一种晶圆表面干燥吹扫设备的制作方法

本技术涉及晶圆清洁，具体为一种晶圆表面干燥吹扫设备。

背景技术：

1、晶圆其实就是硅，是半导体集成电路制作中最关键的原料，因为其外形为圆形，故称之为晶圆。在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能之ic产品，被广泛应用于半导体行业。

2、经检所专利公开号为cn214099588u公开了晶圆表面干燥吹扫设备，包括机架、干燥架、氮气供应装置、清洗箱以及夹持块，所述机架内置工作空腔，工作空腔前端设置密封门，所述机架顶端设置驱动电机，所述驱动电机输出端设置旋转杆，所述旋转杆远离驱动电机一端穿过机架侧壁伸入工作空腔内，所述旋转杆远离驱动电机一端设置干燥架，所述干燥架矩形框架，所述干燥架左右两侧内壁设置第一液压杆，干燥架上下两侧侧壁设置第二液压杆，所述第一液压杆以及第二液压杆输出端设置夹持块，所述夹持块远离干燥架侧壁一端设置凹槽，所述工作空腔左侧底端设置氮气供应装置，所述工作空腔位于干燥架左侧设置氮气喷嘴，所述氮气供应装置输出端与氮气喷嘴之间设置输送管道。

3、然而该专利尚有不足，该种晶圆表面干燥吹扫设备在使用过程中需要将晶圆放入夹持块内进行固定，然后工作人员等待晶圆的清洗以及烘干，最后再将晶圆拆下放入其他未清洁的晶圆进行清洁处理，清洁处理过程中需要耗费大量的等待时间，清理工作整体用时较长，清理工作效率较低，因此有必要对其进行改进。

4、为此，我们提出了一种晶圆表面干燥吹扫设备。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种晶圆表面干燥吹扫设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆表面干燥吹扫设备，包括底板，所述底板上固定安装有安装架，所述安装架内转动连接有连接轴，所述连接轴的外侧套设有旋转架，所述旋转架上位于连接轴的外侧设置有多个放置槽，多个所述放置槽内均插接有卡件，多个所述卡件靠近连接轴一侧均设置有限位槽，多个所述卡件内远离限位槽的一侧均设置有安装槽，每个所述安装槽内均滑动连接有两个滑片，两个所述滑片相互远离一侧均固定安装有卡销，多个所述放置槽内对应卡销处均预留有卡槽，两个所述卡销远离滑片一侧分别延伸至对应的卡槽内，且两个所述滑片之间固定安装有弹簧。

3、可选的，每个所述卡件的外侧均套设有两个拉杆，两个所述拉杆均设置为u型，且每个所述拉杆的两个输出端均分别固定安装在对应的滑片上，通过此种设计有利于本设备的使用。

4、可选的，多个所述滑片均设置为中字型，通过此种设计有利于本设备的使用。

5、可选的，所述安装架的前端固定安装有电机，所述电机的输出端固定安装在连接轴上，通过电机带动连接轴转动有利于本设备的使用。

6、可选的，所述安装架内位于旋转架的前后端均固定安装有风嘴，两个所述风嘴相互远离一侧均固定安装有风管，通过风嘴能够喷出气体对晶圆表面进行清扫烘干。

7、可选的，所述安装架的右侧固定安装有支架，所述支架内位于旋转架的前后端均固定安装有清洗喷嘴，两个所述清洗喷嘴相互远离一侧均固定安装有连接管，通过清洗喷嘴能够喷洒清洗液对晶圆进行清洗。

8、可选的，所述支架内右侧固定安装有plc控制器，通过plc控制器便于控制本设备进行工作。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

10、通过电机、连接轴、旋转架、放置槽、卡件、限位槽、安装槽、滑片、卡销、拉杆、弹簧和卡槽的相互配合，能够合理利用晶圆清洗和清扫过程中的等待时间，用于拆装其他晶圆，缩短整体加工处理的时长，从而进一步提高了加工效率，同时晶圆的拆装方便快捷，适用于大批量晶圆加工处理的使用。

技术特征：

1.一种晶圆表面干燥吹扫设备，其特征在于，包括底板（1），所述底板（1）上固定安装有安装架（2），所述安装架（2）内转动连接有连接轴（20），所述连接轴（20）的外侧套设有旋转架（19），所述旋转架（19）上位于连接轴（20）的外侧设置有多个放置槽（10），多个所述放置槽（10）内均插接有卡件（11），多个所述卡件（11）靠近连接轴（20）一侧均设置有限位槽（12），多个所述卡件（11）内远离限位槽（12）的一侧均设置有安装槽（13），每个所述安装槽（13）内均滑动连接有两个滑片（14），两个所述滑片（14）相互远离一侧均固定安装有卡销（15），多个所述放置槽（10）内对应卡销（15）处均预留有卡槽（18），两个所述卡销（15）远离滑片（14）一侧分别延伸至对应的卡槽（18）内，且两个所述滑片（14）之间固定安装有弹簧（17）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆表面干燥吹扫设备，其特征在于，每个所述卡件（11）的外侧均套设有两个拉杆（16），两个所述拉杆（16）均设置为u型，且每个所述拉杆（16）的两个输出端均分别固定安装在对应的滑片（14）上。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆表面干燥吹扫设备，其特征在于，多个所述滑片（14）均设置为中字型。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆表面干燥吹扫设备，其特征在于，所述安装架（2）的前端固定安装有电机（5），所述电机（5）的输出端固定安装在连接轴（20）上。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆表面干燥吹扫设备，其特征在于，所述安装架（2）内位于旋转架（19）的前后端均固定安装有风嘴（7），两个所述风嘴（7）相互远离一侧均固定安装有风管（8）。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆表面干燥吹扫设备，其特征在于，所述安装架（2）的右侧固定安装有支架（3），所述支架（3）内位于旋转架（19）的前后端均固定安装有清洗喷嘴（6），两个所述清洗喷嘴（6）相互远离一侧均固定安装有连接管（9）。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆表面干燥吹扫设备，其特征在于，所述支架（3）内右侧固定安装有plc控制器（4）。

技术总结
本技术公开了一种晶圆表面干燥吹扫设备，包括底板，底板上固定安装有安装架，安装架内转动连接有连接轴，连接轴的外侧套设有旋转架，旋转架上位于连接轴的外侧设置有多个放置槽，多个放置槽内均插接有卡件，多个卡件靠近连接轴一侧均设置有限位槽，多个卡件内远离限位槽的一侧均设置有安装槽，每个安装槽内均滑动连接有两个滑片，两个滑片相互远离一侧均固定安装有卡销，多个放置槽内对应卡销处均预留有卡槽。该晶圆表面干燥吹扫设备能够合理利用晶圆清洗和清扫过程中的等待时间，用于拆装其他晶圆，缩短整体加工处理的时长，从而进一步提高了加工效率，同时晶圆的拆装方便快捷，适用于大批量晶圆加工处理的使用。

技术研发人员：陆先锋
受保护的技术使用者：无锡颂林达科技有限公司
技术研发日：20240124
技术公布日：2024/9/9