一种搭载晶圆片规格可调的硅舟的制作方法

本发明涉及硅材料加工，具体是一种搭载晶圆片规格可调的硅舟。

背景技术：

1、晶圆片是制作集成电路的重要材料，通过对晶圆片进行光刻、热扩散等手段，可以制成各种半导体器件，尤其是芯片都需要用到晶圆片。使用晶圆片来制造芯片时，会经过许多工序，其中的一个工序是热扩散工序。热扩散工序，是以在晶圆片的表层形成无缺陷层、吸杂、结晶化、氧化膜形成及不纯物扩散等为目的，而进行的重要的工序。

2、硅舟采用高纯多晶硅加工制成，具有高纯多晶硅加工制成，具有高热导率（温差小），与扩散硅片同步膨胀，消除热应力，防止有害杂质侵入以及持重而不形变等突出优点。

3、硅舟的加工方法大致有粉末冶金法、浇铸成型法、机械加工法三种。常规的方法采用的是机械加工法，先单独加工硅舟的沟棒、天板、法兰，然后通过熔接技术将几个部件融合为一台硅舟。如，现有公开号为：cn213401121u的一项中国实用新型专利，其公开了一种cvd工艺用硅舟，包括天板、法兰和沟棒，沟棒上设有沟齿，天板的一端设有第一熔接槽，法兰靠近天板的一端设有第二熔接槽，沟棒的一端设有与第一熔接槽相匹配的第一熔接头，沟棒的另一端设有与第二熔接槽相匹配的第二熔接头，第一熔接头和第一熔接槽通过热熔接固定相连，第二熔接头和第二熔接槽通过热熔接固定相连。

4、上述专利仍存在以下缺陷：1、熔接完毕的硅舟外形尺寸固定不变，只能适用于一种规格的晶圆片的搭载，通用性较差；

5、2、硅舟长期使用过程中，法兰、天板和沟棒都可能会存在磕碰导致破损的问题，而熔接好的硅舟不方便进行破损部件的维修更换。

技术实现思路

1、为了解决背景技术中提到的至少一个技术问题，本发明的目的在于提供一种搭载晶圆片规格可调的硅舟，能够通过调节位于滑移槽处的沟棒的位置即可适应不同尺寸的晶圆片的搭载，当安装板或沟棒出现破损时，只需要将定位块取下，便对硅舟的各个部件进行拆卸，提高了硅舟的使用通用性且方便对破损的硅舟部件进行维修更换。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、一种搭载晶圆片规格可调的硅舟，包括安装板和安装于两个安装板之间的三个沟棒，还包括设有内螺纹孔的定位块，所述沟棒包括沟齿段，所述沟齿段两端为承接柱，所述承接柱远离沟齿段一侧具有螺纹柱，所述安装板开设有安装孔和两个相互垂直的滑移槽，所述安装孔位于两个滑移槽延伸线的交点；三个所述沟棒中的其中一个沟棒的两端分别与两个安装板固定连接，另外两个沟棒两端对应滑动连接在两个安装板的滑移槽内，与安装板固定连接的所述沟棒的螺纹柱穿过安装孔后与定位块螺纹连接，与安装板滑动连接的沟棒的螺纹柱穿过滑移槽后与定位块螺纹连接；硅舟装配完成后，三个所述沟棒的连线构成等腰直角三角形。

4、优选的，还包括有防滑块，所述防滑块顶部具有均匀布设的防滑牙，所述安装板位于滑移槽处开设有契合防滑牙的防滑槽；所述沟棒贯穿防滑块，所述防滑块的防滑牙与防滑槽相抵接，所述防滑块背离防滑牙的一面与定位块相抵接。

5、优选的，所述安装孔为腰孔，所述安装孔的宽度和滑移槽的槽宽相同；所述承接柱与螺纹柱之间具有契合安装孔的限位柱。

6、优选的，所述安装板位于滑移槽处开设有平行于滑移槽的刻度槽。

7、优选的，其中一个安装板底部固接有多个安装柱，所述安装柱用于将硅舟稳定坐落于氧化炉内。

8、优选的所述安装板的边角以及滑移槽的槽边角均为过渡圆角。

9、优选的，还包括推移件，所述推移件包括开设有限位槽的推移框以及控制推移框平行移动的推柄；与滑移槽滑动连接的两个所述沟棒的外壁与限位槽的槽壁相抵。

10、优选的，所述推移件有两个，两个所述推移件分别设置两个安装板上。

11、优选的，所述推柄安装于推移框中部，所述安装板开有调节槽，两个滑移槽关于调节槽对称设置，所述推柄底部与调节槽滑动连接。

12、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

13、整体上，通过在安装板上开设安装孔和两个相互垂直的滑移槽，且两个安装孔位于两个滑移槽的延伸线的交点位置，将其中一个沟棒的螺纹柱穿过安装孔并通过定位块进行固定进而实现对整个框架的固定，而通过将其余两个沟棒的螺纹柱分别对应穿过安装板的滑移槽并利用定位块固定，如此便完成了硅舟的安装。在调节时，只需要将与安装板滑动连接的沟棒上的定位块调松，然后控制沟棒沿滑移槽滑移到合适的位置即可实现对不同规格晶圆片的搭载；此外当硅舟的某个零部件出现破损时，只需要将定位块调松并取下，然后将破损的部件进行更换即可。总之，本发明能够通过调节位于滑移槽处的沟棒的位置即可适应不同尺寸的晶圆片的搭载；当安装板或沟棒出现破损时，只需要将定位块取下，便可对硅舟的各个部件进行拆卸，提高了硅舟的使用通用性且方便对破损的硅舟部件进行维修更换。

