晶圆料框的制作方法

本技术涉及晶圆设备领域，具体涉及一种晶圆料框。

背景技术：

1、晶圆脱胶是晶圆生产流程中的重要工序，线切割完成后的晶圆组与晶托胶连，需要移动至脱胶流水线进行脱胶。相关技术中，晶圆料框是在两个端板之间设置呈矩形分布的四个杆体，以承载夹持晶圆组，为了使四个杆体能够夹持和释放晶圆组，相关技术在端板上设置复杂的连杆机构与四个杆体相连，以通过连杆机构限定四个杆体的移动路径和相对位置，但导致晶圆料框结构复杂，且使用不便。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的实施例提出一种晶圆料框。

2、本实用新型实施例的晶圆料框包括：

3、至少两个端板，所述端板的端面设有至少两组导引槽，每组所述导引槽均包括沿第一方向间隔排布的两个所述导引槽，两个所述导引槽沿第二方向延伸并相对倾斜设置，其中两组所述导引槽沿所述第二方向间隔排布，所述第二方向正交于所述第一方向，其中两个所述端板沿所述端板的厚度方向间隔排布，且两个所述端板上的所述导引槽一一对应设置；

4、至少四个接触杆，所述接触杆的至少部分连接在两个所述端板之间，至少四个所述接触杆的端部与对应一端所述端板的其中两组所述导引槽一一对应设置。

5、在一些实施例中，其中两组所述导引槽包括一组第一槽体和另一组第二槽体，所述第二槽体位于所述第一槽体在所述第二方向的一侧，两个所述第一槽体沿第二方向延伸并相对靠近的倾斜设置，两个所述第二槽体沿第二方向延伸并相对远离的倾斜设置；

6、至少四个接触杆包括两个夹持杆和两个承载杆，所述夹持杆的一端位于一个所述端板的第一槽体内，所述夹持杆的另一端位于另一个所述端板对应设置的第一槽体内，且两个所述夹持杆与任一所述端板的两个所述第一槽体一一对应设置，所述承载杆的一端位于一个所述端板的第二槽体内，所述承载杆的另一端位于另一个所述端板对应设置的第二槽体内，且两个所述承载杆与任一所述端板的两个所述第二槽体一一对应设置。

7、在一些实施例中，所述第一槽体和所述第二槽体均沿所述端板的厚度方向贯穿所述端板，所述夹持杆的端部穿过对应的所述第一槽体，且所述夹持杆的端部具有位于两个所述端板外的握持部，所述承载杆的端部穿过对应的所述第二槽体，且所述承载杆的端部具有位于两个所述端板外的挂接部，所述挂接部用于可拆卸地挂接在料框机械手上。

8、在一些实施例中，所述端板包括：

9、基座板，所述基座板设有沿其厚度方向贯穿的镂空部，所述镂空部为至少四个；

10、至少四个调节板，至少四个所述调节板与至少四个所述镂空部一一对应设置，所述调节板设有对应的所述第一槽体或对应的所述第二槽体，所述调节板设在所述基座板上，并相对于所述基座板可沿所述第一方向移动，且所述镂空部与对应的所述第一槽体或对应的所述第二槽体始终连通。

11、在一些实施例中，所述端板还包括多个连接件，所述连接件将对应的所述调节板设在所述基座板上，所述基座板具有用于安装同一所述连接件的多个连接孔，多个所述连接孔在所述第一方向上间隔排布。

12、在一些实施例中，所述晶圆料框还包括挂接件，所述挂接件设在所述端板上，并相对于所述端板可沿所述第一方向移动，所述端板设有至少两个所述挂接件，其中两个所述挂接件在所述第一方向上间隔排布，所述挂接件用于可拆卸地挂接在料框机械手上。

