一种便捷上样的探针台的制作方法

本技术涉及探针台领域，尤其涉及一种便捷上样的探针台。

背景技术：

1、探针台是半导体生产过程中用于晶圆测试的一种设备，主要完成晶圆测试中探针卡与晶圆的可靠接触、晶圆的固定步距移动、探针台与测试机的信号连接等功能。探针卡是一种用于实现测试机与晶圆的电器连接的部件，探针卡上的探针直接与晶圆上的锡垫或凸块接触，引出电信号，再配合测试机进行测量。探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及元器件的质量测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本随着科技的发展，元器件的体积越来越小，通常将多个元器件集成于晶圆上以形成待测件，方便后续进行检测。随着半导体行业发展，国内外对于探针台需求增加，对探针台性能要求也在提高。如专利号为cn117192342a的中国实用新型专利探针台，包括物料盒、机械臂、预对准组件及测试台，机械臂自物料盒取出的晶圆，并对所承载的晶圆的位置进行校准，从而有效地提升所述探针台的检测效率及检测精准度，机械臂能够相对物料盒沿两个方向移动，预对准组件沿第一方向设置于所述物料盒的一侧，测试台沿第三方向设置于所述机械臂的一侧，从而将所述探针台内部的空间进行充分地运用，使得所述探针台内部排布紧凑，减少所述探针台的整体占用空间，并有效地提升所述探针台的空间利用效率。

2、目前使用中的探针台，在使用时需要操作人员将待检测晶圆片放入检测底座上，检测底座周围安装有其他探针台部件，操作人员放置晶圆片的空间狭小，操作动作受到空间限制，晶圆片难以便捷准备放置在适合的位置，通常需要消耗操作人员大量时间进行晶圆片位置的调整，浪费操作人员时间。

技术实现思路

1、根据以上存在的技术问题，本实用新型提供一种便捷上样的探针台，其特征在于由底座、支撑结构、观察结构、探针结构、载物结构组成，所述底座上方安装支撑结构，所述支撑结构上方安装观察结构，所述底座上方左右两侧安装探针结构，所述底座上方尾部安装载物结构，

2、所述支撑结构由侧支杆a、侧支杆b、横向支杆组成，所述底座上方安装侧支杆a，侧支杆a顶部安装横向支杆，横向支杆另一端下方安装侧支杆b，

3、所述观察结构由滑轨a、滑轨b、调节轴、滑动基座、连接杆、观察镜调整轴、安装臂、观察镜组成，所述滑轨a安装在横向支杆上方，滑轨a侧边安装调节轴，调节轴侧边安装滑轨b，滑轨a和滑轨b外侧放置滑动基座，滑动基座上方安装连接杆，连接杆侧面安装安装臂，安装臂一端上方安装观察镜调整轴，安装臂另一段上方安装观察镜，

4、所述探针结构由探针支架a、探针支架b、探针支座a、探针支座b、探针滑槽a、探针滑槽b、探针座a、探针座b、探针a、探针b组成，底座左侧上方安装探针支架a，探针支架a上方安装探针支座a，探针支座a上方开设探针滑槽a，探针滑槽a内部安装探针座a，探针座a的侧面安装探针a，底座右侧上方安装探针支架b，探针支架b上方安装探针支座b，探针支座b上方开设探针滑槽b，探针滑槽b内部安装探针座b，探针座b的侧面安装探针b，

5、所述载物结构由载物台连接杆a、载物台连接杆b、载物台a、载物台b、载物台支架、环套、固定扣a、固定扣b组成，所述底座尾部上方安装载物台支架，载物台支架外侧安装环套，环套一侧安装载物台连接杆a，载物台连接杆a顶端安装载物台a，环套上与载物台连接杆a相对另一侧安装载物台连接杆b，载物台连接杆b顶端安装载物台b，环套上方安装固定扣a，环套下方安装固定扣b，

