专利名称：具有对准标记的半导体器件的制造方法
技术领域：
本发明涉及在各类电子仪器上装载的存储器、光电转换装置、信号处理装置等半导体器件的制造方法，特别涉及具有对准标记结构特征的半导体器件的制造方法。
在已有的半导体器件中，在对布线层进行刻制图形时，把预先设置在预定位置的凹陷部位作为标记进行自动掩模套合(自动对准)，来提高刻图的精度。例如，具有CMOS晶体管的已有半导体器件，在衬底1主面预定位置的氧化膜2、4上通过选择性腐蚀除去一部分氧化膜，使Si表面露出后，在包括该部分即主标记部位6的整个衬底主面上，覆盖金属膜9，以便在该金属膜上部形成相应于该主标记部位6形状的凹陷部位10。对于如
图1所示形成的凹陷处，用激光照射，且利用检测其反射信号所得到的检测数据，或者用TV-AA(电视自动对准)等图象处理方法的数据处理，作自动掩模套合，以此对上述金属膜进行刻图，形成所要求图形的布线图。
然而，象这样公知的半导体器件，利用如W的CVD等金属膜沉积技术，使上述金属膜成膜时，作为布线层若要得到必须的膜厚，则依据该技术特点的选择生长性，在用于自动掩模套合的对准标记的主标记部位及其周围沉积的所有面的金属膜被整平了。由于没有形成对应于上述主标记部位的凹陷，因而产生如下的缺陷，难以确认自动掩模套合所必要的主标记的位置，致使掩模套合精度显著降低。
图2为利用W的CVD法的选择沉积方式形成布线的情况。由于在主标记6上由W构成的金属膜填在绝缘膜4上面，所以把作为下一工序的对准标记的部位10整平了。
本发明之目的在于，为了解决上述技术问题，提供易于确认的掩模套合的标记位置，可更高密度布线的半导体器件及其制造方法，以及对准方法。
本发明的另外目的在于，提供通过绝缘膜在导电性基底表面上形成导电薄膜的半导体器件的制造方法，其特征在于，上述方法包括在前述绝缘膜上至少形成二个露出前述基底表面的开孔的步骤;在前述开孔中有选择地沉积导电材料，在前述开孔内至少形成一个台阶差部位的步骤;以及至少在前述绝缘膜上形成上述导电性薄膜的步骤，并且利用前述台阶差部位进行对准。
对于本发明，由于使用新CVD法的选择金属沉积技术，在导电体薄膜上准确地形成相应于作为用于掩模套合标记的台阶差的形状部分，当刻制布线层图形时，利用自动对准可在衬底表面如实地形成光致抗蚀(保护)图形。
本发明进一步之目的在于，提供通过绝缘膜在导电性基底表面上形成导电性薄膜的半导体器件的制造方法，其特征在于，上述方法包括在上述绝缘膜上形成露出前述基底表面的开孔的工艺步骤，在前述绝缘膜上形成未露出前述基底表面的台阶差部位的工艺步骤;在前述开孔内，选择沉积导电材料的工艺步骤，以及至少在前述绝缘膜上形成前述导电性薄膜的工艺步骤，并且利用前述台阶差进行对准。
在本发明中，由于应用新CVD法的选择金属沉积技术，所以只在露出导电性基底表面的开孔内有选择地沉积导电材料，形成导电体。在该导电体上以及在基底表面的绝缘膜上形成了台阶差部位上面，采用非选择性沉积法形成导电层，在由此所得到的导电体层上可形成对应于台阶差部位的形状。将上述部位作为掩模套合的标记，以此在对导电体层进行刻图时，利用自动对准，可准确地形成理想的布线图形。
图1是用于说明已有技术对准标记形成法的示意图。
图2为利用W的CVD法的选择沉积方式形成布线的情况。
图3是说明根据本发明实施例1对准标记形成方法的示意图。
图4是说明实施例1半导体器件的制造方法示意图。
图5是说明实施例2对准标记形成方法的示意图。
图6是说明实施例3对准标记形成方法的示意图。
图7为说明实施例3半导体器件的制造方法示意图。
图8为说明实施例4对准标记形成方法的示意图。
图9为说明实施例4半导体器件的制造方法示意图。
图10为说明本发明实施例5半导体器件对准标记形成方法的示意图。
图11为说明实施例5半导体器件的制造方法示意图。
图12～图15表示适用于本发明制造半导体器件方法适当的制造装置的一个例子。
图16是说明本发明半导体器件的制造方法所形成布线层情况的剖切透视图。
本发明包括半导体器件的制造方法以及对准方法。比如本发明通过绝缘膜在导电性基底表面上，形成导电薄膜的半导体器件的对准方法，其特征在于该方法包括至少形成二个在前述绝缘膜上露出基底表面的开孔的步骤;在前述开孔内选择沉积导电材料，填入二个开孔内，在前述开孔中至少一个形成台阶差部位的步骤;以及至少在前述绝缘膜上形成前述导电性薄膜的步骤，并且利用前述台阶差部位进行对准，将前述导电性薄膜刻成图形。
并且，本发明涉及具有通过绝缘膜在导电性基底表面上设置的布线层的半导体器件的制造方法，其工序包括至少形成二个在前述绝缘膜露出前述基底表面的开孔的步骤;在前述开孔内有选择地沉积导电材料，在前述开孔中至少有一个形成对准标记的台阶差部位的步骤;以及为在前述绝缘膜上构成前述布线层而形成导电性薄膜的步骤，并且利用前述台阶部位作为对准标记进行掩模套合，将前述导电性薄膜刻成图形，形成前述布线层。
