清洗装置及返修设备的制作方法

本申请属于晶圆缺陷维修，尤其涉及一种清洗装置及返修设备。

背景技术：

1、miniled灯珠模组在返修过程中，需要把显示异常的灯珠剔除，重新贴放灯珠，保证模组整体显示正常；在贴放灯珠之前，需要对灯珠模组的灯板上的pad(焊盘)进行点锡，点锡前需要对点锡针头进行清洁，保证点锡针头上残存的锡膏不会对点锡效果产生不良影响。

2、清洗装置中通常安装可更换的清洗部件，清洗部件用于对点锡针头进行清洗或擦拭，清洗部件为耗损件，需要经常进行更换，相关技术中，清洗部件更换时费时费力，影响工作效率。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种清洗装置及返修设备，旨在解决现有技术中清洗部件更换费时费力的技术问题。

2、本申请的第一目的在于提供一种清洗装置，包括清洗组件、活动座、磁吸组件、传动机构及驱动组件；所述磁吸组件连接于所述清洗组件和所述活动座之间，以用于使所述清洗组件磁吸连接于所述活动座上；所述驱动组件通过传动机构与所述活动座联动配合，以使所述清洗组件沿预设轨迹运动。

3、在其中一个实施例中，所述磁吸组件包括至少一个第一磁吸件和至少一个第二磁吸件，所述第一磁吸件安装于所述清洗组件上，所述第二磁吸件安装于所述活动座上，一个所述第一磁吸件对应与一个所述第二磁吸件吸附连接。

4、在其中一个实施例中，所述清洗组件上形成有第一定位结构，所述活动座上形成有第二定位结构，所述第一定位结构与所述第二定位结构插接配合。

5、在其中一个实施例中，所述清洗组件包括固定座及可拆卸安装于所述固定座上的清洗部件，所述清洗部件具有弹性；所述磁吸组件连接于所述固定座和所述活动座之间。

6、在其中一个实施例中，所述清洗部件包括海绵件，所述固定座上开设有安装槽，所述海绵件安装于所述安装槽内，且所述海绵件具有工作面，所述工作面用于抵接待清洗工件。

7、在其中一个实施例中，所述工作面在沿所述预设轨迹方向上的长度大于所述工作面在垂直于所述预设轨迹方向上的长度。

8、在其中一个实施例中，所述传动机构包括第一传动轮、第二传动轮和传送带，所述传送带传动连接于所述第一传动轮和所述第二传动轮上，所述驱动组件与所述第一传动轮和所述第二传动轮中至少之一连接；所述活动座固定连接于所述传送带上，以使所述活动座沿所述预设轨迹往复移动。

9、在其中一个实施例中，所述清洗装置还包括支撑架和导轨组件，所述活动座通过所述导轨组件滑动连接于所述支撑架上，以使所述活动座相对于所述支撑架沿所述预设轨迹滑动。

10、在其中一个实施例中，所述清洗装置还包括罩壳，所述罩壳罩设于所述活动座、所述传动机构及所述驱动组件的外部，所述清洗组件配置于所述罩壳的外部，所述活动座能够相对于所述罩壳运动。

11、在其中一个实施例中，所述清洗装置还包括检测部件，所述检测部件用于获取所述活动座的位置信息，所述检测部件与所述驱动组件通讯连接。

12、本申请的第二目的在于提供一种返修设备，包括如上述任一项所述的清洗装置。

13、在其中一个实施例中，所述返修设备还包括点锡装置，所述点锡装置包括可移动的点锡件，所述点锡件具有点锡部，所述点锡部能够与所述清洗组件抵接。

14、在其中一个实施例中，所述点锡件沿第一预设方向移动，所述活动座沿第二预设方向移动，所述第一预设方向垂直于所述第二预设方向。

15、本申请的清洗装置及返修设备相对于现有技术的有益效果是：与现有技术相比，本清洗装置及返修设备中，驱动组件通过传动机构与活动座连接，从而驱动活动座沿预设轨迹运动，清洗组件通过磁吸组件连接在活动座上，故，清洗组件能够跟随活动座沿预设轨迹运动，清洗组件与待清洗工件抵接，使得清洗组件相对于待清洗工件运动，以对待清洗工件进行擦拭、清洗，将粘附在锡针头上的锡膏进行清除；在清洗组件达到使用寿命需要更换时，只需要对清洗组件施加远离活动座方向的外力，克服磁吸组件的吸力，即可将清洗组件从活动座上拆除，无需借助外部工具，并无需消耗借助工具拆装所消耗的时间，节省时间，提高拆卸的工作效率；更换清洗组件后，只需使清洗组件靠近活动座，磁吸组件即可将清洗组件吸附在活动座上，完成清洗组件的安装工序，同样无需借助外部工具和消耗安装时间，提高了安装的效率。

