水平调节装置及晶圆检测系统的制作方法

本申请涉及晶圆检测，具体涉及一种水平调节装置及晶圆检测系统。

背景技术：

1、在晶圆的检测过程中，若晶圆在卡盘上摆放不平整会影响晶圆的检测，甚至对晶圆造成损坏，因此，如何将晶圆水平摆放于卡盘上尤为重要。常见的检测台上常设置多个方向调节组件，以调整卡盘在多个方向的位置，当卡盘用于承载晶圆时可实现对晶圆的摆放位置进行调节。但是，多个方向调节组件承载在测试平台上，使得测试平台的底部支撑件可能因受力不均而有微量的倾斜，并最终影响晶圆在卡盘上的平整度。

技术实现思路

1、鉴于此，本申请提供一种水平调节装置及晶圆检测系统，所述水平调节装置可将所述承载板调整至水平状态。

2、本申请提供一种水平调节装置，所述水平调节装置包括：底板、承载板以及调节组件，所述承载板设置于所述底板的一侧；所述调节组件分别连接所述承载板及所述底板，用于调节所述承载板与所述底板的相对位置，以使得所述承载板处于水平状态。

3、进一步地，所述调节组件包括：第一调节件及锁紧件，所述第一调节件穿设于所述承载板且可转动连接所述承载板，所述第一调节件可沿预设方向朝向靠近或远离所述底板的方向移动；当所述第一调节件沿预设方向朝向靠近或背离所述底板的方向移动时，所述承载板朝向背离或靠近所述底板的方向移动，从而调整所述承载板的位置，以使所述承载板处于水平状态；所述锁紧件套设于所述第一调节件的外周且与所述第一调节件螺纹连接，所述锁紧件设置于所述承载板背离所述底板的一侧且抵持所述承载板背离所述底板的表面，以对所述第一调节件与所述承载板的相对位置进行定位；其中，预设方向为所述底板与所述承载板的层叠方向。

4、进一步地，所述调节组件还包括高度调节件，所述高度调节件设置于所述底板与所述承载板之间，所述高度调节件包括沿预设方向层叠设置的第一微调部及第二微调部，所述第一微调部位于所述第二微调部与所述底板之间，所述第二微调部抵持所述第一调节件面向所述底板的一端；当所述第一调节件朝向靠近所述底板的方向移动时，推动所述第二微调部相对所述第一微调部朝向靠近所述底板的方向移动，从而调节所述第二微调部与所述第一调节件的相对位置，以使所述承载板处于水平状态。

5、进一步地，所述第一微调部具有面向所述第二微调部的第一导向斜面，所述第二微调部具有面向所述第一微调部的第二导向斜面，所述第一导向斜面与所述第二导向斜面抵接；当所述第一调节件朝向靠近所述底板的方向移动时，推动所述第二微调部相对所述第一微调部朝向靠近所述底板的方向滑动，从而调节所述第二微调部与所述第一调节件的相对位置，以使所述承载板处于水平状态。

6、进一步地，所述第一导向斜面为弧面，所述第一导向斜面的弧度r1的范围为：15mm≤r1≤20mm；所述第二导向斜面为弧面，所述第二导向斜面的弧度r2的范围为：15mm≤r2≤20mm；且所述第一导向斜面与所述第二导向斜面满足：|r1-r2|≤1mm。

7、进一步地，所述承载板具有相连通的第一穿设孔及第一沉槽，所述第一穿设孔贯穿所述承载板背离所述底板的表面，所述第一沉槽贯穿所述承载板面向所述底板的表面，所述第一沉槽的径向尺寸大于所述第一穿设孔的径向尺寸；所述第一调节件包括依次相连的限位部及第一柱体部，所述限位部位于所述承载板背离所述底板的一侧，所述第一柱体部穿设于所述第一穿设孔；所述底板具有第二沉槽，所述第二沉槽贯穿所述底板面向所述承载板的表面且与所述第一沉槽连通，所述高度调节件部分位于所述第一沉槽内，部分位于所述第二沉槽内。