本发明还涉及通过绝缘膜在导电性基底表面上形成导电性薄膜的半导体器件的对准方法，其工序包括在前述绝缘膜上形成露出前述基底表面的开孔的步骤;在前述绝缘膜上形成不露出前述基底表面的台阶差部位的步骤;在前述开孔内，有选择地沉积导电性材料的步骤;以及至少在前述绝缘膜上形成前述导电薄膜的步骤，并且利用前述台阶差部位进行对准。
本发明涉及具有通过绝缘膜在导电性基底表面上设置的布线层的半导体器件的制造方法，其工序包括在前述绝缘膜上形成露出前述基底表面的开孔的步骤;在前述绝缘膜上形成不露出前述基底表面的台阶差部分的步骤;在前述开孔内有选择地沉积导电材料的步骤;以及为在前述绝缘膜上构成前述布线层而形成导电性薄膜的步骤，并且使用前述台阶差部位作为对准标记进行掩模套合，将前述导电薄膜刻成图形，形成前述布线层。
实施本发明时，作为对准标记的台阶差的形状和平面形状无特别限制。进行对准时，为得到标记的检测信号，最好有足够的台阶差。该台阶差理想的是400 以上，最好为500 以上。
在作为布线的接触孔内，埋入金属的方法，以使用氢化烷基铝和氢气的以铝为主要成分的金属膜的选择沉积法最为合适。
实施例1下面参照附图对本发明进行详细说明。
图3表示作为本发明理想实施范例的半导体器件。在图3，标号1是由包括MOS晶体管、双极晶体管等功能元件由硅构成的半导体衬底。该半导体衬底1的主面上依次形成热氧化膜2和层间绝缘膜4。在这些氧化膜2及绝缘膜4的预定位置上分别形成作为接触孔5的开孔和作为对准的主标记部位6的台阶差部位。在该实施范例中，接触孔5和主标记6有同样的平面面积。在接触孔5的底面，从其底面到半导体衬底1的内部设置扩散层3。
在上述接触孔5和主标记部位6的各自内部，利用以后详细说明的特别CVD法，选择沉积A1等导电材料，形成比层间绝缘膜上表面还低的作为布线层7的导电体以及金属膜8。并且在这些布线层7以及金属膜8之上，和层间绝缘膜4之上，利用非选择沉积法形成作为布线层9的导体层。
在这种布线构造的半导体器件中，在主标记部位6上方的布线层9，形成与主标记部位6的形状相对应的台阶差部位的凹陷处10。该凹陷处10对于布线层9，用作进行刻图时的自动掩模套合的标记。在该半导体器件上，由于在上述主标记部位6的位置能正确地形成凹陷处10，所以把该凹陷处10作为标记进行刻制图形，以此可形成符合设计要求的布线。从而无刻图误差，可进行高密度布线。
作为电极引出线以及布线的金属，可使用Al、Al-Si、Al-Cu、Al-Si-Ti、Al-Si-Cu等以Al为主要成分的合金，使用Cu、Mo、W或它们的合金。特别是为了引出电极，填充接触孔时，最好采用下述的Al-CVD方法。作为绝缘膜最好采用依据CVD法和溅射法的氧化硅膜、氮化硅膜、PSG(磷硅玻璃)膜、BPSG(硼磷硅玻璃)膜等无机材料和聚酰亚胺等有机材料。为了在绝缘膜上构成布线层，通过CVD法、溅射法等在全部绝缘膜上形成金属膜后，利用光刻技术，按预定的布线形状刻制图形也可。或者预先暴露在等离子体，使绝缘膜表面的预定部分改性，只在改性了的表面部分选择沉积金属也行。
作为对准用的台阶差部位10，至少要有400 的台阶差，有500 以上更好。
参照图4，对图3中所示的半导体器件的制造方法予以说明。
首先，作为形成MOS晶体管或双极晶体管等功能元件由硅构成的导电性基底的半导体衬底1的表面上，利用CVD法形成由氧化硅构成的热氧化膜2(参照图4A)。然后在该热氧化膜2上施加保护膜图形，把离子注入热氧化膜2的预定部分后，进行热处理，形成扩散层3(参照图4B)。接着，在热氧化膜2之上通过CVD法，沉积由氮化硅构成的层间绝缘膜4，经热处理，在所得到的层间绝缘膜4上进行刻制接触孔图形后，形成腐蚀到半导体衬底1表面的接触孔5和主标记部位6，接触孔5当作电极引出线开孔，主标记部位6当作与接触孔5等同平面面积的台阶差部位(参照图4C)。进一步在得到的接触孔5和主标记部位6中，用选择沉积法沉积Al-Si，在接触孔5形成作为第1布线层7的导电体，在主标记6形成作为金属膜8的导电体。在该实施例，金属膜8低于层间绝缘膜4的上表面时，停止成膜，金属膜8做成相对于该金属膜8周围的层间绝缘膜4的凹陷状，这样构成了台阶差部位。并且在该实施例中，接触孔5和主标记部位6做成等同平面面积，所以第1布线层7和金属膜8距衬底的高度是相同的(参照图4D)。
在图4D中，在半导体衬底1的整个表面进行RF等离子处理，使该表面改性后，利用CVD法，对整个面作非选择性沉积Al-Si，形成作为第2布线层9的导电体层。其结果，主标记部位6的凹陷状反映在第2布线层9上面，构成作为台阶差的凹陷处10(参照图3)。对凹陷处10，用激光照射，检测其反射信号，进行自动掩模套合，实施刻制布线层图形，在半导体衬底1上精确地形成所要求的布线图形，这样使半导体器件的成品率提高了。
