一种半自动划片机放取工件保护门的制作方法

本技术涉及晶圆划片机领域，特别涉及一种半自动划片机放取工件保护门。

背景技术：

1、晶圆划片机，又称为划片机，是用于将半导体晶圆切割成小尺寸芯片的关键设备。在制造过程中，它通过高速旋转的金刚石刀片对晶圆上的芯片进行切削和加工，将大尺寸的晶圆切割成小尺寸的芯片。这些芯片经过切割后，就能从晶圆上分离出来，进一步用于制造各种电子产品，如手机和计算机芯片等。

2、由于划片机的半自动型号需要操作员手动装取工件，因此需要使用合适的保护门。

3、现有的保护门打开和关闭较为不便，因为保护门普遍体积较大，操作人员需要在装取工件时避让保护门，且保护门未配置门锁，容易引起安全事故。

技术实现思路

1、为了解决上述问题，本实用新型提供一种方便实用的半自动划片机放取工件保护门。

2、本实用新型中的一种半自动划片机放取工件保护门，包括放取工件保护门和放取工件保护门门锁，所述放取工件保护门和放取工件保护门门锁连接，所述放取工件保护门门锁包括门锁底座、门锁气缸、门锁锁芯和传感器，所述门锁底座与门锁气缸连接，所述门锁气缸上连接有门锁锁芯，所述门锁底座下设有传感器，所述放取工件保护门上设有放取工件保护门锁扣。

3、上述方案中，所述放取工件保护门为折叠式放取工件保护门，所述放取工件保护门包括折叠机构和单门，所述单门设于上方，放取工件保护门关闭时折叠机构放在台面上，放取工件保护门打开时折叠机构折叠垂于台面下。

4、上述方案中，所述放取工件保护门锁扣为l型放取工件保护门锁扣，所述l型放取工件保护门锁扣的一边设有两个定位孔，通过定位孔固定在放取工件保护门上，所述l型放取工件保护门锁扣的另一边设有通孔，关闭放取工件保护门时所述门锁锁芯穿过通孔与放取工件保护门连接。

5、上述方案中，所述放取工件保护门门锁外设有保护壳。

6、上述方案中，所述折叠机构上设有拉手用于打开和关闭放取工件保护门。

7、上述方案中，所述单门上设有拉手用于打开和关闭放取工件保护门。

8、本实用新型的优点和有益效果在于：本实用新型提供一种方便实用的半自动划片机放取工件保护门。为了便于放取工件，保护门设计有折叠机构，打开时可以折叠，为操作员提供更多空间，而且保护门设计有门锁，防止误开。

技术特征：

1.一种半自动划片机放取工件保护门，其特征在于，包括放取工件保护门和放取工件保护门门锁，所述放取工件保护门和放取工件保护门门锁连接，所述放取工件保护门门锁包括门锁底座、门锁气缸、门锁锁芯和传感器，所述门锁底座与门锁气缸连接，所述门锁气缸上连接有门锁锁芯，所述门锁底座下设有传感器，所述放取工件保护门上设有放取工件保护门锁扣。

2.根据权利要求1所述的一种半自动划片机放取工件保护门，其特征在于，所述放取工件保护门为折叠式放取工件保护门，所述放取工件保护门包括折叠机构和单门，所述单门设于上方，放取工件保护门关闭时折叠机构放在台面上，放取工件保护门打开时折叠机构折叠垂于台面下。

3.根据权利要求2所述的一种半自动划片机放取工件保护门，其特征在于，所述放取工件保护门锁扣为l型放取工件保护门锁扣，所述l型放取工件保护门锁扣的一边设有两个定位孔，通过定位孔固定在放取工件保护门上，所述l型放取工件保护门锁扣的另一边设有通孔，关闭放取工件保护门时所述门锁锁芯穿过通孔与放取工件保护门连接。

4.根据权利要求2所述的一种半自动划片机放取工件保护门，其特征在于，所述放取工件保护门门锁外设有保护壳。

5.根据权利要求2所述一种半自动划片机放取工件保护门，其特征在于，所述折叠机构上设有拉手用于打开和关闭放取工件保护门。

6.根据权利要求2所述一种半自动划片机放取工件保护门，其特征在于，所述单门上设有拉手用于打开和关闭放取工件保护门。

技术总结
本技术公开了一种半自动划片机放取工件保护门，包括放取工件保护门和放取工件保护门门锁，放取工件保护门和放取工件保护门门锁连接，放取工件保护门门锁包括门锁底座、门锁气缸、门锁锁芯和传感器，门锁底座与门锁气缸连接，门锁气缸上连接有门锁锁芯，门锁底座下设有传感器，放取工件保护门上设有放取工件保护门锁扣。采用上述技术方案制成了一种方便实用的半自动划片机放取工件保护门。为了便于放取工件，保护门设计有折叠机构，打开时可以折叠，为操作员提供更多空间，而且保护门设计有门锁，防止误开。

技术研发人员：姜道明,孙铁彬,蔡晨晨
受保护的技术使用者：上海倍弗仑半导体设备有限公司
技术研发日：20240702
技术公布日：2025/4/14