13、在一些实施例中，基座板设有用于安装同一所述挂接件的多个安装孔，多个所述安装孔在所述第一方向上间隔排布。

14、在一些实施例中，位于同一组的两个所述第一槽体为沿相对靠近的方向凸出的弧形，所述第二槽体为直线形。

15、在一些实施例中，所述夹持杆位于两个所述端板之间的至少部分具有海绵套筒，所述承载杆位于两个所述端板之间的至少部分为橡胶体。

16、在一些实施例中，所述晶圆料框还包括：

17、多个支架，所述支架连接在两个所述端板之间，且多个所述支架环绕在多个所述接触杆的外周并间隔排布；

18、多个安装座，其中相邻两个所述支架中每个所述支架均设有至少两个所述安装座，且两个所述支架上的所述安装座一一对应设置；

19、至少两个晶托杆，每组对应设置的两个所述安装座上均可拆卸地设有对应的所述晶托杆。

20、本实用新型实施例的晶圆料框在端板上设置导引槽，接触杆的端部位于对应的导引槽内，通过导引槽限定接触杆的移动路径和移动的极限位置，以使接触杆能够夹持和释放晶圆组，且结构简单，便于使用操作。

技术特征：

1.一种晶圆料框，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆料框，其特征在于，其中两组所述导引槽(2)包括一组第一槽体(21)和另一组第二槽体(22)，所述第二槽体(22)位于所述第一槽体(21)在所述第二方向的一侧，两个所述第一槽体(21)沿第二方向延伸并相对靠近的倾斜设置，两个所述第二槽体(22)沿第二方向延伸并相对远离的倾斜设置；

3.根据权利要求2所述的晶圆料框，其特征在于，所述第一槽体(21)和所述第二槽体(22)均沿所述端板(1)的厚度方向贯穿所述端板(1)，所述夹持杆(31)的端部穿过对应的所述第一槽体(21)，且所述夹持杆(31)的端部具有位于两个所述端板(1)外的握持部(311)，所述承载杆(32)的端部穿过对应的所述第二槽体(22)，且所述承载杆(32)的端部具有位于两个所述端板(1)外的挂接部(321)，所述挂接部(321)用于可拆卸地挂接在料框机械手上。

4.根据权利要求2或3所述的晶圆料框，其特征在于，所述端板(1)包括：

5.根据权利要求4所述的晶圆料框，其特征在于，所述端板(1)还包括多个连接件(13)，所述连接件(13)将对应的所述调节板(12)设在所述基座板(11)上，所述基座板(11)具有用于安装同一所述连接件(13)的多个连接孔(112)，多个所述连接孔(112)在所述第一方向上间隔排布。

6.根据权利要求4所述的晶圆料框，其特征在于，还包括挂接件(4)，所述挂接件(4)设在所述端板(1)上，并相对于所述端板(1)可沿所述第一方向移动，所述端板(1)设有至少两个所述挂接件(4)，其中两个所述挂接件(4)在所述第一方向上间隔排布，所述挂接件(4)用于可拆卸地挂接在料框机械手上。

7.根据权利要求6所述的晶圆料框，其特征在于，所述基座板(11)设有用于安装同一所述挂接件(4)的多个安装孔(113)，多个所述安装孔(113)在所述第一方向上间隔排布。

8.根据权利要求2所述的晶圆料框，其特征在于，位于同一组的两个所述第一槽体(21)为沿相对靠近的方向凸出的弧形，所述第二槽体(22)为直线形。

9.根据权利要求2所述的晶圆料框，其特征在于，所述夹持杆(31)位于两个所述端板(1)之间的至少部分具有海绵套筒，所述承载杆(32)位于两个所述端板(1)之间的至少部分为橡胶体。

10.根据权利要求1所述的晶圆料框，其特征在于，还包括：

技术总结
本技术实施例提供一种晶圆料框，所述晶圆料框包括端板和接触杆，端板的端面设有至少两组导引槽，每组导引槽均包括沿第一方向间隔排布的两个导引槽，两个导引槽沿第二方向延伸并相对倾斜设置，其中两组导引槽沿第二方向间隔排布，第二方向正交于第一方向，其中两个端板沿端板的厚度方向间隔排布，且两个端板上的导引槽一一对应设置，接触杆的至少部分连接在两个端板之间，至少四个接触杆的端部与对应一端端板的其中两组导引槽一一对应设置。本技术实施例的晶圆料框在端板上设置导引槽，接触杆的端部位于对应的导引槽内，通过导引槽限定接触杆的移动路径和移动的极限位置，以使接触杆能够夹持和释放晶圆组，且结构简单，便于使用操作。

技术研发人员：朱亮,谢龙辉,王俊,张江水,张广犬,刘振宽,黄游
受保护的技术使用者：浙江求是半导体设备有限公司
技术研发日：20231205
技术公布日：2024/9/17