对于上述实施范例，在层间绝缘膜4之上，形成第2布线层9前，也可根据SOG(spin on glass)法，把层间绝缘膜4表面生成的凹凸整平。即应用旋涂机，以每分钟3000～6000的转速，涂敷硅烷醇化合物的有机溶剂(乙醇、酮等)溶液15-30秒。旋涂时，用异丙醇进行反冲洗(バツクリニス)。涂敷后，用电热板在80～200℃环境中加热1～3分钟，将半导体作低温烘焙。采用这样的处理措施后，层间绝缘膜的表面的凹凸几乎消失，由于得到整平了的表面，对于第2布线层，不会因凹凸产生电阻增大及台阶差的断裂。
实施例2图5是表示本发明的另一个适宜的实施例示意剖面图。图5所示的半导体器件与图3所示的半导体器件的结构不同，作为主标记部位6的台阶差部位上的金属膜11与用于引出电极的布线层12一起，高于层间绝缘膜4的上表面进行沉积构成。从而，在该例子中，在主标记部位6上方的金属膜11上面，形成相应于主标记部位6形状的凸起处13。该凸起处13和上述的凹陷处10一样，可用作刻制布线层图形的自动掩模套合基准的标记。
实施例3图6表示本发明另一适宜实施例的示意剖面图。在图6所表示的半导体器件中，图3及图5各自所示的半导体器件是不同的，作为主标记部位14的台阶差部位平面面积要充分大于作为接触孔5的开孔的平面面积。这是利用下面将说明的CVD法选择金属沉积技术特征的生长速度与孔径尺寸的依赖关系，即使用选择沉积技术，在大小不同的孔内沉积金属时，利用金属在小孔内的生长速率要比在大孔内的快这一现象。因而，在该例中，主标记部位14的金属生长速度比接触孔5的生长速度要慢。
下面，参照图7概述图6所示的半导体器件的制造方法。
首先，在半导体衬底1的主面上形成热氧化膜2后，利用保护膜图形进行离子注入，热处理，形成扩散层3。该工序与图1所示的半导体器件工序(参照图4A)是相同的(参照图7A)。然后，在热氧化膜2之上沉积层间绝缘膜4，热处理后，通过刻制接触孔图形，并腐蚀，形成作为接触孔5的开孔以及作为主标记部位14的台阶差部位。使主标记部位14的平面面积比接触孔5的要大(参照图7B)接着，通过选择沉积法，把Al-Si沉积到接触孔5和主标记部位14。当在接触孔5形成的用于引出电极的布线层的导电体15的上表面与层间绝缘膜4的上表面平齐时，停止该沉积工序。这时，根据上述选择沉积法中的尺寸依赖关系，在主标记部位14内沉积的金属膜16未达到层间绝缘膜4的上表面，相对于绝缘膜4，金属膜16成为凹陷状(参照图7C)。
据此，一方面在电极引出侧接触部位可谋求布线层15上表面和层间绝缘膜4的上表面平整化，另一方面，可把作为主标记部位14的台阶差部位的凹陷形状，用于刻制布线图形的掩模套合基准标记。
在该图7C所示的半导体衬底1的整个表面上作RF等离子体处理，使其表面改性后，在整个表面上利用CVD法进行非选择性沉积Al-Si，形成第2层布线层9。结果，主标记部位14的凹陷形状反映在布线层9之上，形成作为台阶差的凹陷处17(参照图6)。在这样形成的半导体器件中，对凹陷处17照射激光，检测其反射信号，进行自动掩模套合，刻制布线层的图形。与图3所示的凹陷处10一样，在半导体衬底1上可精确地形成所要求的布线图形。
如上所述，根据本发明，由于使用依据新的CVD方法的选择金属沉积技术，在导电性薄膜上面精确地形成对应于作为掩模套合标记用的台阶差部位形状的部分，所以当进行刻制布线层图形时，利用自动对准可在衬底表面如实地形成保护膜图形。
实施例4下面参照附图对本发明作详细说明。
图8表示本发明的半导体器件的实施范例。图8中，标号1是作为导电性基底的半导体衬底，该衬底是由形成MOS晶体管、双极晶体管等功能元件的硅等构成的。在该半导体衬底1主面的预定区域上，形成厚的场氧化膜22和薄的栅氧化膜2。在该栅氧化膜2的预定区域下面的半导体衬底1上设置扩散层3。并且在场氧化膜22及栅氧化膜2之上，形成预定厚度的层间绝缘膜4。在上述扩散层3的上方，设置作为接触孔8的开孔。该开孔是对栅氧化膜2以及层间绝缘膜4进行腐蚀等，露出扩散层3上部形成的。再在层间绝缘膜4以及其下侧的场氧化膜22预定的区域内，设置作为主标记部位6的台阶差部位，该台阶差部位是从层间绝缘膜4上面腐蚀至场氧化膜22内部而形成的。
在上述接触孔8内形成用于电极引出线的作为第1布线层7的导电体。该部位利用后面将详细说明的特别CVD法选择沉积Al等导电材料构成，且使得层间绝缘膜4的上面平齐。该第1布线层7和层间绝缘膜4之上以及主标记部位6内，通过非选择沉积法沉积导电材料，形成作为第2布线层9的导电体层。
对于这种半导体器件布线结构，在主标记部位上方的第2布线层9，形成作为台阶差的凹陷处10，该部分对应于层间绝缘膜4和主标记部位6的凹陷形状。该凹陷处10用于对第2布线层9进行刻制图形时的自动掩模套合的标记。在该半导体器件中，由于在上述主标记部位6的位置上，精确形成凹陷处10，所以才可能将该凹陷处10作为标记，进行刻制符合设计的图形，以构成布线。因不产生刻图偏差，所以可高密度布线。
