一种便于取放的晶圆片的晶圆盒的制作方法

本技术涉及晶圆盒，特别涉及一种便于取放的晶圆片的晶圆盒。

背景技术：

1、晶圆片的由来，是先将二氧化矽经过纯化，融解，蒸馏之后，制成矽晶棒，晶圆厂再拿这些矽晶棒研磨，抛光和切片成为晶圆母片；由于圆形的晶圆片本身没有方向性，不适合电子的传输，因此这些晶圆还必须切出一个边，当做类似三角形的"底"，所以晶圆长得并不像家里的dvd是标准的圆，而是被切掉一个边，成为有"底"的圆。

2、例如公开号为cn218086731 u中国专利公开了一种便于取放晶圆片的晶圆盒，属于晶圆盒技术领域，包括下盖，所述下盖的上端通过卡合连接有上盖，所述下盖与上盖之间设置有放置组件，本实用新型通过设置放置组件，将放置盒放进下盖中，同时横板下端的插柱进入固定板的插孔中，之后再将晶圆片通过提杆上的标号依次放进放置盒中放置架的存放槽中，盖上上盖，上盖下端的限位座对晶圆片上端进行限位固定，对晶圆片进行储存，当需要对单个晶圆片进行取出时，通过提杆上的标号找到对应的晶圆片，通过提杆向上提动放置架，放置架在放置盒的放置槽中向上滑动，放置架可将单个晶圆片进行取出，通过设置放置组件方便对单个晶圆片进行取出，提高装置实用性。

3、针对现有技术存在以下问题：

4、现有晶圆盒通常将多个晶圆片依次排列在其中，但是对于晶圆片的保护并不到位，当晶圆片彼此发生挤压后，容易使得晶圆片受到损坏，同时现有晶圆盒内部不具备干燥功能，无法保证对晶圆片储存环境的干燥。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种便于取放的晶圆片的晶圆盒，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：

3、一种便于取放的晶圆片的晶圆盒，包括晶圆盒，所述晶圆盒的顶部后端转动连接有防护机构，所述晶圆盒下部分内壁的底部活动连接有干燥机构，所述晶圆盒上部分内壁的底部开设有通风槽。

4、优选的：所述防护机构包括防护盖，所述防护盖后端的底部与晶圆盒的顶部后端转动连接，所述防护盖底部的前后两侧均开设有方形槽，所述晶圆盒上部分内壁的底部呈线性阵列式搭接有若干个装载盒，所述装载盒顶部的前后两侧均固定连接有承接板，所述承接板的底部与晶圆盒顶部的前后两侧搭接，所述装载盒的内壁固定连接有防护垫二，所述防护垫二的内壁活动连接有晶圆片，所述防护盖前端的底部固定连接有上磁吸块，所述晶圆盒上表面的前端固定连接有下磁吸块。

5、优选的：所述方形槽的宽度与承接板的宽度一致，所述方形槽的深度与承接板的厚度一致。

6、优选的：所述防护盖的内壁顶部固定连接有防护垫一，所述防护垫一的内壁直径与晶圆片的外表面直径一致。

7、优选的：所述防护垫二内部间隙的厚度与晶圆片的厚度一致，且防护垫二的内壁直径与晶圆片的内壁直径一致。

8、优选的：所述干燥机构包括移动板，所述移动板的底部与晶圆盒下部分内壁的底部活动连接，所述移动板的前端固定连接有拉杆，所述移动板上表面的后端固定连接有磁吸板二，所述晶圆盒下部分内壁底部的后端固定连接有磁吸板一，所述移动板上表面的前后两侧均活动连接有干燥盒，所述干燥盒的底部固定连接有滑块。

9、优选的：所述移动板上表面的前后两侧均开设有滑槽，所述滑槽的形状大小与滑块的形状大小一致。

10、优选的：所述晶圆盒下部分内壁顶部的前端固定连接有挡板，所述挡板的长度与磁吸板二的长度一致。

11、由于采用了上述技术方案，本实用新型相对现有技术来说，取得的技术进步是：

12、1、本实用新型提供一种便于取放的晶圆片的晶圆盒，通过设置的材质较软的防护垫一和防护垫二，两者配合将晶圆片包裹，进而达到良好的防护性，同时顶部设置的防护盖也起到一定的防护作用，进而使得晶圆片不会损坏。

