光注入装置的制作方法

本技术涉及光伏，特别是涉及一种光注入装置。

背景技术：

1、异质结电池（hjt电池）等太阳电池的制造包括清洗制绒、微晶硅薄膜沉积、tco薄膜制备和丝网印刷等工序。

2、丝网印刷之后，电池片采用光注入工艺进行钝化，其是通过光注入机构如led模组对电池片在短时间内提供一个高的光注入量，使太阳电池的非晶层h族元素被激活，通过光照控制氢原子的价态，使其在p+发射极和n型基底与复合中心结合，形成非复合中心，更好地吸收电池内部的悬挂键，使复合区域饱和，由此使其钝化效果大幅度提升，提高少子寿命，提高电池转换效率。

3、然而，传统光注入工艺中，随工艺时间延长，电池片出现钝化效果变差，表现为el图像发黑和发暗，严重影响太阳电池效率的稳定和提升。

技术实现思路

1、基于此，有必要提供一种光注入装置，以解决电池片el图像发黑和发暗的问题。

2、一种光注入装置，包括：

3、工艺室；

4、承载机构，设置在所述工艺室中，所述承载机构用于承载电池片；

5、光注入机构，设置在所述工艺室中，所述光注入机构用于对所述承载机构的电池片进行光注入处理；以及

6、降温机构，用于对所述工艺室内进行降温。

7、在其中一个实施例中，所述降温机构包括：

8、冷气组件，包括冷气腔、气体压缩机、冷气管路以及回气管路，所述冷气腔设置在所述工艺室中，所述冷气腔具有相对设置的进气端和出气端，所述气体压缩机通过所述冷气管路连接于所述进气端，所述出气端通过所述回气管路连接于所述气体压缩机。

9、在其中一个实施例中，所述冷气管路包括多个依次连通的子管路，自所述气体压缩机至所述冷气腔，多个所述子管路的管径依次增大。

10、在其中一个实施例中，所述光注入机构位于所述承载机构的上方，所述冷气腔位于所述光注入机构的上方。

11、在其中一个实施例中，所述冷气组件还包括：

12、汇流腔，位于工艺室内，所述汇流腔为下端开口的空腔，所述汇流腔罩设在所述光注入机构上，所述冷气腔设置在所述汇流腔内。

13、在其中一个实施例中，所述汇流腔的高度为60cm~120cm，所述冷气腔的底端与所述光注入机构的距离25cm~40cm。

14、在其中一个实施例中，所述冷气组件还包括：

15、制冷部件，设置在所述回气管路上。

16、在其中一个实施例中，所述工艺室设置有相连通的进料口及出料口，所述承载机构包括从所述进料口延伸至所述出料口的传送组件。

17、在其中一个实施例中，所述降温机构包括：

18、风机，设置在所述出料口处，用于朝向所述工艺室外侧吹风。

19、在其中一个实施例中，所述风机为离子风机。

20、在其中一个实施例中，所述风机的吹风方向朝下，且与水平方向的夹角为25°~50°。

21、与传统方案相比，上述光注入装置具有以下有益效果：

22、经过研究发现，传统设备的工艺室内因持续光照而产生大量热量，使得工艺腔内的温度容易超出异质结低温电池的可接受温度（230℃以下），导致电池片钝化效果差，el图像发黑发暗。此外，持续高温对光注入机构产生一定的损坏，光注入机构的光照强度和均匀性随工作时间逐渐下降，电池片出现钝化效果变差而发黑和发暗，严重影响太阳电池效率的稳定和提升。

23、上述光注入装置包括工艺室、承载机构、光注入机构以及降温机构，通过设置降温机构，对工艺室内进行降温，例如使工艺室内的温度保持在190℃~220℃，减少对电池片的伤害，并使光注入机构的光照稳定且均匀，电池片钝化效果更好，使电池片光电转换效率得到一定程度的提升，有效减少电池片el发黑的比例。

技术特征：

1.一种光注入装置（10），其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的光注入装置（10），其特征在于，所述降温机构（400）包括：

3.如权利要求2所述的光注入装置（10），其特征在于，所述冷气管路（413）包括多个依次连通的子管路，自所述气体压缩机（412）至所述冷气腔（411），多个所述子管路的管径依次增大。

4.如权利要求2所述的光注入装置（10），其特征在于，所述冷气组件（410）还包括：

5.如权利要求2所述的光注入装置（10），其特征在于，所述光注入机构（300）位于所述承载机构（200）的上方，所述冷气腔（411）位于所述光注入机构（300）的上方。

6.如权利要求5所述的光注入装置（10），其特征在于，所述冷气组件（410）还包括：

7.如权利要求6所述的光注入装置（10），其特征在于，所述汇流腔（415）的高度为60cm~120cm，所述冷气腔（411）的底端与所述光注入机构（300）的距离25cm~40cm。

8.如权利要求1~7中任一项所述的光注入装置（10），其特征在于，所述工艺室（100）设置有相连通的进料口（110）及出料口（120），所述承载机构（200）包括从所述进料口（110）延伸至所述出料口（120）的传送组件（210）。

9.如权利要求8所述的光注入装置（10），其特征在于，所述降温机构（400）包括：

10.如权利要求9所述的光注入装置（10），其特征在于，所述风机（420）为离子风机（420）；和/或

技术总结
本技术涉及一种光注入装置。上述光注入装置包括工艺室、承载机构、光注入机构以及降温机构。承载机构设置在工艺室中，承载机构用于承载电池片。光注入机构设置在工艺室中，光注入机构用于对承载机构的电池片进行光注入处理。降温机构用于对工艺室内进行降温。上述光注入装置通过设置降温机构，对工艺室内进行降温，例如使工艺室内的温度保持在190℃~220℃，减少对电池片的伤害，并使光注入机构的光照稳定且均匀，电池片钝化效果更好，使电池片光电转换效率得到一定程度的提升，有效减少电池片EL发黑的比例。

技术研发人员：潘孝堃
受保护的技术使用者：通威太阳能（成都）有限公司
技术研发日：20240117
技术公布日：2024/12/17