作为电极引出线和布线用的金属可采用诸如Al、Al-Si、Al-Cu、Al-Si-Ti、Al-Ti、Al-Si-Cu等以Al为主要成分的合金、Cu、Mo、W或其合金。特别是在填充电极引出线的接触孔内部时，最好使用后述的Al-CVD法。作为绝缘膜，最好使用依据CVD法和溅射法的氧化硅膜、氮化硅膜、PSG(磷硅玻璃)膜、BPSG(硼磷硅玻璃)膜等无机材料和聚酰亚胺等有机材料。为了在绝缘膜上形成布线层，通过CVD法、溅射法等，在整个绝缘膜上构成金属层之后，也可利用光刻工艺将金属层刻成预定的布线形状，或预先暴露在等离子体内使绝缘膜表面预定部分改性，只在改性了的表面部分选择沉积金属也可。
作为对准标记用的台阶差，至少在400 以上较为理想，500 以上更好。
参照图9，说明图8所示的半导体器件的制造方法。
首先在拟形成MOS晶体管或双极晶体管等功能元件的硅构成的半导体衬底1表面，依照CVD法形成氧化硅构成的热氧化膜1′。在该热氧化膜1′上预定的区域，通过CVD法再沉积氮化硅膜等耐氧化性强的膜1″(参照图9A)。
接着，对上述热氧化膜1′以及耐氧化性膜1″作选择氧化，形成场氧化膜22的区域。并且除掉耐氧化性膜1″以及其下侧的热氧化膜1′，再次氧化形成栅氧化膜的层2。在该栅氧化膜2的预定区域，再沉积多硅膜(图中未示出)后，通过保护膜图形注入离子，热处理形成扩散层3(参照图9B)。然后在半导体衬底1的整个表面层，利用CVD法形成层间绝缘膜4(参照图9C)。该层间绝缘膜4是为上述的多硅膜和后述的Al-CVD膜的电绝缘而设置的。
在层间绝缘膜4上刻制接触图形，使作为电极引出线用开孔的接触孔8成孔，同时形成作为主标记的达到场氧化膜22内部的台阶差部位(参照图9D)。
再利用前述选择沉积法，在接触孔8内选择沉积Al-Si，形成作为第1布线层7的导电体，并且要使其上表面与层间绝缘膜4的上表面平齐(参照图9E)。
再次，在半导体衬底1整个表面层，即第1布线层7和层间绝缘膜4之上以及主标记部位6内部作RF等离子处理后，利用溅射法等作非选择Al-Si沉积，进行刻制图形，形成作为第2布线层9的导电体层(参照图8)。其结果，作为主标记部位6的台阶差部位的凹陷形状反映在第2布线层9上面，构成作为台阶差的凹陷处10。用激光照射该凹陷处10，检测其反射信号，进行自动掩模套合。在第2布线层9上实施刻制布线层图形，可在半导体衬底1上精确形成所要求的布线图形。
对于上述实施范例，在层间绝缘膜4上形成第2布线层9前，在层间绝缘膜4表面产生的凸凹也可用SOG(Spin on glass)法整平。即用旋涂机，以每分钟3000～6000的转速涂敷硅烷醇化合物的有机溶剂(乙醇、酮)溶液。旋涂时，作异丙醇的反冲洗(バツクリニス)。然后用电热板加热半导体衬底，温度为80～200℃进行低温烘焙1～3分钟。经此处理过的层间绝缘膜表面的凸凹几乎消失，由于获得平整的表面，所以第2布线层不产生因凸凹发生电阻增大和台阶差的断裂。
实施例5图10是表示本发明另一个适宜的实施例的示意剖面图。在图10显示的半导体器件中，标号12是形成例如双极型元件等功能元件的硅等半导体衬底。在这个半导体衬底12的主面上，形成氧化膜13，在该氧化膜13的预定的区域下侧的半导体衬底12中，形成扩散层14，在该扩散层14的上方，对氧化膜13进行蚀刻等，以便使扩散层14上部露出来。这样就设置了作为接触孔15的开孔。该接触孔15由下方部15a和上方部15b构成，下方部15a以扩散层14的上表面作为底面，而且平面面积较小，上方部15b的底面包含了下方部15a的上缘，而且平面面积较大。并且，在氧化膜13的预定的区域中，从氧化膜13的上表面蚀刻至内部，设置作为主标记部位16的台阶差。
在上述接触孔15下方部15a的内部，直至下方部15a的上缘，采用上述择沉积法，选择地沉积Al等导电材料，作引出电极用的第1布线层17。在该第1布线层17和氧化膜13上，以及主标记部位16的内部，采用非选择沉积法，沉积导电材料，设置作为第2布线层18的导电体层。在该第2布线层18的上面，接触孔15的上方和主标记部位16的上方分别形成凹陷部分19和凹陷处20。因而，在本例中作为与主标记部位16的形状相对应的台阶差的凹陷处20，在刻制布线层图形中，能用作自动掩模套合的基准标记。
这里，参考图11概略说明图10所示半导体器件的制造方法。
首先，在半导体衬底12的主面上，按预定的膜厚形成氧化膜13之后，在氧化膜13预定的区域施加光致抗蚀剂(保护膜)图形，进行离子注入，热处理，从而形成扩散层14。其次在氧化膜13上施加第1接触孔图形，在扩散层14上方的氧化膜13的预定区域形成浅的开口部位15c，同时在氧化膜13的预定区域，开出具有与开口部位15c相同深度的凹陷部位16(参见图11A)。
