一种预调节晶圆位置的对准装置的制作方法

本技术涉及半导体制造，尤其涉及一种预调节晶圆位置的对准装置。

背景技术：

1、在晶圆片的加工过程中需要向晶圆片上喷射酸碱有机物等液体，在离心力的作用下迅速扩散至整个晶圆，但是由于驱动源中液压、气压、油温波动等情况造成机械臂定位不准确，如果机械臂发生定位错误，会导致晶圆片没有放置于正确的位置，会产生晶圆片清洗不均匀或晶圆片在高速旋转的过程中，可能从旋转卡盘中掉落等问题。

2、为解决上述问题，现有技术专利(cn218215245u)公开了一种预调节晶圆位置的对准装置，第二感应件中心到旋转卡盘圆心之间的水平距离小于晶圆片的直径，机械将晶圆片放置于旋转卡盘的过程中，第二感应件还在感应晶圆片与第二感应件之间的横向距离，防止机械臂在将晶圆片放置于旋转卡盘上，机械臂在纵向位置发生了定位偏差。

3、但是上述现有技术中，在对准时过程较为复杂，装置整体的成本较高在实际应用中较为繁琐。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种预调节晶圆位置的对准装置，解决了现有技术中在对准时过程较为复杂，装置整体的成本较高在实际应用中较为繁琐的技术问题。

2、为实现上述目的，本实用新型采用的一种预调节晶圆位置的对准装置，包括连接板、放置板一、放置板二和定位组件，所述定位组件包括电机、螺杆、移动块、摆杆、移动杆和移动部件，所述放置板一与所述连接板固定连接，并位于所述连接板的上方，所述放置板二与所述连接板固定连接，并位于所述连接板的上方，所述电机与所述连接板拆卸连接，并位于所述连接板的上方，所述螺杆与所述电机拆卸连接，并贯穿所述放置板一，且所述螺杆两端的螺纹旋向相反，所述移动块与所述螺杆螺纹连接，并包裹所述螺杆，所述摆杆的一端与所述移动块转动连接，并位于所述移动块的上方，所述移动杆与所述摆杆转动连接，并位于所述摆杆的另一端。

3、其中，所述定位组件还包括转动轴、辅助杆、转动块和定位辊，所述转动轴与所述移动杆拆卸连接，并贯穿所述连接板，所述辅助杆与所述转动轴拆卸连接，并位于所述转动轴的下方，所述转动块与所述辅助杆转动连接，并位于所述辅助杆的下方，所述定位辊与所述转动块拆卸连接，并位于所述转动块的下方。

4、其中，所述移动部件包括固定板、伸缩杆和安装板，所述伸缩杆与所述连接板拆卸连接，并位于所述连接板的上方，所述固定板与所述伸缩杆拆卸连接，并位于所述伸缩杆的上方，所述安装板与所述固定板固定连接，并位于所述固定板的一侧。

5、其中，所述移动部件还包括气缸一和气缸二，所述气缸一与所述固定板拆卸连接，并位于所述固定板的下方，所述气缸二与所述固定板拆卸连接，并位于所述固定板的下方，且所述气缸一与所述气缸二的输出端均与所述连接板拆卸连接。

6、其中，所述预调节晶圆位置的对准装置还包括定位杆一、定位杆二和定位杆三，所述定位杆一与所述连接板固定连接，并位于所述连接板的下方，所述定位杆二与所述连接板固定连接，并位于所述连接板的下方，所述定位杆三与所述连接板固定连接，并位于所述连接板的下方。

7、本实用新型的一种预调节晶圆位置的对准装置，所述放置板一与所述连接板固定连接，并位于所述连接板的上方，所述放置板二与所述连接板固定连接，并位于所述连接板的上方，所述电机与所述连接板拆卸连接，并位于所述连接板的上方，所述螺杆与所述电机拆卸连接，并贯穿所述放置板一，且所述螺杆两端的螺纹旋向相反，所述移动块与所述螺杆螺纹连接，并包裹所述螺杆，所述摆杆的一端与所述移动块转动连接，并位于所述移动块的上方，所述移动杆与所述摆杆转动连接，并位于所述摆杆的另一端，启动所述电机带动所述螺杆转动，所述螺杆带动两端的移动块移动，使得所述摆杆带动所述移动杆的一端摆动，所述移动杆的另一端带动所述转动轴转动，所述转动轴带动所述辅助杆摆动，从而带动所述定位辊对旋转卡盘上的晶圆进行定位对准，以此方法能够有效解决在对准时过程较为复杂，装置整体的成本较高在实际应用中较为繁琐的问题。

技术特征：

1.一种预调节晶圆位置的对准装置，包括连接板、放置板一和放置板二，所述放置板一与所述连接板固定连接，并位于所述连接板的上方，所述放置板二与所述连接板固定连接，并位于所述连接板的上方，其特征在于，

2.如权利要求1所述的预调节晶圆位置的对准装置，其特征在于，

3.如权利要求1所述的预调节晶圆位置的对准装置，其特征在于，

4.如权利要求3所述的预调节晶圆位置的对准装置，其特征在于，

5.如权利要求1所述的预调节晶圆位置的对准装置，其特征在于，

技术总结
本技术涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种预调节晶圆位置的对准装置，包括连接板、放置板一、放置板二、电机、螺杆、移动块、摆杆和移动杆，电机与连接板拆卸连接，并位于连接板的上方，螺杆与电机拆卸连接，并位于贯穿放置板一，且螺杆两端的螺纹旋向相反，移动块与螺杆螺纹连接，并包裹螺杆，摆杆的一端与移动块转动连接，并位于移动块的上方，移动杆与摆杆转动连接，并位于摆杆的另一端，启动电机带动螺杆转动，螺杆带动移动块移动，使得摆杆的一端带动移动杆移动，从而带动转动轴转动，通过辅助杆带动定位辊移动，定位辊将旋转卡盘上的晶圆对准定位，解决了在对准时过程较为复杂，装置整体的成本较高在实际应用中较为繁琐的问题。

技术研发人员：哈捷,吴志锋
受保护的技术使用者：阿博索伯（苏州）自动化设备科技有限公司
技术研发日：20240318
技术公布日：2025/1/28