8、进一步地，所述底板还具有第二穿设孔，所述第二穿设孔连通所述第二沉槽且相较于所述第二沉槽更远离所述承载板；所述第一柱体部的内部具有第一贯穿孔，所述第一贯穿孔与所述第一沉槽连通；所述高度调节件具有第二贯穿孔，所述第二贯穿孔分别与所述第一贯穿孔及所述第二穿设孔连通；所述调节组件还包括第二调节件，所述第二调节件依次穿设于所述第一贯穿孔、所述第二贯穿孔及所述第二穿设孔，所述第二调节件背离所述底板的端部抵持所述第一调节件，以实现对所述承载板及所述底板的位置进行固定。

9、进一步地，所述第一调节件具有第一外螺纹，所述承载板具有第一内螺纹，所述第一外螺纹与所述第一内螺纹螺纹连接；所述第二调节件靠近所述底板的端部具有第二外螺纹，所述底板具有第二内螺纹，所述第二外螺纹与所述第二内螺纹螺纹连接；当所述第一调节件沿预设方向朝向靠近或背离所述底板的方向移动时，所述第一外螺纹与所述第一内螺纹相互咬合，以实现所述承载板朝向背离或靠近所述底板的方向移动，进而调节所述承载板的位置，以使所述承载板处于水平状态；当所述第二调节件穿设于所述第一调节件及所述底板时，所述第二外螺纹与所述第二内螺纹相互咬合，以实现对所述承载板及所述底板的位置进行固定。

10、进一步地，所述水平调节装置还包括紧固件，所述调节组件的数量为三个，所述紧固件与三个所述调节组件环绕所述承载板的外周间隔设置，所述紧固件分别固定连接所述底板及所述承载板，三个所述调节组件配合，用于调节所述承载板与所述底板的相对位置，以使所述承载板处于水平状态。

11、本申请提供了一种晶圆检测系统，所述晶圆检测系统包括：本申请提供的水平调节装置、晶圆检测台，所述晶圆检测台设置于所述承载板背离所述底板的表面，所述晶圆检测台用于承载待检测晶圆；所述水平调节装置用于使所述晶圆检测台水平设置。

12、在本申请中，所述水平调节装置包括层叠设置的底板、承载板及调节组件，所述调节组件分别连接所述承载板及所述底板，以将所述底板及承载板连接为一体结构，可避免所述底板与所述承载板相对滑动而发生错位，以使得当所述水平调节装置应用于晶圆检测系统时，可避免影响对待检测晶圆的检测。进一步地，所述调节组件可调节所述承载板与所述底板之间的相对位置，使得所述承载板朝向靠近所述底板的方向移动或背离所述底板之间的移动，以使所述承载板处于水平状态。当所述水平调节装置应用于晶圆检测系统时，所述承载板背离所述底板的一侧可用于设置所述晶圆检测台，所述承载板处于水平状态，有利于使得所述晶圆检测台处于水平状态；进一步地，当所述晶圆检测台用于承载待检测晶圆时，可确保待检测晶圆处于水平状态，从而有利于精准地对所述待检测晶圆进行检测，且可避免待检测晶圆被损坏。

技术特征：

1.一种水平调节装置，其特征在于，所述水平调节装置包括：

2.根据权利要求1所述的水平调节装置，其特征在于，所述调节组件包括：

3.根据权利要求2所述的水平调节装置，其特征在于，所述调节组件还包括高度调节件，所述高度调节件设置于所述底板与所述承载板之间，所述高度调节件包括沿预设方向层叠设置的第一微调部及第二微调部，所述第一微调部位于所述第二微调部与所述底板之间，所述第二微调部抵持所述第一调节件面向所述底板的一端；当所述第一调节件朝向靠近所述底板的方向移动时，推动所述第二微调部相对所述第一微调部朝向靠近所述底板的方向移动，从而调节所述第二微调部与所述第一调节件的相对位置，以使所述承载板处于水平状态。

