旋转吸附机构的制作方法

本技术涉及半导体制造，特别涉及一种旋转吸附机构。

背景技术：

1、在半导体集成电路制造过程中，许多工艺为了保证作业晶圆的位置统一，便于工艺扩展，需要预先对晶圆进行定位，因而晶圆定位是集成电路的制造和检测领域中重要的环节。通常情况下，晶圆的外缘设有一缺口，定位时，将晶圆置于旋转吸附机构上，旋转吸附机构对晶圆进行旋转，以使定位结构获取缺口位置，此时旋转吸附机构停止转动，实现晶圆的定位。

2、中国发明专利cn102110452a公开了一种真空吸附旋转轴，包括轴承座、轴承旋转轴和吸附头，轴承座开设有呈直线的贯穿其上表面和下表面的轴孔，轴孔上凹陷形成有两个间隔开的轴承安装槽，轴承对应安装于轴承安装槽内，旋转轴穿设于轴承中，吸附头连接在旋转轴的顶部。从其附图2和3可知，旋转轴外周凸设有凸缘，在竖直方向上，上方轴承的内圈抵紧在凸缘和轴承安装槽的槽底，下方轴承在竖直方向无支撑，导致轴承在竖直方向的可靠性较差，易影响旋转稳定性。

3、因此，有必要对现有技术予以改良以克服现有技术中的所述缺陷。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种旋转吸附机构，提高轴承安装后的可靠性。

2、本实用新型的目的是通过以下技术方案实现：一种旋转吸附机构，包括：

3、轴套组件，其上端和下端均向内凹陷形成有第一安装槽；

4、轴承，数量为两个，且分别固定在两所述第一安装槽中；

5、吸附组件，包括转轴件和与所述转轴件的上端相接的吸附台，所述转轴件穿设于两所述轴承中，所述转轴件外周设有凸缘，位于上方的所述轴承的内圈轴向限位在所述凸缘和所述第一安装槽之间；

6、压环，可拆卸连接在所述轴套组件的上端，位于上方的所述轴承的外圈轴向限位在所述压环和所述第一安装槽之间；

7、固定结构，包括套设在所述转轴件上的内圈固定环、同轴设置在所述内圈固定环外周的外圈固定环和与所述转轴件螺纹连接的螺帽，所述内圈固定环承载于所述螺帽上，所述外圈固定环固定连接在所述轴套组件的下端；

8、其中，位于下方的所述轴承的内圈轴向限位在所述内圈固定环和所述第一安装槽之间，位于下方的所述轴承的外圈轴向限位在所述外圈固定环和所述第一安装槽之间。

9、进一步地，所述轴套组件包括：

10、基座，沿所述转轴件的轴线方向贯通开设有第一安装孔，所述轴承收容于所述第一安装孔中；

11、密封套，固定在所述第一安装孔中，且不相对所述基座的上端和下端凸出，所述密封套贯通开设有与所述第一安装孔同轴的第二安装孔；

12、衬套，穿设于所述第二安装孔中，所述衬套与所述第二安装孔间隙配合，所述衬套的端部与所述密封套平齐；

13、其中，所述衬套的两端抵持在两所述轴承的内圈之间，所述密封套的两端抵持在两所述轴承的外圈之间。

14、进一步地，所述密封套和所述衬套之间形成有第一抽吸腔，所述基座开设有与所述第一安装孔相通的第一抽吸口，所述密封套开设有与所述第二安装孔相通的第二抽吸口，所述第一抽吸腔经所述第二抽吸口和所述第一抽吸口与外界相通。

15、进一步地，所述密封套和所述衬套之间设置有密封件，所述密封件数量为两个，且分别封闭所述第一抽吸腔的上下侧。

16、进一步地，所述密封套的上端和下端均向内凹陷形成有第二安装槽，所述密封件固定套设在所述衬套外，且收容于所述第二安装槽，所述密封件和所述轴承之间设置有垫片。

17、进一步地，所述衬套沿所述转轴件的轴线方向贯通开设有第三安装孔，所述转轴件穿设于所述第三安装孔中，所述转轴件和所述第三安装孔之间形成有第二抽吸腔，所述衬套上开设有连通所述第一抽吸腔和所述第二抽吸腔的第三抽吸口，所述转轴件内形成有抽吸通道，所述抽吸通道分别与所述第二抽吸腔和所述吸附台相连通。

