一种安装有吸附台的晶圆片甩干装置的制作方法

本技术涉及晶圆片甩干，具体为一种安装有吸附台的晶圆片甩干装置。

背景技术：

1、晶圆片又名硅晶片，其是由硅锭加工而成的，并且由于其特性被广泛应用于集成电路的制造，晶圆片在加工制作时会经过多个步骤，其中一个步骤就是甩干处理，通过甩干的方式将成型的晶圆片的表面的水分甩干，以此来避免水分影响到晶圆片的后续使用，但是现有的晶圆片甩干装置还是存在一些确定，如用于吸附固定晶圆片的吸附台，一般在进行甩干时只能单独吸附固定一片晶圆片，这样导致工作效率低，大大影响了晶圆片的甩干效率，同时吸附台又无法进行拆卸，到遇到型号不同的晶圆片时就无法有效的吸附住晶圆片，为此，我们提出一种安装有吸附台的晶圆片甩干装置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种安装有吸附台的晶圆片甩干装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种安装有吸附台的晶圆片甩干装置，包括箱体，箱体的底部四周均设置有垫块，箱体的顶部呈敞口设置，且箱体的顶部设置有相配合的密封盖，箱体的内腔底部中心处呈矩形状设置有四组支撑杆，四组支撑杆的顶部共同连接设置有电机安装板，电机安装板的顶部设置有低速电机，低速电机的顶部设置有电机轴，箱体的内腔中部设置有防水隔板，电机轴的顶部贯穿防水隔板的中心处，并延伸至防水隔板的顶部中心处，防水隔板的外壁四周等距离设置有四组连接杆，且连接杆远离防水隔板的一端均与箱体的内腔内壁连接，电机轴的顶部设置有连接板，连接板的顶部活动连接吸附台，吸附台的顶部外周环绕设置有吸盘，吸附台的左右两侧均设置有把手，箱体的内腔后端面底部左侧设置有排水孔。

4、进一步的：密封盖的底部中心处设置有竖杆，竖杆的底部设置有滚珠槽，滚珠槽内设置有滚珠，滚珠的底部贴合设置在吸附台的顶部中心处。

5、进一步的：连接板与吸附台均设置为圆形，连接板的顶部四周均设置有插接块，吸附台的底部中心处四周均设置有与插接块相匹配的插接槽。

6、进一步的：插接块共设置有四组，且四组插接块等距离设置在连接板的顶部，插接块的顶部均设置有弧形接触面，插接块的外壁与插接槽的内腔内壁之间贴合连接。

7、进一步的：防水隔板的顶部设置为中间高四周低，防水隔板设置为圆形，防水隔板的外圆直径大于吸附台的外圆直径。

8、进一步的：密封盖的顶部左右两侧均设置有透明观察窗，密封盖的顶部前后端面均设置有内嵌式把手。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

10、该安装有吸附台的晶圆片甩干装置，在吸附台的顶部外周环绕设置了多组吸盘，在对晶圆片进行甩干处理时，可一次性将多片晶圆片通过吸盘吸附固定在吸附台的顶部，这样在相同的时间内可一次性甩干多片晶圆片，从而大大的增加了工作效率；吸附台与连接板之间是活动连接的可进行拆卸，当遇到大小型号不同的晶圆片时，可将吸附台拆卸，依据晶圆片大小型号来更换带有不同数量的吸盘的吸附台，这样即可对不同大小型号不同的晶圆片进行甩干处理。

技术特征：

1.一种安装有吸附台的晶圆片甩干装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的底部四周均设置有垫块(2)，所述箱体(1)的顶部呈敞口设置，且箱体(1)的顶部设置有相配合的密封盖(3)，所述箱体(1)的内腔底部中心处呈矩形状设置有四组支撑杆(4)，四组所述支撑杆(4)的顶部共同连接设置有电机安装板(5)，所述电机安装板(5)的顶部设置有低速电机(6)，所述低速电机(6)的顶部设置有电机轴(7)，所述箱体(1)的内腔中部设置有防水隔板(8)，所述电机轴(7)的顶部贯穿防水隔板(8)的中心处，并延伸至防水隔板(8)的顶部中心处，所述防水隔板(8)的外壁四周等距离设置有四组连接杆(9)，且连接杆(9)远离防水隔板(8)的一端均与箱体(1)的内腔内壁连接，所述电机轴(7)的顶部设置有连接板(10)，所述连接板(10)的顶部活动连接吸附台(11)，所述吸附台(11)的顶部外周环绕设置有吸盘(12)，所述吸附台(11)的左右两侧均设置有把手(13)，所述箱体(1)的内腔后端面底部左侧设置有排水孔(14)。

2.根据权利要求1所述的一种安装有吸附台的晶圆片甩干装置，其特征在于：所述密封盖(3)的底部中心处设置有竖杆(15)，所述竖杆(15)的底部设置有滚珠槽，所述滚珠槽内设置有滚珠，所述滚珠的底部贴合设置在吸附台(11)的顶部中心处。

3.根据权利要求1所述的一种安装有吸附台的晶圆片甩干装置，其特征在于：所述连接板(10)与吸附台(11)均设置为圆形，所述连接板(10)的顶部四周均设置有插接块(16)，所述吸附台(11)的底部中心处四周均设置有与插接块(16)相匹配的插接槽(17)。

4.根据权利要求3所述的一种安装有吸附台的晶圆片甩干装置，其特征在于：所述插接块(16)共设置有四组，且四组插接块(16)等距离设置在连接板(10)的顶部，所述插接块(16)的顶部均设置有弧形接触面，所述插接块(16)的外壁与插接槽(17)的内腔内壁之间贴合连接。

5.根据权利要求1所述的一种安装有吸附台的晶圆片甩干装置，其特征在于：所述防水隔板(8)的顶部设置为中间高四周低，所述防水隔板(8)设置为圆形，所述防水隔板(8)的外圆直径大于吸附台(11)的外圆直径。

6.根据权利要求1所述的一种安装有吸附台的晶圆片甩干装置，其特征在于：所述密封盖(3)的顶部左右两侧均设置有透明观察窗，所述密封盖(3)的顶部前后端面均设置有内嵌式把手。

技术总结
本技术公开了晶圆片甩干技术领域的一种安装有吸附台的晶圆片甩干装置，包括箱体，箱体的底部四周均设置有垫块，箱体的内腔底部中心处呈矩形状设置有四组支撑杆，四组支撑杆的顶部共同连接设置有电机安装板，电机安装板的顶部设置有低速电机，低速电机的顶部设置有电机轴；在对晶圆片进行甩干处理时，可一次性将多片晶圆片通过吸盘吸附固定在吸附台的顶部，这样在相同的时间内可一次性甩干多片晶圆片，从而大大的增加了工作效率；吸附台与连接板之间是活动连接的可进行拆卸，当遇到大小型号不同的晶圆片时，可将吸附台拆卸，依据晶圆片大小型号来更换带有不同数量的吸盘的吸附台，这样即可对不同大小型号不同的晶圆片进行甩干处理。

技术研发人员：何霁,徐俊怡,刘颂伟
受保护的技术使用者：苏州欣威晟电子科技有限公司
技术研发日：20240130
技术公布日：2024/9/23