一种晶圆盒自动开合装置的制作方法

本技术涉及晶圆传输，尤其是指一种晶圆盒自动开合装置。

背景技术：

1、晶圆盒是用于在晶圆转运过程暂存晶圆，并维持其密闭状态的存储设备。晶圆盒通常包括侧开口的盒体以及可密闭覆盖侧开口的盒盖，并且盒盖可完全脱离盒体。

2、目前常用的为前开式晶圆盒，通常，在晶圆工艺设备前方设置有晶圆盒的装载开盒机构，然后通过后续工序实现晶圆的取放。

3、在现有设备中，装载开盒机构一侧通常设置有存储工位，用于存放待处理的晶圆盒，然而，常规的装载开盒机构的动力结构都放置在存储工位一侧，导致占据空间，造成存储工位的减少；并且，有的装置采用人工方式取放盒盖，导致晶圆传输速度慢，影响晶圆装载精度，降低晶圆加工质量。

技术实现思路

1、本实用新型针对现有技术的不足，提供一种晶圆盒自动开合装置，腾出其他加工装置对晶圆盒内晶圆的操作空间，防止开合驱动机构挤压晶圆盒的放置空间，提高空间利用率；自动夹取盒盖，提高晶圆传输的精度和效率，提升晶圆加工质量。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

3、本实用新型提供一种晶圆盒自动开合装置，包括安装架和开合机构，所述开合机构用于夹取晶圆盒开口处的盒盖，所述安装架连接有用于驱动开合机构移动的开合驱动机构，所述开合驱动机构与开合机构驱动连接并带动开合机构靠近或远离晶圆盒的开口端；

4、所述开合机构包括开合板以及夹取部件，所述开合板与开合驱动机构的输出端连接，所述夹取部件安装于开合板，所述开合驱动机构带动开合板前后移动和上下移动，以使夹取部件靠近或远离晶圆盒的开口端。

5、其中，所述开合驱动机构包括纵向模组和水平模组，所述纵向模组安装于安装架，所述水平模组安装于纵向模组的输出端，所述开合板与水平模组的输出端连接，所述水平模组用于带动开合机构前后移动靠近或远离晶圆盒，所述纵向模组设置于开合机构的下方或上方，所述纵向模组用于带动开合板向上或向下移动以腾出对晶圆盒的操作空间。

6、其中，所述夹取部件包括夹取体和吸附通道，所述夹取体的数量为多个，所述夹取体安装于开合板，所述夹取体的一端与晶圆盒的开口端对应，所述吸附通道设置于开合板靠近晶圆盒开口端的一侧。

7、其中，所述吸附通道内安装有吸盘。

8、其中，所述夹取体转动连接于开合板，所述夹取体连接有移动架，所述移动架移动时带动夹取体转动。

9、其中，所述移动架设置有导槽，所述夹取体包括定位杆和摆杆，所述定位杆与摆杆连接，所述定位杆的一端与晶圆盒的开口端对应，所述摆杆转动连接于开合板，所述摆杆的外端与导槽配合，所述移动架移动时带动摆杆的外端在导槽内滑动从而使得定位杆转动。

10、其中，所述移动架与开合板之间设置有容置空间，所述开合板安装有与移动架驱动连接的驱动气缸，所述驱动气缸位于容置空间内，所述驱动气缸带动移动架移动从而带动定位杆转动。

11、本实用新型的有益效果：

12、本实用新型通过开合驱动机构驱动开合机构和盒盖远离晶圆盒并使得开合机构向下移动，有效腾出其他加工装置对晶圆盒内晶圆的操作空间，防止开合驱动机构挤压晶圆盒的放置空间，增大晶圆盒的储存工位，提高空间利用率；自动夹取盒盖，提高晶圆传输的精度和效率，提升晶圆加工质量。

技术特征：

1.一种晶圆盒自动开合装置，其特征在于，包括安装架(1)和开合机构(2)，所述开合机构(2)用于夹取晶圆盒(01)开口处的盒盖(02)，所述安装架(1)连接有用于驱动开合机构(2)移动的开合驱动机构(3)，所述开合驱动机构(3)与开合机构(2)驱动连接并带动开合机构(2)靠近或远离晶圆盒(01)的开口端；

2.根据权利要求1所述的晶圆盒自动开合装置，其特征在于，所述开合驱动机构(3)包括纵向模组(31)和水平模组(32)，所述纵向模组(31)安装于安装架(1)，所述水平模组(32)安装于纵向模组(31)的输出端，所述开合板(21)与水平模组(32)的输出端连接，所述水平模组(32)用于带动开合板(21)前后移动靠近或远离晶圆盒(01)，所述纵向模组(31)设置于开合机构(2)的下方或上方，所述纵向模组(31)用于带动开合板(21)向上或向下移动以腾出对晶圆盒(01)的操作空间。

3.根据权利要求1所述的晶圆盒自动开合装置，其特征在于，所述夹取部件(22)包括夹取体(221)和吸附通道(222)，所述夹取体(221)的数量为多个，所述夹取体(221)安装于开合板(21)，所述夹取体(221)的一端与晶圆盒(01)的开口端对应，所述吸附通道(222)设置于开合板(21)靠近晶圆盒(01)开口端的一侧。

4.根据权利要求3所述的晶圆盒自动开合装置，其特征在于，所述吸附通道(222)内安装有吸盘(2221)。

5.根据权利要求3所述的晶圆盒自动开合装置，其特征在于，所述夹取体(221)转动连接于开合板(21)，所述夹取体(221)连接有移动架(23)，所述移动架(23)移动时带动夹取体(221)转动。

6.根据权利要求5所述的晶圆盒自动开合装置，其特征在于，所述移动架(23)设置有导槽(231)，所述夹取体(221)包括定位杆(2211)和摆杆(2212)，所述定位杆(2211)与摆杆(2212)连接，所述定位杆(2211)的一端与晶圆盒(01)的开口端对应，所述摆杆(2212)转动连接于开合板(21)，所述摆杆(2212)的外端与导槽(231)配合，所述移动架(23)移动时带动摆杆(2212)的外端在导槽(231)内滑动从而使得定位杆(2211)转动。

7.根据权利要求6所述的晶圆盒自动开合装置，其特征在于，所述移动架(23)与开合板(21)之间设置有容置空间(24)，所述开合板(21)安装有与移动架(23)驱动连接的驱动气缸(25)，所述驱动气缸(25)位于容置空间(24)内，所述驱动气缸(25)带动移动架(23)移动从而带动定位杆(2211)转动。

技术总结
本技术涉及晶圆传输技术领域，尤其是指一种晶圆盒自动开合装置，包括安装架、开合机构以及开合驱动机构，所述开合机构包括开合板以及夹取部件，所述开合板与开合驱动机构的输出端连接，所述夹取部件安装于开合板，所述开合驱动机构带动开合板前后移动和上下移动，以使夹取部件靠近或远离晶圆盒的开口端。本技术能够腾出其他加工装置对晶圆盒内晶圆的操作空间，防止开合驱动机构挤压晶圆盒的放置空间，增大晶圆盒的储存工位，提高空间利用率，自动夹取盒盖，提高晶圆传输的精度和效率，提升晶圆加工质量。

技术研发人员：何升学,吴沃祖,周太君,李毅
受保护的技术使用者：上海大族富创得科技股份有限公司
技术研发日：20240517
技术公布日：2025/1/16