一种晶圆映射机构的制作方法

本技术涉及半导体检测，尤其涉及一种晶圆映射机构。

背景技术：

1、半导体生产时需要对晶圆进行处理，对晶圆处理时需要对晶圆进行晶圆映射。晶圆映射是指通过传感器检测晶圆盒中各层的状态，以此作为晶圆机器人在取放晶圆时的依据。同时，它也用于检测晶圆盒内晶圆是否存在安置异常的问题，以便进行相应的提示处理或处理措施。实现晶圆映射功能需要对应的晶圆检测系统对晶圆卡匣内部的晶圆存储情况进行检测。

2、现有技术中常见的晶圆映射方式为机械手臂前端对射，从晶圆两侧进行晶圆映射，以此方式存在机械手臂距离晶圆较近，容易刮蹭晶圆的风险。且现有技术中的晶圆映射设备需人工操作，难以自动化进行晶圆映射，使用复杂。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种晶圆映射机构，以避免进行晶圆检测时剐蹭晶圆同时放置晶圆容器后自动完成晶圆映射，更加方便快捷。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、一种晶圆映射机构，其特征在于，包括：

4、机架；

5、上托板，设于机架上，用于承载晶圆容器；

6、在位检测组件，设于上托板，用于检测上托板上是否放置有晶圆容器，沿晶圆容器的高度方向间隔放置有多个晶圆；

7、反射传感器，用于对晶圆的位置进行检测；

8、驱动机构，反射传感器连接于驱动机构的输出端，驱动机构与在位检测组件通讯连接，且能够带动反射传感器沿晶圆容器的高度方向移动，以对晶圆容器中不同位置的多个晶圆进行检测。

9、作为优选地，晶圆映射机构还包括对射传感器与光栅齿条，对射传感器能随反射传感器一起移动，光栅齿条与对射传感器相对设置，以通过对射传感器对反射传感器的位置进行检测。

10、作为优选地，驱动机构包括无杆气缸，无杆气缸设于上托板的下方，无杆气缸包括滑块，滑块能沿晶圆容器的高度方向移动，反射传感器通过连接杆与滑块连接。

11、作为优选地，滑块上设置有传感器固定板，对射传感器固定于传感器固定板。

12、作为优选地，上托板设置有用以使反射传感器通过的避让槽。

13、作为优选地，晶圆映射机构还包括下托板，下托板设于机架远离上托板的一端无杆气缸与光栅齿条均位于所上托板与下托板之间。

14、作为优选地，在位检测组件包括按压组件和感应器，感应器设于按压组件的一端，晶圆容器能驱动按压组件与感应器抵接，以使感应器发送感应信号。

15、作为优选地，在位检测组件还包括设置于上托板下方的固定架，按压组件包括按压杆和套设于按压杆外的弹簧，固定架包括固定板，按压杆穿设于固定板，且通过弹簧支撑于固定板，弹簧能使按压杆弹性伸出上托板；感应器设于固定板的下方，晶圆容器能驱动按压杆缩回下托板的下方，使得按压杆与感应器抵接。

16、作为优选地，上托板设置有用以放置晶圆容器的晶圆容器放置位。

17、作为优选地，晶圆容器放置位设置有限位组件，限位组件用以限制晶圆容器的放置位置。

18、本实用新型的有益效果：

19、本实用新型提供的晶圆映射机构，通过使用反射传感器对晶圆进行映射，反射传感器可以与晶圆间隔设置，从而避免剐蹭晶圆；同时设置有在位检测组件及驱动机构，使得晶圆容器放置到位后在位检测组件进行检测并发出信号，使驱动机构带动设置于驱动机构上的反射传感器沿晶圆容器高度方向进行移动，对晶圆进行检测完成晶圆映射，即可在晶圆容器放置后自动完成晶圆映射，减少人工操作，更加方便快捷。

技术特征：

1.一种晶圆映射机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆映射机构，其特征在于，所述晶圆映射机构还包括对射传感器（50）与光栅齿条（52），所述对射传感器（50）能随所述反射传感器（60）一起移动，所述光栅齿条（52）与所述对射传感器（50）相对设置，以通过所述对射传感器（50）对所述反射传感器（60）的位置进行检测。

3.根据权利要求2所述的晶圆映射机构，其特征在于，所述驱动机构（40）包括无杆气缸，所述无杆气缸设于所述上托板（11）的下方，所述无杆气缸包括滑块，所述滑块能沿所述晶圆容器（20）的高度方向移动，所述反射传感器（60）通过连接杆与所述滑块连接。

4.根据权利要求3所述的晶圆映射机构，其特征在于，所述滑块上设置有传感器固定板（51），所述对射传感器（50）固定于所述传感器固定板（51）。

5.根据权利要求3所述的晶圆映射机构，其特征在于，所述上托板（11）设置有用以使所述反射传感器（60）通过的避让槽（112）。

6.根据权利要求3所述的晶圆映射机构，其特征在于，所述晶圆映射机构还包括下托板（12），所述下托板（12）设于所述机架（10）远离所述上托板（11）的一端，所述无杆气缸与所述光栅齿条（52）均位于所述上托板（11）与所述下托板（12）之间。

7.根据权利要求1-6任一项所述的晶圆映射机构，其特征在于，所述在位检测组件（30）包括按压组件和感应器（304），所述感应器（304）设于所述按压组件的一端，所述晶圆容器（20）能驱动所述按压组件与所述感应器（304）抵接，以使所述感应器（304）发送感应信号。

8.根据权利要求7所述的晶圆映射机构，其特征在于，所述在位检测组件（30）还包括设置于所述上托板（11）下方的固定架（303），所述按压组件包括按压杆（301）和套设于所述按压杆（301）外的弹簧（302），所述固定架（303）包括固定板（3032），所述按压杆（301）穿设于所述固定板（3032），且通过所述弹簧（302）支撑于所述固定板（3032），所述弹簧（302）能使所述按压杆（301）弹性伸出所述上托板（11）；所述感应器（304）设于所述固定板（3032）的下方，所述晶圆容器（20）能驱动所述按压杆（301）缩回至所述上托板（11）的下方，使得所述按压杆（301）与所述感应器（304）抵接。

9.根据权利要求1-6任一项所述的晶圆映射机构，其特征在于，所述上托板（11）设置有用以放置所述晶圆容器（20）的晶圆容器放置位。

10.根据权利要求9所述的晶圆映射机构，其特征在于，所述晶圆容器放置位设置有限位组件（111），所述限位组件（111）用以限制所述晶圆容器（20）的放置位置。

技术总结
本技术属于半导体检测技术领域，公开了一种晶圆映射机构。该晶圆映射机构包括机架、上托板、在位检测组件、反射传感器与驱动机构。上托板设于机架，在位检测组件设于上托板，驱动机构在在位检测组件检测到晶圆容器放置于上托板后，带动位于驱动机构输出端的反射传感器沿晶圆容器高度方向移动进行晶圆检测。该晶圆映射机构能够通过使用反射传感器进行晶圆映射，反射传感器可以与晶圆间隔设置，从而避免剐蹭晶圆；同时通过设置在位检测组件及驱动机构，使驱动机构在在位检测组件检测到晶圆容器放置后，带动反射传感器沿晶圆容器高度方向移动，对晶圆进行检测完成晶圆映射，即可在晶圆容器放置后自动完成晶圆映射，减少人工操作，更加方便快捷。

技术研发人员：孔彬,相宇阳,戴金方
受保护的技术使用者：无锡卓海科技股份有限公司
技术研发日：20240506
技术公布日：2024/12/23