然后，在氧化膜13上施加第2接触孔图形，对开口部位15c的底面进行蚀刻，使扩散层14露出来，形成作为接触孔15的下方部位15a的开口，同时对开口部位15c的开口边缘的周围进行蚀刻，形成接触孔15的上方部15b(参见图11B)。
随后，采用前述的选择沉积法，在接触孔15的下方部位15a内选择地沉积Al-Si，形成作为第1布线层17的导电体，使其上表面与上方部位15b的底面平齐(参见图11C)。
之后，对半导体衬底12的整个表面层，即氧化膜13和接触孔15内的第1布线层17以及主标记部位16的内部施加RF等离子处理，在被处理部分采用溅射等方法非择地沉积Al-Si，进行刻图，从而形成作为第2布线层18的导电体层(参见图10)。其结果，在第2布线层18上面反映出作为主标记部位16的台阶差的凹陷形状，形成作为台阶差的凹陷处20。对该凹陷处照射激光，检测其反射信号，可进行自动掩模套合，在第2布线层18施行刻制布线层图形时，就能在半导体衬底12上精确地形成期望的布线图形。
如上所述，对于实施例4、5，若按新的CVD法，采用选择金属沉积技术，可以只在露出导电性的基底表面的开孔处选择地沉积导电材料，从而形成导电体。在该导电体的上表面及基底表面的绝缘膜处形成台阶差部位上，由于采用了非选择沉积法形成导电体层，这样就能在所得到的导电体层上形成与台阶差部位形状相对应的部分。把该部分用作掩模套合的标记，就可以使导电体刻图时，例如用自动对准，如实地形成期望形状的布线图形。
随后，说明在上述的实施1～5中，适合于形成布线层的成膜方法。
该方法是为了形成上述构成的电极适于向开孔填入导电材的成膜方法，其沉积速度与开孔内的基底面积有依赖关系。
所谓适于本发明的成膜方法，就是使用氢化烷基铝气体和氢气，由电子供给性衬底上的表面反应，而形成沉积膜(以下称Al-CVD法)。
特别是氢化甲基铝(MMAH)或者氢化二甲基铝(DMAH)作为原料气体，使用H2气体作为反应气体，在这些混合气体下，对衬底表面加热，就能产生优质的Al沉积膜。这里，在选择沉积Al时，采用直接加热或间接加热，使衬底表面温度最好保持在氢化烷基铝的分解温度以上，450℃以下，更好的是260℃以上，440℃以下。
作为使衬底处于上述温度范围的加热方法，有直接加热和间接加热，但如果用直接加热使衬底保持在上述温度，则能够以高的沉积速度形成优质的Al膜。例如，Al膜形成的衬底表面温度处于较好的温度范围260～440℃时，甚至能以比电阻加热的情况还高的沉积速度3000～5000
/分钟获得优质膜。作为这种直接加热(从加热装置来的能量被直接传送给衬底，加热衬底本身)的方法，例如可以是卤素灯、氙灯等灯加热。此外，间接加热方法有电阻加热，是利用衬底支持部件中设置的发热体进行制造的，该衬底支持部件是配置在为了支持拟形成沉积膜的衬底的沉积膜形成用空间里的。
根据该方法，如果CVD法适用于电子供给性表面部分和非电子供给性表面部分共存的衬底，仅在电子供给性衬底表面部分具有良好的选择性的条件下，能形成Al的单晶体。作为电极/布线材料的Al具有一切所期望的优良特性。即小丘发生概率低、合金尖峰发生概率也低。
这样，在由作为电子供给性表面的半导体和导电体组成的表面上，可选择地形成优质Al，并且Al的结晶性良好，因而由与衬底的硅等的共晶反应而形成的合金尖峰几乎观察不到或者认为极少。因而，用以作为半导体器件的电极的情况下，超越了传统所认为的Al电极的概念，获得了已有技术所不能预料的效果。
虽然做了如上的在电子供给性表面例如绝缘膜形成的露出半导体衬底表面的开孔内，沉积的Al呈单晶体构造的说明，但如果采用这种Al-CVD法，也能选择地沉积以Al为主要成分的金属膜，并且也具有优良的膜质量。
例如，在氢化烷基铝气体和氢气中添加SiH4、Si2H6、Si3H3、Si(CH3)4、SiCl4、SiH2Cl2、SiHCl3等含Si原子的气体，TiCl4、TiBr4、Ti(CH3)4等含Ti原子的气体，及双乙酰丙酮铜Cu(C5H7O2)2、双二叔戊酰甲烷铜Cu(C11H17O2)2、双六氟乙酰丙酮铜Cu(C5HF6O2)2等含Cu原子的气体，将其适当组合，作为混合气体气氛，选择地沉积例如Al-Si、Al-Ti、Al-Cu、Al-Si-Ti、Al-Si-Cu等导电材料，从而也可以形成电极。
此外，上述的Al-CVD法是一种良好的选择性的成膜方法，而且为了使沉积膜表面性能良好，在第二沉积工序中应用非选择性的成膜方法，在上述选择沉积的Al膜和作为绝缘膜的SiO2等上面，形成Al或者以Al为主要成分的金属膜，由此，可以获得作为半导体器件布线的通用性高的良好金属膜。
所说的金属膜具体如下，选择沉积的Al、Al-Si、Al-Ti、Al-Cu、Al-Si-Ti、Al-Si-Cu和非选择沉积的Al、Al-Si、Al-Ti、Al-Cu、Al-Si-Ti、Al-Si-Cu的组合等。
