一种硅片取放片装置的制作方法

本申请涉及一种取放片装置，尤其涉及一种硅片取放片装置。

背景技术：

1、晶体硅太阳能电池是指以硅为基体材料的太阳能电池。在太阳能电池生产过程中，需要将上一工艺处理后的硅片移载至下一工艺段进行处理，因此，硅片在传动上排列好以后，需要将排列好的硅片通过取料模组搬起，然后将硅片依次放入到载板中，实现硅片至载板的搬运。目前大多采用机械手实现硅片的搬运，机械手一次一般只能夹取一片硅片，搬运效率较低。

技术实现思路

1、本申请实施例提供一种硅片取放片装置，以解决相关技术存在的问题，技术方案如下：

2、一种硅片取放片装置，包括：

3、吸盘模组，包括第一吸盘机构及第二吸盘机构，第一吸盘机构上设置有三列并列的吸盘组件，第二吸盘机构上设置有两列并列的吸盘组件；

4、移栽模组，包括龙门横移机构、第一升降机构及第二升降机构，第一吸盘机构与第一升降机构相连，第二吸盘机构与第二升降机构相连，第一升降机构及第二升降机构均与龙门横移机构相连。

5、在一种实施方式中，还包括视觉定位模组，所述视觉定位模组位于载板放置位的上方，所述视觉定位模组能够对输送至载板放置位的载板进行位置检测。

6、在一种实施方式中，所述视觉定位模组包括多个视觉定位相机，多个视觉定位相机分别位于龙门横移机构的相对的两侧，多个视觉定位相机的拍摄方向朝向载板放置位。

7、在一种实施方式中，硅片取放片装置还包括对位模组，所述对位模组与所述第一升降机构和/或第二升降机构相连，所述对位模组至少包括第一对位机构，所述第一对位机构与所述第一吸盘机构的吸盘组件相连，所述第一对位机构能够调节吸盘组件的位置。

8、在一种实施方式中，所述对位模组还包括第二对位机构，所述第二对位机构与所述第二吸盘机构的吸盘组件相连，所述第二对位机构能够调节第二吸盘机构的吸盘组件的位置。

9、在一种实施方式中，所述第一对位机构及所述第二对位机构均包括x轴对位组件、y轴对位组件及r轴旋转组件，所述x轴对位组件与所述吸盘组件相连，所述r轴旋转组件与x轴对位组件相连，所述y轴对位组件与所述y轴对位组件相连。

10、在一种实施方式中，所述x轴对位组件包括x轴对位座，以及设置于x轴对位座上的x轴驱动气缸、x轴直线导轨及x轴对位板，x轴直线导轨上滑动设置有x轴滑块，x轴驱动气缸与x轴滑块相连，x轴对位板与x轴滑块相连，吸盘组件与x轴对位板相连。

11、在一种实施方式中，所述r轴旋转组件包括r轴调整板及旋转电机，所述r轴调整板与所述x轴对位组件相连，所述旋转电机与所述r轴调整板相连，所述旋转电机带动所述r轴调整板转动。

12、在一种实施方式中，所述y轴对位组件包括y轴对位座及y轴直线模组，y轴直线模组与y轴对位座相连，y轴对位座与r轴旋转组件相连。

13、在一种实施方式中，硅片取放片装置还包括z轴移动组件，所述z轴移动组件与所述第二对位机构的第三个吸盘组件相连，所述z轴移动组件与所述x轴对位座相连。

14、上述技术方案中的优点或有益效果至少包括：

15、本申请在硅片取放片装置上设置有吸盘模组及移载模组，第一吸盘机构上设置有三列并列的吸盘组件，第二吸盘机构上设置有两列并列的吸盘组件。在将硅片移载至载板时，首先将载板移动至载板放置位，然后由龙门横移机构带动移载模组移动至硅片上方，接着由第一升降机构带动第一吸盘机构向下移动吸取硅片，并由第二升降机构带动第二吸盘机构向下移动吸取硅片。在第一吸盘机构及第二吸盘机构吸取硅片后，由龙门横移机构带动吸盘模组移动至载板放置位上方，并把硅片放置于对应位置。由于第一吸盘机构上设置有并列的三列吸盘组件，第二吸盘机构上设置有并列的两列吸盘组件，可以同时吸取多个硅片，实现多个硅片的输送，提高了工作效率。

