一种基于紫外灯的晶圆测试装置的制作方法

本发明涉及晶圆测试，具体涉及一种基于紫外灯的晶圆测试装置。

背景技术：

1、在晶圆制造完成之后，晶圆测试是一道不可或缺的重要工艺；由于制程设计或材料本身的特性，或多或少会产生一些不良品需要剔除，为了避免下一个封装环节出现错封误封的情况，行业内的普遍做法是在晶圆的不良品晶粒打上墨点标识出来。

2、在对不良品晶粒进行打墨处理之后，需要对不良品晶粒上的墨点进行干燥；传统的做法是在取料机构上设置吹风机构，通过吹热风的方式将墨点进行烘干后进行晶圆片的取料；但是该方式存在工作效率低下的问题，并且容易因吹风回流的问题，将墨水吸到至出风口的位置，从而在下次烘干的时候，将出风口的墨水吹向至另外的晶圆片上，导致测量结果的不准确。

技术实现思路

1、本发明的目的是针对现有技术中的上述不足，提供了一种基于紫外灯的晶圆测试装置。

2、本发明的目的通过以下技术方案实现：一种基于紫外灯的晶圆测试装置，包括机台以及设于机台的龙门架；所述龙门架设有测试机构以及打点机构；所述机台设有上料座以及下料座；

3、所述机台设有承片台；所述机台设有用于驱动承片台在测试机构与打点机构之间移动的移动机构；所述龙门架设有取料机构；所述取料机构用于在上料座、承片台以及下料座之间移动；

4、所述机台设有紫外灯。

5、本发明进一步设置为，所述打点机构包括打点座以及设于打点座的打点模块以及设于打点座的视觉模块；所述龙门架的底部设有用于驱动打点座横移的第一横移组件。

6、本发明进一步设置为，所述测试机构包括测试座以及设于测试座的测试模块；所述龙门架的一侧设有用于驱动测试座横移的第二横移组件；所述测试座设有用于驱动测试模块升降的第二升降组件。

7、本发明进一步设置为，所述移动机构包括设于机台的纵移组件。

8、本发明进一步设置为，所述打点机构的数量为两个；所述测试机构的数量为两个；所述承片台的数量为四个；所述纵移组件的数量为四个；四个纵移组件平行设置；

9、一个测试机构、一个打点机构、两个纵移机构以及两个承片台对应设置。

10、本发明进一步设置为，所述取料机构包括取料座以及升降设于取料座的固定座；所述龙门架的另一侧设有用于驱动取料座横移的第三横移组件；所述取料座设有用于驱动固定座升降的第三升降组件；

11、所述紫外灯设于取料座。

12、本发明进一步设置为，所述取料座与紫外灯之间设有l型连接板；所述l型连接板与取料座可拆卸连接。

13、本发明进一步设置为，所述l型连接板设有条形槽；所述取料座沿高度方向设有多个与条形槽配合的调节孔。

14、本发明进一步设置为，所述固定座的底部设有连接杆；所述连接杆的底部设有取料台；所述取料台的底部设有多个取料吸嘴。

15、本发明进一步设置为，所述取料台的一端设有吹风座；所述吹风座设有吹风口；所述吹风口朝取料吸嘴的方向倾斜设置。

16、本发明的有益效果：本发明通过将紫外灯对晶圆片进行烘干，从而能够将晶圆片上的油墨快速烘干，增强了晶圆测试装置的工作效率，并且能够有效地防止油墨粘附在紫外灯中，能够有效地保证测量效率。

技术特征：

1.一种基于紫外灯的晶圆测试装置，其特征在于：包括机台(1)以及设于机台(1)的龙门架(2)；所述龙门架(2)设有测试机构以及打点机构；所述机台(1)设有上料座(11)以及下料座(12)；

2.根据权利要求1所述的一种基于紫外灯的晶圆测试装置，其特征在于：所述打点机构包括打点座(51)以及设于打点座(51)的打点模块(52)以及设于打点座(51)的视觉模块(53)；所述龙门架(2)的底部设有用于驱动打点座(51)横移的第一横移组件(54)。

3.根据权利要求1所述的一种基于紫外灯的晶圆测试装置，其特征在于：所述测试机构包括测试座(61)以及设于测试座(61)的测试模块(62)；所述龙门架(2)的一侧设有用于驱动测试座(61)横移的第二横移组件(63)；所述测试座(61)设有用于驱动测试模块(62)升降的第二升降组件(64)。

4.根据权利要求1所述的一种基于紫外灯的晶圆测试装置，其特征在于：所述移动机构包括设于机台(1)的纵移组件(32)。

5.根据权利要求4所述的一种基于紫外灯的晶圆测试装置，其特征在于：所述打点机构的数量为两个；所述测试机构的数量为两个；所述承片台(31)的数量为四个；所述纵移组件(32)的数量为四个；四个纵移组件(32)平行设置；

6.根据权利要求1所述的一种基于紫外灯的晶圆测试装置，其特征在于：所述取料机构包括取料座(71)以及升降设于取料座(71)的固定座(72)；所述龙门架(2)的另一侧设有用于驱动取料座(71)横移的第三横移组件(73)；所述取料座(71)设有用于驱动固定座(72)升降的第三升降组件(74)；

7.根据权利要求6所述的一种基于紫外灯的晶圆测试装置，其特征在于：所述取料座(71)与紫外灯(4)之间设有l型连接板(41)；所述l型连接板(41)与取料座(71)可拆卸连接。

8.根据权利要求7所述的一种基于紫外灯的晶圆测试装置，其特征在于：所述l型连接板(41)设有条形槽(42)；所述取料座(71)沿高度方向设有多个与条形槽(42)配合的调节孔(43)。

9.根据权利要求6所述的一种基于紫外灯的晶圆测试装置，其特征在于：所述固定座(72)的底部设有连接杆(75)；所述连接杆(75)的底部设有取料台(8)；所述取料台(8)的底部设有多个取料吸嘴(81)。

10.根据权利要求9所述的一种基于紫外灯的晶圆测试装置，其特征在于：所述取料台(8)的一端设有吹风座(9)；所述吹风座(9)设有吹风口(91)；所述吹风口(91)朝取料吸嘴(81)的方向倾斜设置。

技术总结
本发明涉及晶圆测试技术领域，具体涉及一种基于紫外灯的晶圆测试装置，包括机台以及设于机台的龙门架；所述龙门架设有测试机构以及打点机构；所述机台设有上料座以及下料座；所述机台设有承片台；所述机台设有用于驱动承片台在测试机构与打点机构之间移动的移动机构；所述龙门架设有取料机构；所述取料机构用于在上料座、承片台以及下料座之间移动；所述机台设有紫外灯。本发明通过将紫外灯对晶圆片进行烘干，从而能够将晶圆片上的油墨快速烘干，增强了晶圆测试装置的工作效率，并且能够有效地防止油墨粘附在紫外灯中，能够有效地保证测量效率。

技术研发人员：李雄,周军,钟国华
受保护的技术使用者：纳美半导体设备（广州）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/8/20