用于非选择沉积的成膜方法，除了上述的Al-CVD法以外，还有CVD法或溅射法等。
(成膜装置)以下，对适用于本发明的电极形成的成膜装置进行说明。
图12～图14示意地显示了适用于上述成膜方法的适宜的金属膜连续形成装置。
该金属膜连续形成装置，如图12所示，由借助闸阀310a～310f，在隔断外部气体的情况下，可以连通而相互连接的装载锁气室311、作为第1成膜室的CVD、反应室312、RF腐蚀室313、作为第2成膜室的溅射室314以及装载锁气室315构成。由排气系统316a～316e分别对各室排气使其能够减压。前述的装载锁气室311是为了提高生产效率，将沉积处理前的衬底的气氛抽出后，置换成H2气气氛的室。接下来的CVD反应室312是用来在衬底处于常压或减压条件下，采用上述Al-CVD法，进行选择沉积的室，其内部设置了具有至少能把拟成膜的衬底表面加热到200～450℃的范围的发热电阻317的衬底支架318。同时，在起泡器319-1内，用氢气使氢化烷基铝等原料气体起泡气化，并通过CVD用的原料气体导入管道319导入室内，并且作为反应气体的氢气也由气体管道319′导入。RF腐蚀室313是用来在Ar气气氛中，对选择沉积后的衬底表面进行清洗(腐蚀)的室，其内部设有能把衬底至少加热到100～250℃范围的衬底支架320和RF腐蚀电极管线321，同时接有Ar气供给管道322。溅射室314是用来在Ar气气氛中，通过溅射在衬底表面上进行非选择地沉积金属膜的室，内部设有至少能加热至200～250℃范围的衬底支架323，并安装了溅射靶材324a的靶电极324，同时接有Ar气供给管道325。最后的装载锁气室315是用来对完成金属膜沉积之后的衬底在取出到外部大气之前，用H2气置换气氛，进行调整的室。
图13显示了适用于上述成膜方法的适宜的金属膜连续形成装置的又一构成实例。与前述图12相同的部分用同一标号表示。图13的装置与图12的装置之差异在于，设置卤素灯330作为直接加热手段，对衬底表面直接加热。为此，在衬底支架312上配置了能使衬底保持在浮起状态的卡爪331。
按照此种构成对衬底表面直接加热，可以像前述那样更加提高沉积速度。
上述构成的金属膜连续形成装置实际如图14所示，作为中继室的传送室326实质上等价于把前述的装载锁气室311、CVD反应室312、RF腐蚀室313、溅射室314以及装载锁气室315互相连接的构造。在此种构成中，装载锁气室311兼做装载锁气室315用。如图所示，所说的传送室326内设置了臂327作为传送装置，即能在AA方向正反向旋转，又能在BB方向伸缩。利用该臂327，能在不暴露于外部气体的情况下，按照图15箭头所示方向，根据工序，依次地把衬底从装载锁气室311连续地传送至CVD室312、RF腐蚀室313、溅射室314以及装载锁气室315。(成膜工序)对用于形成本发明的电极和布线的成膜工序予以说明。
图16是说明用于形成本发明的电极和布线的成膜工序的示意透视图。
首先做概略说明，准备好在绝缘膜上形成了开孔的半导体衬底，将该衬底配置在成膜室内，使其表面保持在例如260～450℃，采用在作为氢化烷基铝的DMAH气体和氢气的混合气氛中的热CVD法，在开孔内露出的半导体部分，选择地沉积Al。当然，也可以如前述那样导入含Si原子等的气体，选择沉积Al-Si等以Al为主要成分的金属膜。随后，在选择沉积的Al和绝缘膜上，采用溅射法非选择地形成Al或以Al为主要成分的金属膜。之后，如果对非选择沉积的金属膜按期望的布线形状进行刻图处理，则可形成电极和布线。
以下参照图13～图16做具体说明。首先，准备好衬底，例如在单晶Si片上形成设有各种口径开孔的绝缘膜备作衬底。
图16A是显示该衬底的一部分的示意图。其中401是作为传导性衬底的单晶硅衬底，402是作为绝缘膜(层)的热氧化硅膜。403和404是开孔(露出部位)，口径各不相同。
在衬底上，构成电极的第1布线层，如果按图13所示进行，则Al的成膜过程如下。
首先，在装载锁气室311内配置上述衬底。按前述那样，把氢气导入装载锁气室311，使之处于氢气气氛中。然后，用排气系统316b把反应室312排气至大约1×10-8Torr。但是，即使反应室312的真空度劣于1×10-8Torr也能形成Al膜。
随后，通过气体管道319供给经起泡了的DMAH气体。采用H2气作DMAH管道中的携带气体。
第2气体管道319′用于反应气体H2，H2从第2气体管道流过，通过控制慢渗漏阀的开口(未示出)，将反应室312内的压力控制在预定值。在此情况下，典型的压力最好是大约1.5Torr。通过DMAH管道把DMAH导入反应室内。使总压强大约在1.5Torr，DMAH分压强大约在5.0×10-3Torr。然后，使卤素灯330通电，对晶片直接加热。这样可以选择沉积Al。
经过预定的沉积时间后，立即停止供给DMAH。在这个过程中，沉积Al膜的预定沉积时间是指，Si(单晶硅衬底1)上的Al膜厚度变到等于SiO2(热氧化硅膜2)膜的厚度所需的时间，可预先通过实验求出。