13、2、本实用新型提供一种便于取放的晶圆片的晶圆盒，通过设置的方便更换的干燥盒，可以快速的填装或者更换干燥剂，进而达到更理想的干燥效果，进而为晶圆片创造了更好的存储环境。

技术特征：

1.一种便于取放的晶圆片的晶圆盒，包括晶圆盒(1)，其特征在于：所述晶圆盒(1)的顶部后端转动连接有防护机构(2)，所述晶圆盒(1)下部分内壁的底部活动连接有干燥机构(3)，所述晶圆盒(1)上部分内壁的底部开设有通风槽(4)。

2.根据权利要求1所述的一种便于取放的晶圆片的晶圆盒，其特征在于：所述防护机构(2)包括防护盖(21)，所述防护盖(21)后端的底部与晶圆盒(1)的顶部后端转动连接，所述防护盖(21)底部的前后两侧均开设有方形槽(22)，所述晶圆盒(1)上部分内壁的底部呈线性阵列式搭接有若干个装载盒(27)，所述装载盒(27)顶部的前后两侧均固定连接有承接板(25)，所述承接板(25)的底部与晶圆盒(1)顶部的前后两侧搭接，所述装载盒(27)的内壁固定连接有防护垫二(26)，所述防护垫二(26)的内壁活动连接有晶圆片(24)，所述防护盖(21)前端的底部固定连接有上磁吸块(20)，所述晶圆盒(1)上表面的前端固定连接有下磁吸块(28)。

3.根据权利要求2所述的一种便于取放的晶圆片的晶圆盒，其特征在于：所述方形槽(22)的宽度与承接板(25)的宽度一致，所述方形槽(22)的深度与承接板(25)的厚度一致。

4.根据权利要求2所述的一种便于取放的晶圆片的晶圆盒，其特征在于：所述防护盖(21)的内壁顶部固定连接有防护垫一(23)，所述防护垫一(23)的内壁直径与晶圆片(24)的外表面直径一致。

5.根据权利要求2所述的一种便于取放的晶圆片的晶圆盒，其特征在于：所述防护垫二(26)内部间隙的厚度与晶圆片(24)的厚度一致，且防护垫二(26)的内壁直径与晶圆片(24)的内壁直径一致。

6.根据权利要求1所述的一种便于取放的晶圆片的晶圆盒，其特征在于：所述干燥机构(3)包括移动板(32)，所述移动板(32)的底部与晶圆盒(1)下部分内壁的底部活动连接，所述移动板(32)的前端固定连接有拉杆(31)，所述移动板(32)上表面的后端固定连接有磁吸板二(38)，所述晶圆盒(1)下部分内壁底部的后端固定连接有磁吸板一(34)，所述移动板(32)上表面的前后两侧均活动连接有干燥盒(35)，所述干燥盒(35)的底部固定连接有滑块(36)。

7.根据权利要求6所述的一种便于取放的晶圆片的晶圆盒，其特征在于：所述移动板(32)上表面的前后两侧均开设有滑槽(37)，所述滑槽(37)的形状大小与滑块(36)的形状大小一致。

8.根据权利要求6所述的一种便于取放的晶圆片的晶圆盒，其特征在于：所述晶圆盒(1)下部分内壁顶部的前端固定连接有挡板(33)，所述挡板(33)的长度与磁吸板二(38)的长度一致。

技术总结
本技术公开了一种便于取放的晶圆片的晶圆盒，涉及晶圆盒技术领域，包括晶圆盒，所述晶圆盒的顶部后端转动连接有防护机构，所述晶圆盒下部分内壁的底部活动连接有干燥机构，所述晶圆盒上部分内壁的底部开设有通风槽，所述防护机构包括防护盖，所述防护盖后端的底部与晶圆盒的顶部后端转动连接，所述防护盖底部的前后两侧均开设有方形槽，所述晶圆盒上部分内壁的底部呈线性阵列式搭接有若干个装载盒。本技术所述的一种便于取放的晶圆片的晶圆盒，通过设置的材质较软的防护垫一和防护垫二，两者配合将晶圆片包裹，进而达到良好的防护性，同时顶部设置的防护盖也起到一定的防护作用，进而使得晶圆片不会损坏。

技术研发人员：刘春峰,刘国华,洪巧水
受保护的技术使用者：荣耀电子材料（重庆）有限公司
技术研发日：20231219
技术公布日：2024/10/21