生产设备的制作方法

本申请涉及半导体，具体涉及一种生产设备。

背景技术：

1、观察窗用于观察工作腔室的实时状态，以监测作业进程。然而，装配观察窗容易受到加工误差和安装误差的影响，导致用于固定的金属结构局部过度挤压观察窗玻璃，造成观察窗玻璃破损，观察窗结构难以保证装配完整性。

技术实现思路

1、本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本申请提出一种生产设备，能够有效保证透明件的可靠装配，降低装配损失。

2、根据本申请实施例的生产设备，包括安装架、设备主体、透明件、第一缓冲件、第二缓冲件和密封件；沿第一方向，安装架设有第一通孔；设备主体设有工作腔室和第二通孔，第二通孔沿第一方向延伸，第二通孔连通工作腔室，设备主体与安装架连接，沿第一方向，第二通孔位于第一通孔的一侧；沿第一方向，透明件位于安装架靠近设备主体的一侧，且透明件遮盖第一通孔和第二通孔；沿第一方向，第二缓冲件和密封件的一侧抵接于透明件，第二缓冲件和密封件的另一侧抵接于设备主体，第一缓冲件抵接于透明件背离第二缓冲件和密封件的一侧；

3、其中，第一缓冲件环绕第一通孔的外周缘分布，第二缓冲件和密封件均环绕第二通孔的外周缘分布，且第二缓冲件环绕密封件的内周壁或外周壁分布。

4、根据本申请实施例的生产设备，至少具有如下有益效果：沿第一方向，第一缓冲件在透明件的一侧提供缓冲，用于避免透明件直接被安装架挤压而破损，第二缓冲件和密封件均位于透明件的另一侧，用于在透明件与设备主体之间提供缓冲，同时，密封件还能够密封透明件与安装架之间的间隔，保证工作腔室的密封性。由此，沿第一方向，透明件的两侧均设有缓冲结构，且第一缓冲件环绕第一通孔的外周缘分布，第二缓冲件和密封件环绕第二通孔的外周缘分布，实现对观察视野的避让，在保证用户观察视野的基础上，有效降低了透明件装配破损的风险，便于更可靠地装配透明件。

5、根据本申请的一些实施例，生产设备还包括第三缓冲件，沿第一方向，第三缓冲件的一侧抵接透明件，第三缓冲件的另一侧抵接设备主体，第三缓冲件环绕密封件的外周壁分布，密封件环绕第二缓冲件的外周壁分布。

6、根据本申请的一些实施例，安装架设有第一凸起，第一凸起和第一缓冲件均位于第一通孔内，且沿第一方向，第一缓冲件背离透明件的一侧抵接第一凸起。

7、根据本申请的一些实施例，透明件的至少一部分位于第一通孔内。

8、根据本申请的一些实施例，生产设备还包括第四缓冲件，透明件的至少一部分位于第一通孔内，第四缓冲件环绕透明件的外周壁，第四缓冲件的一侧抵接透明件的外周壁，第四缓冲件的另一侧抵接第一通孔的侧壁。

9、根据本申请的一些实施例，生产设备还包括过滤件，沿第一方向，过滤件位于透明件背离密封件的一侧，并与安装架连接，且过滤件遮盖第一通孔。

10、根据本申请的一些实施例，沿第一方向，过滤件的一侧抵接安装架，过滤件的另一侧抵接第一缓冲件。

11、根据本申请的一些实施例，生产设备还包括盖体，盖体与安装架连接，沿第一方向，盖体位于安装架背离透明件的一侧，且盖体遮盖第一通孔。

12、根据本申请的一些实施例，设备主体设有定位槽，密封件的一部分置于定位槽内。

13、根据本申请的一些实施例，设备主体设有第二凸起，第二凸起位于第二通孔内，沿第一方向，安装架与第二凸起连接，第二缓冲件和密封件背离透明件的一侧抵接第二凸起。

14、本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

技术特征：

1.一种生产设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的生产设备，其特征在于，所述生产设备还包括第三缓冲件，沿所述第一方向，所述第三缓冲件的一侧抵接所述透明件，所述第三缓冲件的另一侧抵接所述设备主体，所述第三缓冲件环绕所述密封件的外周壁分布，所述密封件环绕所述第二缓冲件的外周壁分布。

3.根据权利要求1所述的生产设备，其特征在于，所述安装架设有第一凸起，所述第一凸起和所述第一缓冲件均位于所述第一通孔内，且沿所述第一方向，所述第一缓冲件背离所述透明件的一侧抵接所述第一凸起。

4.根据权利要求3所述的生产设备，其特征在于，所述透明件的至少一部分位于所述第一通孔内。

5.根据权利要求1所述的生产设备，其特征在于，所述生产设备还包括第四缓冲件，所述透明件的至少一部分位于所述第一通孔内，所述第四缓冲件环绕所述透明件的外周壁，所述第四缓冲件的一侧抵接所述透明件的外周壁，所述第四缓冲件的另一侧抵接所述第一通孔的侧壁。

6.根据权利要求1所述的生产设备，其特征在于，所述生产设备还包括过滤件，沿所述第一方向，所述过滤件位于所述透明件背离所述密封件的一侧，并与所述安装架连接，且所述过滤件遮盖所述第一通孔。

7.根据权利要求6所述的生产设备，其特征在于，沿所述第一方向，所述过滤件的一侧抵接所述安装架，所述过滤件的另一侧抵接所述第一缓冲件。

8.根据权利要求1所述的生产设备，其特征在于，所述生产设备还包括盖体，所述盖体与所述安装架连接，沿所述第一方向，所述盖体位于所述安装架背离所述透明件的一侧，且所述盖体遮盖所述第一通孔。

9.根据权利要求1所述的生产设备，其特征在于，所述设备主体设有定位槽，所述密封件的一部分置于所述定位槽内。

10.根据权利要求1所述的生产设备，其特征在于，所述设备主体设有第二凸起，所述第二凸起位于所述第二通孔内，沿所述第一方向，所述安装架与所述第二凸起连接，所述第二缓冲件和所述密封件背离所述透明件的一侧抵接所述第二凸起。

技术总结
本申请提出了一种生产设备，包括安装架、设备主体、透明件、第一缓冲件、第二缓冲件和密封件，沿第一方向，安装架设有第一通孔，设备主体设有工作腔室和第二通孔，第二通孔连通工作腔室，设备主体与安装架连接，第二通孔位于第一通孔的一侧，透明件位于安装架靠近设备主体的一侧，且透明件遮盖第一通孔和第二通孔，第二缓冲件和密封件的一侧抵接于透明件，第二缓冲件和密封件的另一侧抵接于设备主体，第一缓冲件抵接于透明件背离第二缓冲件和密封件的一侧。第一缓冲件环绕第一通孔的外周缘分布，第二缓冲件和密封件均环绕第二通孔的外周缘分布，且第二缓冲件环绕密封件的内周壁或外周壁分布。本申请的生产设备有益于保证透明件装配的可靠性。

技术研发人员：张亮,李永杰,龚文志,邵寿潜,张晓军
受保护的技术使用者：深圳市矩阵多元科技有限公司
技术研发日：20240614
技术公布日：2025/3/31