此时通过直接加热的衬底表面的温度大约在270℃。随着至此的工序，如图16B所示，Al膜405选择地沉积在开孔内。
以上称为在接触孔内形成电极的第1成膜工序。
在上述第1成膜工序之后，用排气系统316b把CVD反应室312排气至5×10-3Torr以下的真空度。同时把RF腐蚀室313排气至5×10-6Torr以下。在确认两室已达到上进真空度之后，打开闸阀310c，用传送装置把衬底从CVD反应室312传到RF腐蚀室313，然后关闭闸阀310c。在把衬底传送到RF腐蚀室313之后，用排气系统316c把RF腐蚀室313排气至10-6Torr以下的真空度。之后，由RF腐蚀用的氩气供给管道322供给氩气，使RF腐蚀室313的氩气气氛保持10-1～10-3Torr。使RF腐蚀用的衬底支架320保持在200℃，给RF腐蚀用的电极321施加60秒的100WRF电能，激发RF腐蚀室313内的氩气放电。由此，可用氩离子腐蚀衬底的表面，除掉CVD沉积膜上不需要的表面层。此时的腐蚀深度大约相当于氧化物的厚度100 。这里，CVD沉积膜的表面腐蚀是在RF腐蚀室内进行的，但是由于在真空中传送的衬底其CVD膜表面层不接触大气中的氧，即使不进行RF腐蚀也是可行的。此时，当CVD反应室312与溅射室314之间的温差较大时，RF腐蚀室313起着在短时间内实现温度变化室的作用。
在RF腐蚀室313内，完成RF腐蚀后，停止氩气的进气，并排出RF腐蚀室313内的氩气。把RF腐蚀室313排气至5×10-6Torr，并把溅射室314排气至5×10-6Torr以下之后，打开闸阀310d。随后，把衬底用传送装置从RF腐蚀室313传送到溅射室314，并关闭闸阀310d。
在衬底传送到溅射室314之后，使溅射室314处于与RF腐蚀室313同样的10-1～10-3Torr的氩气气氛，把装载着衬底的衬底支架323的温度设置在200～250℃。然后，用5～10KW的直流电能使氩气放电，用氩离子刮削Al或Al-Si(Si∶0.5%)等靶金属，以10000 /分的沉积速度在衬底上形成Al或Al-Si等金属膜。此工序是非选择的沉积工序，被称为形成与电极连接的布线的第2成膜工序。
在衬底上形成大约5000 的金属膜之后，停止供给氩气，并停止施加直流电能。把装载锁气室311排气到5×10-3Torr以下，然后打开闸阀310e，移动衬底。关闭闸阀310e，然后向装载锁气室311供给氮气，直至达到大气压，打开闸阀310f，从设备中取出衬底。
根据上述的第2Al膜沉积工序，可如图16C所示，在SiO2膜402上形成Al膜406。
而且，可以将Al膜406刻成图16D所示的图形，得到所期望的布线形状。
(实验例)以下将介绍上述Al-CVD法的优点所在，并根据实验结果说明由此如何使开孔内沉积的Al成为优质膜。
首先，对作为衬底的N型单晶硅片表面进行热氧化，形成8000 的SiO2，并刻出从0.25μm×0.25μm到100μm×100μm的各种口径的开孔，使基底的Si单晶露出，这样的硅片准备多个。(样品1-1)采用以下条件的Al-CVD法形成Al膜，以DMAH作为原料气体，以氢作为反应气体，总压强为1.5Torr，DMAH分压强为5.0×10-3Torr，在这样的共同条件下，控制施加给卤素灯的电能进行直接加热，使衬底表面温度保持在200℃～490℃范围，进行成膜。
其结果如表1所示。
由表1可知，当直接加热的衬底表面温度在260℃以上时，Al以3000～5000 /分的高沉积速度选择地沉积在开孔内。
当衬底表面温度处于260～440℃范围内时，对开孔内的Al膜特性进行测验，未发现含有碳，电阻率为2.8～3.4μΩcm，反射率为90-95%，1μm以上小丘密度为0～10cm-2，几乎不产生尖峰(0.15μm结的损坏率)，可见其特性良好。
相反，当衬底表面温度为200～250℃时，膜的质量比260～440℃时要差一些，但与已有技术的膜相比还是相当好的。而且1000～1500 /分的沉积速度绝不能说是十分地高，7-10片/小时的生产效率也比较低的。
当衬底表面温度为450℃以上时，反射率为60%以下，1μm以上的小丘密度为10～104cm-2，合金尖峰产生为0～30%，因而开孔内Al膜的特性低劣。
以下将说明上述方法是如何能适用于接触孔或通孔这类开孔的。
即它可较好地适用于由下述材料构成的接触孔/通孔的结构。
在与样品1-1上形成Al膜时相同的条件下，在具有如下所述结构的衬底(样品)上形成Al膜。
在作为第1衬底表面材料的单晶硅上，用CVD法形成氧化硅膜作为第2衬底表面材料，由光刻工序进行刻图，使单晶硅表面部分地露出来。
此时，热氧化SiO2膜的厚度为8000 ，单晶硅的露出部位即开口的尺寸为0.25μm×0.25μm～100μm×100μm。这样就制得了样品1-2(下文把样品写成“CVD SiO2(以下略为SiO2)/单晶硅”)。