16、上述概述仅仅是为了说明书的目的，并不意图以任何方式进行限制。除上述描述的示意性的方面、实施方式和特征之外，通过参考附图和以下的详细描述，本申请进一步的方面、实施方式和特征将会是容易明白的。

技术特征：

1.一种硅片取放片装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的硅片取放片装置，其特征在于，还包括视觉定位模组，所述视觉定位模组位于载板放置位的上方，所述视觉定位模组能够对输送至载板放置位的载板进行位置检测。

3.根据权利要求2所述的硅片取放片装置，其特征在于，所述视觉定位模组包括多个视觉定位相机，多个视觉定位相机分别位于龙门横移机构的相对的两侧，多个视觉定位相机的拍摄方向朝向载板放置位。

4.根据权利要求1至3任一项所述的硅片取放片装置，其特征在于，硅片取放片装置还包括对位模组，所述对位模组与所述第一升降机构和/或第二升降机构相连，所述对位模组至少包括第一对位机构，所述第一对位机构与所述第一吸盘机构的吸盘组件相连，所述第一对位机构能够调节吸盘组件的位置。

5.根据权利要求4所述的硅片取放片装置，其特征在于，所述对位模组还包括第二对位机构，所述第二对位机构与所述第二吸盘机构的吸盘组件相连，所述第二对位机构能够调节第二吸盘机构的吸盘组件的位置。

6.根据权利要求5所述的硅片取放片装置，其特征在于，所述第一对位机构及所述第二对位机构均包括x轴对位组件、y轴对位组件及r轴旋转组件，所述x轴对位组件与所述吸盘组件相连，所述r轴旋转组件与x轴对位组件相连，所述y轴对位组件与所述r轴旋转组件相连。

7.根据权利要求6所述的硅片取放片装置，其特征在于，所述x轴对位组件包括x轴对位座，以及设置于x轴对位座上的x轴驱动气缸、x轴直线导轨及x轴对位板，x轴直线导轨上滑动设置有x轴滑块，x轴驱动气缸与x轴滑块相连，x轴对位板与x轴滑块相连，吸盘组件与x轴对位板相连。

8.根据权利要求6所述的硅片取放片装置，其特征在于，所述r轴旋转组件包括r轴调整板及旋转电机，所述r轴调整板与所述x轴对位组件相连，所述旋转电机与所述r轴调整板相连，所述旋转电机带动所述r轴调整板转动。

9.根据权利要求6所述的硅片取放片装置，其特征在于，所述y轴对位组件包括y轴对位座及y轴直线模组，y轴直线模组与y轴对位座相连，y轴对位座与r轴旋转组件相连。

10.根据权利要求7所述的硅片取放片装置，其特征在于，硅片取放片装置还包括z轴移动组件，所述z轴移动组件与所述第二对位机构的第三个吸盘组件相连，所述z轴移动组件与所述x轴对位座相连。

技术总结
本申请提出一种硅片取放片装置，包括：吸盘模组，包括第一吸盘机构及第二吸盘机构，第一吸盘机构上设置有三列并列的吸盘组件，第二吸盘机构上设置有两列并列的吸盘组件；移栽模组，包括龙门横移机构、第一升降机构及第二升降机构，第一吸盘机构与第一升降机构相连，第二吸盘机构与第二升降机构相连，第一升降机构及第二升降机构均与龙门横移机构相连。本申请可以同时吸取多个硅片，实现多个硅片的输送，提高了工作效率。

技术研发人员：徐浩,戴秋喜,潘加永,刘光照
受保护的技术使用者：苏州映真智能科技有限公司
技术研发日：20240320
技术公布日：2025/2/27