置，实现离子传输管与真空腔体的密封连接处受力均匀，从而提升离子注入机的密封性能。

技术研发人员：徐隽君,朱广金
受保护的技术使用者：上海新傲科技股份有限公司
技术研发日：20231204
技术公布日：2024/10/10