技术特征：

1.一种搭载晶圆片规格可调的硅舟，包括安装板（1）和安装于两个安装板（1）之间的三个沟棒（2），其特征在于，还包括设有内螺纹孔的定位块（3），所述沟棒（2）包括沟齿段（21），所述沟齿段（21）两端为承接柱（22），所述承接柱（22）远离沟齿段（21）一侧具有螺纹柱（24），所述安装板（1）开设有安装孔（13）和两个相互垂直的滑移槽（11），所述安装孔位于两个滑移槽（11）延伸线的交点；三个所述沟棒（2）中的其中一个沟棒（2）的两端分别与两个安装板（1）固定连接，另外两个沟棒（2）两端对应滑动连接在两个安装板（1）的滑移槽（11）内，与安装板（1）固定连接的所述沟棒（2）的螺纹柱（24）穿过安装孔（13）后与定位块（3）螺纹连接，与安装板（1）滑动连接的沟棒（2）的螺纹柱（24）穿过滑移槽（11）后与定位块（3）螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种搭载晶圆片规格可调的硅舟，其特征在于，还包括有防滑块（4），所述防滑块（4）顶部具有均匀布设的防滑牙（41），所述安装板（1）位于滑移槽（11）处开设有契合防滑牙（41）的防滑槽（14）；所述沟棒（2）贯穿防滑块（4），所述防滑块（4）的防滑牙（41）与防滑槽（14）相抵接，所述防滑块（4）背离防滑牙（41）的一面与定位块（3）相抵接。

3.根据权利要求1所述的一种搭载晶圆片规格可调的硅舟，其特征在于，所述安装孔（13）为腰孔，所述安装孔（13）的宽度和滑移槽（11）的槽宽相同；所述承接柱（22）与螺纹柱（24）之间具有契合安装孔的限位柱（23）。

4.根据权利要求1所述的一种搭载晶圆片规格可调的硅舟，其特征在于，所述安装板（1）位于滑移槽（11）处开设有平行于滑移槽（11）的刻度槽（5）。

5.根据权利要求1所述的一种搭载晶圆片规格可调的硅舟，其特征在于，其中一个安装板（1）底部固接有多个安装柱（6），所述安装柱（6）用于将硅舟稳定坐落于氧化炉内。

6.根据权利要求1所述的一种搭载晶圆片规格可调的硅舟，其特征在于，所述安装板（1）的边角以及滑移槽（11）的边角均为过渡圆角。

7.根据权利要求1所述的一种搭载晶圆片规格可调的硅舟，其特征在于，还包括推移件（7），所述推移件（7）包括开设有限位槽（72）的推移框（71）以及控制推移框（71）平行移动的推柄（73）；与滑移槽（11）滑动连接的两个所述沟棒（2）的外壁与限位槽（72）的槽壁相抵。

8.根据权利要求7所述的一种搭载晶圆片规格可调的硅舟，其特征在于，所述推移件（7）有两个，两个所述推移件（7）分别设置两个安装板（1）上。

9.根据权利要求8所述的一种搭载晶圆片规格可调的硅舟，其特征在于，所述推柄（73）安装于推移框（71）中部，所述安装板（1）开有调节槽（12），两个滑移槽（11）关于调节槽（12）对称设置，所述推柄（73）底部与调节槽（12）滑动连接。

技术总结
本发明公开了一种搭载晶圆片规格可调的硅舟，包括安装板和安装于两个安装板之间的三个沟棒，还包括设有内螺纹孔的定位块沟棒包括沟齿段，所述沟齿段两端为承接柱，承接柱远离沟齿段一侧具有螺纹柱，所述安装板开设有安装孔和两个相互垂直的滑移槽，所述安装孔位于两个滑移槽延伸线的交点；三个沟棒中的其中一个沟棒的两端分别与两个安装板固定连接，另外两个沟棒两端对应滑动连接在两个安装板的滑移槽内，与安装板固接的沟棒的螺纹柱贯穿安装板后与定位块螺纹连接。本申请的硅舟能够适应更多尺寸的晶圆片的搭载，且能对硅舟的各个部件进行拆卸，提高了硅舟的使用通用性且方便对破损的硅舟部件进行维修更换。

技术研发人员：周波,丁纺纺,林霜,祝建敏,安振波
受保护的技术使用者：浙江盾源聚芯半导体科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/6/5