一种应用伯努利吸盘的n型取放装置的制作方法

本技术涉及半导体加工设备，尤指一种应用伯努利吸盘的n型取放装置。

背景技术：

1、在半导体的刻蚀加工过程中，刻蚀加工的自动化可以引领这个行业走向更高的台阶。刻蚀机是用于对晶圆进行刻蚀的设备，其具有位于刻蚀机机体边框内的加工托盘，在刻蚀加工时，为了能够对晶圆进行抓取，会在机械手的输出端上安装专用的取放装置，现有的取放装置其连接臂为l型结构，当机械手带动取放装置作上下摆动的动作以将物料摆放到加工托盘上时，l型结构的取放装置会打在刻蚀机的机体边框上，因此只能增加机械手的动作，这将导致上料效率降低，并且放料稳定性不足。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的问题在于，提供一种应用伯努利吸盘的n型取放装置，可以对刻蚀机的机体边框进行避位，方便机械手放料，提高放料效率和放料稳定性。

2、解决上述技术问题要按照本实用新型提供的一种应用伯努利吸盘的n型取放装置，包含n型连接件、伯努利机械手指，n型连接件包含第一立板部、连接在第一立板部顶端的第一横板部、连接在第一横板部另一端的第二立板部，第一立板部、第一横板部、第二立板部之间形成避位空腔，伯努利机械手指安装在第二立板部底部。

3、优选地，第二立板部底部连接有第二横板部，伯努利机械手指安装在第二横板部底部。

4、优选地，第一立板部、第一横板部、第二立板部、第二横板部为一体式结构。

5、本实用新型的有益效果为：本实用新型提供一种应用伯努利吸盘的n型取放装置，将机械手的输出端安装在第一立板部上，伯努利机械手指取料后，通过机械手带动n型连接件纵向摆动，以将伯努利机械手指上的晶圆摆放在刻蚀机的加工托盘上，避位空腔可以对刻蚀机的机体边框进行避位，避免n型连接件与机体边框产生干涉，从而简化机械手的动作过程，提高放料效率，其结构简单，重量轻，可以提高取放料稳定性和精度。

技术特征：

1.一种应用伯努利吸盘的n型取放装置，其特征在于，包含n型连接件、伯努利机械手指，所述n型连接件包含第一立板部、连接在所述第一立板部顶端的第一横板部、连接在所述第一横板部另一端的第二立板部，所述第一立板部、第一横板部、第二立板部之间形成避位空腔，所述伯努利机械手指安装在所述第二立板部底部。

2.根据权利要求1所述的一种应用伯努利吸盘的n型取放装置，其特征在于，所述第二立板部底部连接有第二横板部，所述伯努利机械手指安装在所述第二横板部底部。

3.根据权利要求2所述的一种应用伯努利吸盘的n型取放装置，其特征在于，所述第一立板部、第一横板部、第二立板部、第二横板部为一体式结构。

技术总结
本技术提供的一种应用伯努利吸盘的n型取放装置，包含n型连接件、伯努利机械手指，n型连接件包含第一立板部、连接在第一立板部顶端的第一横板部、连接在第一横板部另一端的第二立板部，第一立板部、第一横板部、第二立板部之间形成避位空腔，伯努利机械手指安装在第二立板部底部。将机械手的输出端安装在第一立板部上，伯努利机械手指取料后，通过机械手带动n型连接件纵向摆动，以将伯努利机械手指上的晶圆摆放在刻蚀机的加工托盘上，避位空腔可以对刻蚀机的机体边框进行避位，避免n型连接件与机体边框产生干涉，从而简化机械手的动作过程，提高放料效率，其结构简单，重量轻，可以提高取放料稳定性和精度。

技术研发人员：刘晓峰,方铭国
受保护的技术使用者：深圳泰研半导体装备有限公司
技术研发日：20231212
技术公布日：2024/11/4