一种硅片满篮检测预选对接装置及预选对接方法与流程

本发明属于硅片生产加工领域，具体涉及一种硅片满篮检测预选对接装置及预选对接方法。

背景技术：

1、在现有的硅片脱胶、插片、清洗工艺之后，为了提高效率，会在清洗机末端对接后续工艺流程，如硅片分选机。现有的对接方式，直接将硅片分选机布置在清洗机后，采用人工或机械手直接将清洗烘干后的硅片运往分选机进行瑕疵检测及分选。这极大的造成了后续分选工艺的时间消耗，因为，较高概率的瑕疵片会进入到分选机，导致后续分选中碎片剔除工作和其他明显瑕疵工作的工作量的增大。

2、此外，还有一个明显不是正常满花篮的料篮进入到后续分选工段，这也将造成工艺时间的消耗。

3、因此，为了减少后续时间浪费，需要设计一种预分选的对接工段。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种硅片满篮检测预选对接装置及预选对接方法，其能解决上述问题。

2、一种硅片满篮检测预选对接装置，包括硅片进料对接皮带线、满篮瑕疵检测模块、满篮瑕疵剔除模块和对接段花篮转运模块；所述满篮瑕疵检测模块和满篮瑕疵剔除模块布置在所述硅片进料对接皮带线的流线末端；所述满篮瑕疵剔除模块采用瑕疵篮上层输出和修复篮下层流入及升降的“回”字形料篮供给方式；所述对接段花篮转运模块用于硅片花篮的空间转运。

3、可选的，所述硅片进料对接皮带线包括对接皮带架、皮带驱动组件和对接皮带；在对接皮带两侧的对接皮带架上设置多个皮带花篮感应器。

4、可选的，所述满篮瑕疵检测模块包括花篮上层检测组件和花篮下层检测组件，所述花篮上层检测组件和花篮下层检测组件均包括设置在检测架上的瑕疵检测相机单元、检测光源和检测外封板，其中，所述花篮上层检测组件的瑕疵检测相机单元和检测光源朝下设置，所述花篮下层检测组件的瑕疵检测相机单元和检测光源朝上设置。

5、可选的，所述满篮瑕疵剔除模块包括布置在满蓝瑕疵剔料架上的满篮输出流线、满篮剔除升降流线、满篮流入流线和满篮修复升降流线；所述满篮输出流线和满篮流入流线上下间隔的布置在满蓝瑕疵剔料架上，所述满篮剔除升降流线竖直的布置在满篮输出流线的外端，所述满篮修复升降流线竖直的布置在满篮流入流线的内端。

6、可选的，所述满篮输出流线和满篮流入流线均包括满篮流线架、满篮流线驱动组件、满篮流线阻挡缓冲块组件和满蓝流线到位感应器；所述满篮流线驱动组件布置在所述满篮流线架上，所述满篮流线阻挡缓冲块组件和满蓝流线到位感应器布置在所述满篮流线架运输方向的两侧；所述满篮输出流线和/或满篮流入流线还包括侧边导向板和侧边推紧模块，用于硅片花篮的导向。

7、可选的，所述满篮剔除升降流线包括花篮升降链台、升降上侧板、升降下侧板、剔料升降气缸和剔料升降导向组件；所述花篮升降链台侧边被支撑的设置在两个升降上侧板之间，两根剔料升降气缸竖直的布置在对应侧升降上侧板和升降下侧板之间，剔料升降气缸上部的活塞杆顶端连接至所述升降上侧板顶部外侧，剔料升降气缸下部的气缸外侧及底部连接至所述升降下侧板内侧面，每个升降下侧板上在剔料升降气缸的两侧均设置一个剔料升降导向组件，且剔料升降导向组件的顶部通过一个导向侧支板连接至所述升降上侧板的底部。

8、可选的，所述满篮修复升降流线包括花篮提升台、升降上安装板、升降下安装板、修复升降组件和修复升降导向组件；修复升降组件的一侧固定至所述升降上安装板、升降下安装板的外侧面，修复升降组件的驱动传输段连接至所述花篮提升台，所述修复升降导向组件设置在修复升降组件两侧并连接至所述升降上安装板、升降下安装板的外侧面。

9、可选的，所述硅片满篮检测预选对接装置还包括一个硅片花篮冷却模块，所述硅片花篮冷却模块跨设在所述硅片进料对接皮带线上，用于对下方的满片花篮冷却。

10、可选的，对接段花篮转运模块采用机器人或设置在机架上的顶置空间移动的夹爪。

11、本发明还提供了一种预选对接方法，预选对接方法包括：s1、硅片冷却，s2、满篮上层检测，s3、满篮下层检测，s4、花篮转运，s5、ng花篮修复，s6、修复篮转运。

12、相比现有技术，本发明的有益效果在于：本申请的对接装置，集成了硅片冷却、光学检测、筛选、修复等功能，保证了硅片质量，节省了后续分选耗时，便于在硅片加工生产领域推广应用。

技术特征：

1.一种硅片满篮检测预选对接装置，其特征在于：硅片满篮检测预选对接装置包括硅片进料对接皮带线(100)、满篮瑕疵检测模块(200)、满篮瑕疵剔除模块(300)和对接段花篮转运模块(400)；

2.根据权利要求1所述的硅片满篮检测预选对接装置，其特征在于：

3.根据权利要求2所述的硅片满篮检测预选对接装置，其特征在于：

4.根据权利要求2所述的硅片满篮检测预选对接装置，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的硅片满篮检测预选对接装置，其特征在于：

6.根据权利要求4所述的硅片满篮检测预选对接装置，其特征在于：

7.根据权利要求4所述的硅片满篮检测预选对接装置，其特征在于：

8.根据权利要求4所述的硅片满篮检测预选对接装置，其特征在于：所述硅片满篮检测预选对接装置还包括一个硅片花篮冷却模块(500)，所述硅片花篮冷却模块(500)跨设在所述硅片进料对接皮带线(100)上，用于对下方的满片花篮冷却。

9.根据权利要求1所述的硅片满篮检测预选对接装置，其特征在于：所述对接段花篮转运模块(400)采用机器人或设置在机架上的顶置空间移动的夹爪。

10.一种基于权利要求8所述的硅片满篮检测预选对接装置的预选对接方法，其特征在于，所述预选对接方法包括：

技术总结
本发明提供了一种硅片满篮检测预选对接装置及预选对接方法，属于硅片生产加工领域，检测预选对接装置包括硅片进料对接皮带线、满篮瑕疵检测模块、满篮瑕疵剔除模块和对接段花篮转运模块；满篮瑕疵剔除模块采用瑕疵篮上层输出和修复篮下层流入及升降的“回”字形料篮供给方式；对接段花篮转运模块用于硅片花篮的空间转运。预选对接方法包括硅片冷却、满篮上层检测、满篮下层检测、花篮转运、NG花篮修复、修复篮转运。相比现有技术，本发明的有益效果在于：本申请的对接装置，集成了硅片冷却、光学检测、筛选、修复等功能，保证了硅片质量，节省了后续分选耗时，便于在硅片加工生产领域推广应用。

技术研发人员：孙靖,王承平,徐伟锋,熊勇,薛峰
受保护的技术使用者：苏州天准科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2025/1/13