技术特征：

1.一种清洗装置，其特征在于，包括清洗组件(1)、活动座(2)、磁吸组件(8)、传动机构(3)及驱动组件(7)；所述磁吸组件(8)连接于所述清洗组件(1)和所述活动座(2)之间，以用于使所述清洗组件(1)磁吸连接于所述活动座(2)上；所述驱动组件(7)通过传动机构(3)与所述活动座(2)联动配合，以使所述清洗组件(1)沿预设轨迹运动。

2.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述磁吸组件(8)包括至少一个第一磁吸件(81)和至少一个第二磁吸件(82)，所述第一磁吸件(81)安装于所述清洗组件(1)上，所述第二磁吸件(82)安装于所述活动座(2)上，一个所述第一磁吸件(81)对应与一个所述第二磁吸件(82)吸附连接。

3.如权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗组件(1)上形成有第一定位结构(123)，所述活动座(2)上形成有第二定位结构(22)，所述第一定位结构(123)与所述第二定位结构(22)插接配合。

4.如权利要求1-3任一项所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗组件(1)包括固定座(12)及可拆卸安装于所述固定座(12)上的清洗部件(11)，所述清洗部件(11)具有弹性；所述磁吸组件(8)连接于所述固定座(12)和所述活动座(2)之间。

5.如权利要求4所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗部件(11)包括海绵件，所述固定座(12)上开设有安装槽(122)，所述海绵件安装于所述安装槽(122)内，且所述海绵件具有工作面(111)，所述工作面(111)用于抵接待清洗工件。

6.如权利要求5所述的清洗装置，其特征在于，所述工作面(111)在沿所述预设轨迹方向上的长度大于所述工作面(111)在垂直于所述预设轨迹方向上的长度。

7.如权利要求1-3任一项所述的清洗装置，其特征在于，所述传动机构(3)包括第一传动轮(31)、第二传动轮(33)和传送带(32)，所述传送带(32)传动连接于所述第一传动轮(31)和所述第二传动轮(33)上，所述驱动组件(7)与所述第一传动轮(31)和所述第二传动轮(33)中至少之一连接；所述活动座(2)固定连接于所述传送带(32)上，以使所述活动座(2)沿所述预设轨迹往复移动。

8.如权利要求1-3任一项所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置还包括支撑架(5)和导轨组件(6)，所述活动座(2)通过所述导轨组件(6)滑动连接于所述支撑架(5)上，以使所述活动座(2)相对于所述支撑架(5)沿所述预设轨迹滑动。

9.如权利要求1-3任一项所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置还包括罩壳(10)，所述罩壳(10)罩设于所述活动座(2)、所述传动机构(3)及所述驱动组件(7)的外部，所述清洗组件(1)配置于所述罩壳(10)的外部，所述活动座(2)能够相对于所述罩壳(10)运动。

10.如权利要求1-3任一项所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置还包括检测部件(4)，所述检测部件(4)用于获取所述活动座(2)的位置信息，所述检测部件(4)与所述驱动组件(7)通讯连接。

11.一种返修设备，其特征在于，包括如权利要求1-10任一项所述的清洗装置。

12.如权利要求11所述的返修设备，其特征在于，所述返修设备还包括点锡装置，所述点锡装置包括可移动的点锡件，所述点锡件具有点锡部，所述点锡部能够与所述清洗组件(1)抵接。

13.如权利要求12所述的返修设备，其特征在于，所述点锡件沿第一预设方向(y)移动，所述活动座(2)沿第二预设方向(x)移动，所述第一预设方向(y)垂直于所述第二预设方向(x)。

技术总结
本申请属于晶圆缺陷维修技术领域，提供了一种清洗装置及返修设备，清洗装置包括清洗组件、活动座、磁吸组件、传动机构及驱动组件；磁吸组件连接于清洗组件和活动座之间，以用于使清洗组件磁吸连接于活动座上；驱动组件通过传动机构与活动座联动配合，以使清洗组件沿预设轨迹运动。本申请旨在解决现有技术中清洗部件更换费时费力的技术问题。

技术研发人员：何正琦,白绳武
受保护的技术使用者：西安诺瓦星云科技股份有限公司
技术研发日：20231227
技术公布日：2024/11/14