4.根据权利要求3所述的水平调节装置，其特征在于，所述第一微调部具有面向所述第二微调部的第一导向斜面，所述第二微调部具有面向所述第一微调部的第二导向斜面，所述第一导向斜面与所述第二导向斜面抵接；当所述第一调节件朝向靠近所述底板的方向移动时，推动所述第二微调部相对所述第一微调部朝向靠近所述底板的方向滑动，从而调节所述第二微调部与所述第一调节件的相对位置，以使所述承载板处于水平状态。

5.根据权利要求4所述的水平调节装置，其特征在于，所述第一导向斜面为弧面，所述第一导向斜面的弧度r1的范围为：15mm≤r1≤20mm；所述第二导向斜面为弧面，所述第二导向斜面的弧度r2的范围为：15mm≤r2≤20mm；且所述第一导向斜面与所述第二导向斜面满足：|r1-r2|≤1mm。

6.根据权利要求3所述的水平调节装置，其特征在于，所述承载板具有相连通的第一穿设孔及第一沉槽，所述第一穿设孔贯穿所述承载板背离所述底板的表面，所述第一沉槽贯穿所述承载板面向所述底板的表面，所述第一沉槽的径向尺寸大于所述第一穿设孔的径向尺寸；所述第一调节件包括依次相连的限位部及第一柱体部，所述限位部位于所述承载板背离所述底板的一侧，所述第一柱体部穿设于所述第一穿设孔；所述底板具有第二沉槽，所述第二沉槽贯穿所述底板面向所述承载板的表面且与所述第一沉槽连通，所述高度调节件部分位于所述第一沉槽内，部分位于所述第二沉槽内。

7.根据权利要求6所述的水平调节装置，其特征在于，所述底板还具有第二穿设孔，所述第二穿设孔连通所述第二沉槽且相较于所述第二沉槽更远离所述承载板；所述第一柱体部的内部具有第一贯穿孔，所述第一贯穿孔与所述第一沉槽连通；所述高度调节件具有第二贯穿孔，所述第二贯穿孔分别与所述第一贯穿孔及所述第二穿设孔连通；所述调节组件还包括第二调节件，所述第二调节件依次穿设于所述第一贯穿孔、所述第二贯穿孔及所述第二穿设孔，所述第二调节件背离所述底板的端部抵持所述第一调节件，以实现对所述承载板及所述底板的位置进行固定。

8.根据权利要求7所述的水平调节装置，其特征在于，所述第一调节件具有第一外螺纹，所述承载板具有第一内螺纹，所述第一外螺纹与所述第一内螺纹螺纹连接；所述第二调节件靠近所述底板的端部具有第二外螺纹，所述底板具有第二内螺纹，所述第二外螺纹与所述第二内螺纹螺纹连接；当所述第一调节件沿预设方向朝向靠近或背离所述底板的方向移动时，所述第一外螺纹与所述第一内螺纹相互咬合，以实现所述承载板朝向背离或靠近所述底板的方向移动，进而调节所述承载板的位置，以使所述承载板处于水平状态；当所述第二调节件穿设于所述第一调节件及所述底板时，所述第二外螺纹与所述第二内螺纹相互咬合，以实现对所述承载板及所述底板的位置进行固定。

9.根据权利要求1至8任一项所述的水平调节装置，其特征在于，所述水平调节装置还包括紧固件，所述调节组件的数量为三个，所述紧固件与三个所述调节组件环绕所述承载板的外周间隔设置，所述紧固件分别固定连接所述底板及所述承载板，三个所述调节组件配合，用于调节所述承载板与所述底板的相对位置，以使所述承载板处于水平状态。

10.一种晶圆检测系统，其特征在于，所述晶圆检测系统包括：

技术总结
本申请涉及一种水平调节装置及晶圆检测系统，所述水平调节装置包括：底板、承载板以及调节组件，所述承载板设置于所述底板的一侧；所述调节组件分别连接所述承载板及所述底板，用于调节所述承载板与所述底板的相对位置，以使得所述承载板处于水平状态。所述水平调节装置可将所述承载板调整至水平状态。

技术研发人员：钟金成
受保护的技术使用者：深圳市森美协尔科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/11