18、进一步地，所述第三安装孔与所述转轴件间隙配合，所述转轴件部分外周向内凹陷形成有环形的开槽，所述第二抽吸腔由所述开槽和所述第三安装孔配合而成。

19、进一步地，所述转轴件包括：

20、轴体，穿设于所述轴承中，且两端相对所述轴套组件凸出；

21、旋转盘，位于所述轴套组件上方，且与所述轴体的上端固定连接；

22、其中，所述吸附台安装于所述旋转盘上。

23、进一步地，所述内圈固定环与所述转轴件间隙配合，所述外圈固定环与所述第一安装槽过盈配合，所述外圈固定环与所述内圈固定环间隙配合。

24、进一步地，所述旋转吸附机构包括：

25、安装架，所述安装架的顶部固定有安装座，所述安装座与所述基座固定连接；

26、旋转电机，设置在所述安装架上，且通过联轴器与所述转轴件的下端相接；

27、其中，所述安装座沿所述转轴件的轴线方向贯通开设有第四安装孔，所述转轴件的下端和所述联轴器均位于所述第四安装孔内。

28、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：本实用新型采用上述结构，轴承的内圈和外圈在轴向的位置均受到可靠限位，确保转轴件的旋转精度，且压环与轴套组件可拆卸连接，螺帽与转轴件螺纹连接，能够便于轴承和转轴件的拆装调试。

技术特征：

1.一种旋转吸附机构，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的旋转吸附机构，其特征在于，所述轴套组件（100）包括：

3.如权利要求2所述的旋转吸附机构，其特征在于，所述密封套（130）和所述衬套（140）之间形成有第一抽吸腔（150），所述基座（120）开设有与所述第一安装孔（121）相通的第一抽吸口（123），所述密封套（130）开设有与所述第二安装孔（131）相通的第二抽吸口（132），所述第一抽吸腔（150）经所述第二抽吸口（132）和所述第一抽吸口（123）与外界相通。

4.如权利要求3所述的旋转吸附机构，其特征在于，所述密封套（130）和所述衬套（140）之间设置有密封件（160），所述密封件（160）数量为两个，且分别封闭所述第一抽吸腔（150）的上下侧。

5.如权利要求4所述的旋转吸附机构，其特征在于，所述密封套（130）的上端和下端均向内凹陷形成有第二安装槽（133），所述密封件（160）固定套设在所述衬套（140）外，且收容于所述第二安装槽（133），所述密封件（160）和所述轴承（200）之间设置有垫片（170）。

6.如权利要求3所述的旋转吸附机构，其特征在于，所述衬套（140）沿所述转轴件（310）的轴线方向贯通开设有第三安装孔（141），所述转轴件（310）穿设于所述第三安装孔（141）中，所述转轴件（310）和所述第三安装孔（141）之间形成有第二抽吸腔（180），所述衬套（140）上开设有连通所述第一抽吸腔（150）和所述第二抽吸腔（180）的第三抽吸口（142），所述转轴件（310）内形成有抽吸通道（311），所述抽吸通道（311）分别与所述第二抽吸腔（180）和所述吸附台（320）相连通。

7.如权利要求6所述的旋转吸附机构，其特征在于，所述第三安装孔（141）与所述转轴件（310）间隙配合，所述转轴件（310）部分外周向内凹陷形成有环形的开槽（3122），所述第二抽吸腔（180）由所述开槽（3122）和所述第三安装孔（141）配合而成。

8.如权利要求1所述的旋转吸附机构，其特征在于，所述转轴件（310）包括：

9.如权利要求1所述的旋转吸附机构，其特征在于，所述内圈固定环（510）与所述转轴件（310）间隙配合，所述外圈固定环（520）与所述第一安装槽（110）过盈配合，所述外圈固定环（520）与所述内圈固定环（510）间隙配合。

10.如权利要求2所述的旋转吸附机构，其特征在于，所述旋转吸附机构包括：

技术总结
本技术公开了一种旋转吸附机构，属于半导体制造领域，其包括：轴套组件，其上、下端均向内凹陷形成有第一安装槽；轴承，固定在两第一安装槽中；吸附组件，包括转轴件和吸附台，转轴件设有凸缘，位于上方的轴承的内圈轴向限位在凸缘和第一安装槽之间；压环，与轴套组件的上端相接，位于上方的轴承的外圈轴向限位在压环和第一安装槽之间；固定结构，包括与转轴件螺纹连接的螺帽、承载于螺帽的内圈固定环、固定在轴套组件下端的外圈固定环；位于下方的轴承的内圈轴向限位在内圈固定环和第一安装槽之间，位于下方的轴承的外圈轴向限位在外圈固定环和第一安装槽之间。本技术采用上述结构，能够提高轴承安装后的可靠性。

技术研发人员：孙丰,田斌
受保护的技术使用者：苏州赛腾精密电子股份有限公司
技术研发日：20231222
技术公布日：2024/2/8