样品1-3是用常压CVD形成的掺硼氧化膜(以下略为BSG)/单晶硅。
样品1-4是用常压CVD形成的掺磷氧化膜(以下略为PSG)/单晶硅。
样品1-5是用常压CVD形成的掺硼和掺磷的氧化膜(以下略为BPSG)/单晶硅。
样品1-6是用等离子CVD形成的氮化膜(以下略为P-SiN)/单晶硅。
样品1-7是热氮化膜(以下略为T-SiN)/单晶硅。
样品1-8是用减压CVD形成的氮化膜(以下略为LP-SiN)/单晶硅。
样品1-9是用ECR设备形成的氮化膜(以下略为ECR-SiN)/单晶硅。
以下是第1衬底表面材料(18种)与第2衬底表面材料(9种)的全组合而构成的样品1-11～179(注其中缺样品号1-10、20、30、40、50、60、70、80、90、100、110、120、130、140、150、160及170)。作为第1衬底表面材料的有单晶硅(单晶Si)、多晶硅(多晶Si)、非晶硅(非晶Si)、钨(W)、钼(Mo)、钽(Ta)、硅化钨(WSi)、硅化钛(TiSi)、铝(Al)、铝一硅(Al-Si)、铝一钛(Al-Ti)、氮化钛(Ti-N)、铜(Cu)、铝-硅-铜(Al-Si-Cu)、铝-钯(Al-Pd)、钛(Ti)、硅化钼(Mo-Si)以及硅化钽(Ta-Si)。作为第2衬底表面材料的有T-SiO2、SiO2、BSG、PSG、BPSG、P-SiN、T-SiN、LP-SiN以及ECR-SiN。以上所有样品均可形成与样品1-1相比的良好Al膜。
接着，在具有如上所述选择沉积Al的衬底上，用溅射方法选择地地沉积Al，然后刻图。
结果，由于开孔内Al膜的表面特性良好，由溅射方法得到的Al膜和开孔内选择沉积的Al膜，在电学和机械两方面均能经久保持高的接触状态。
权利要求
1.一种通过绝缘膜在导电性基底表面上形成导电性薄膜的半导体器件的对准方法，其特征在于包括在所述绝缘膜上至少形成两个露出所述基底表面的开孔的步骤；在所述开孔内选择地沉积导电材料，在所述开孔中的至少一个内形成台阶差的步骤；以及至少在所述绝缘膜上形成所述导电性薄膜的步骤并且利用所述台阶差进行对准。
2.一种具有通过绝缘膜在导电性基底表面上设置的布线层的半导体器件的制造方法，其特征在于包括在所述绝缘膜上至少形成两个露出所述基底表面的开孔的步骤;在所述开孔内选择地沉积导电材料，在所述开孔中的至少一个内形成台阶差的步骤;用于至少在所述绝缘膜上形成所述布线层的导电性薄膜的形成步骤;以及对所述导电性薄膜进行刻图形成所述布线层的步骤。
3.一种根据权利要求2的半导体器件的制造方法，其特征在于，在所述形成开孔的步骤中，把为了形成台阶差的开孔的平面面积做成不同于其它开孔的平面面积。
4.一种根据权利要求3的半导体器件的制造方法，其特征在于，当其它开孔内形成的导电体与绝缘膜平齐时，即停止向用于形成所述台阶差的开孔内沉积导电材料。
5.一种根据权利要求2、3、4中任一项的半导体器件的制造方法，其特征在于，通过采用氢化烷基铝气体和氢气的CVD方法，向所述开孔沉积导电材料。
6.一种根据权利要求5的半导体器件的制造方法，其中所述的氢化烷基铝是氢化二甲基铝。
7.一种通过绝缘膜在导电性基底表面上形成导电性薄膜的半导体器件的对准方法，其特征在于包括在所述绝缘膜上形成露出所述基底表面的开孔的步骤;在所述绝缘膜上形成不露出所述基底表面的台阶差的步骤，以及在所述开孔内选择地沉积导电材料的步骤;至少在所述绝缘膜上形成所述导电性薄膜的步骤;并且利用所述台阶差进行对准。
8.一种具有通过绝缘膜在导电性基底表面上设置的布线层的半导体器件的制造方法，其特征在于包括在所述绝缘膜上形成露出所述基底表面的开孔的步骤;在所述绝缘膜上形成不露出所述基底表面的台阶差的步骤;在所述开孔内选择地沉积导电材料的步骤;为了至少在所述绝缘膜上形成所述布线层而形成导电薄膜的步骤;以及对所述导电性薄膜进行刻图，形成所述布线层的步骤。
9.一种根据权利要求8的半导体器件的制造方法，其特征在于，通过采用氢化烷基铝气体和氢气的CVD方法，形成所述布线层。
10.一种根据权利要求9的半导体器件的制造方法，其特征在于，所述氢化烷基铝是氢化二甲基铝。
全文摘要
一种通过绝缘膜在导电性基底表面上形成导电性薄膜的半导体器件的对准方法，其特征在于包括在所述绝缘膜上至少形成两个露出所述基底表面的开孔的步骤；在所述开孔内选择地沉积导电材料，在所述开孔中至少一个内形成台阶差的步骤；以及至少在所述绝缘膜上形成所述导电性薄膜的步骤；并且利用所述台阶差进行对准。
文档编号H01L23/544GK1061872SQ91105290
公开日1992年6月10日 申请日期1991年6月29日 优先权日1990年6月29日
发明者冈部隆彦, 門間玄三, 讓原浩 申请人:佳能株式会社