6、所述固定扣a、固定扣b均安装在载物台支架侧边，固定扣a外侧设置凹槽，固定扣b外侧设置凸起，固定扣a、固定扣b安装位置相对应，凹槽与凸起大小相对应可扣紧。

7、本实用新型的有益效果：

8、本实用新型一种便捷上样的探针台，在使用中需要更换待检测晶圆片时，可以将新的晶圆片安装在载物台b上，将新的晶圆片调整到适合的位置后再将载物台b由外侧旋转至检测区域，此时载物台a也可以由检测区域旋转到外侧，即可将已经完成检测的晶圆片取下，再更换新的晶圆片。在使用本探针台时，在更换晶圆片时，无需操作人员将手伸入狭窄的检测区域进行更换，将载物台旋转到开阔的外侧区域更换晶圆片，更便于操作人员将晶圆片放置在载物台的适合位置，还能减少由于区域狭小更换晶圆片更换造成的设计浪费。

技术特征：

1.一种便捷上样的探针台，其特征在于由底座、支撑结构、观察结构、探针结构、载物结构组成，所述底座上方安装支撑结构，所述支撑结构上方安装观察结构，所述底座上方左右两侧安装探针结构，所述底座上方尾部安装载物结构，所述载物结构由载物台连接杆a、载物台连接杆b、载物台a、载物台b、载物台支架、环套、固定扣a、固定扣b组成，所述底座上方尾部安装载物台支架，所述载物台支架外侧安装环套，所述环套一侧安装载物台连接杆a，所述载物台连接杆a顶端安装载物台a，所述环套另一侧安装载物台连接杆b，所述载物台连接杆b顶端安装载物台b，所述环套上方安装固定扣a，所述环套下方安装固定扣b。

2.根据权利要求1所述的一种便捷上样的探针台，其特征在于所述支撑结构由侧支杆a、侧支杆b、横向支杆组成，所述底座上方安装侧支杆a，所述侧支杆a顶部安装横向支杆，所述横向支杆另一端下方安装侧支杆b。

3.根据权利要求1所述的一种便捷上样的探针台，所述探针结构由探针支架a、探针支架b、探针支座a、探针支座b、探针滑槽a、探针滑槽b、探针座a、探针座b、探针a、探针b组成，所述底座左侧上方安装探针支架a，所述探针支架a上方安装探针支座a，所述探针支座a上方开设探针滑槽a，所述探针滑槽a内部安装探针座a，所述探针座a的侧面安装探针a，所述底座右侧上方安装探针支架b，所述探针支架b上方安装探针支座b，所述探针支座b上方开设探针滑槽b，所述探针滑槽b内部安装探针座b，所述探针座b侧面安装探针b。

4.根据权利要求2所述的一种便捷上样的探针台，所述观察结构由滑轨a、滑轨b、调节轴、滑动基座、连接杆、观察镜调整轴、安装臂、观察镜组成，

5.根据权利要求1所述的一种便捷上样的探针台，其特征在于所述固定扣a、固定扣b均安装在载物台支架侧边，所述固定扣a外侧设置凹槽，所述固定扣b外侧设置凸起，所述固定扣a、固定扣b安装位置相对应，凹槽与凸起大小相对应可扣紧。

技术总结
一种便捷上样的探针台，在使用中需要更换待检测晶圆片时，可以将新的晶圆片安装在载物台B上，将新的晶圆片调整到适合的位置后再将载物台B由外侧旋转至检测区域，此时载物台A也可以由检测区域旋转到外侧，即可将已经完成检测的晶圆片取下，再更换新的晶圆片。在使用本探针台时，在更换晶圆片时，无需操作人员将手伸入狭窄的检测区域进行更换，将载物台旋转到开阔的外侧区域更换晶圆片，更便于操作人员将晶圆片放置在载物台的适合位置，还能减少由于区域狭小更换晶圆片更换造成的设计浪费。

技术研发人员：田瑞杰
受保护的技术使用者：天津市中科信达科技有限公司
技术研发日：20240424
技术公布日：2025/3/18