光阻剂剩余量的监测装置、监控方法和芯片制造装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本申请涉及半导体制造技术领域，更具体地，涉及一种光阻剂剩余量的监测装置、 监控方法和芯片制造装置。
【背景技术】
[0002] 晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆； 在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的产品。
[0003] 在制造晶圆的过程中，需要对硅片进行光刻处理。现有技术中采用芯片制造装置 (例如：光刻机）进行光刻工艺处理，硅片进入芯片制造装置内部，需要在沉积过后的硅片表 面涂敷光阻剂进行光刻。
[0004] 该芯片制造装置内部的黄光区内可同时放置多种类型的光阻剂，这些光阻剂均装 在容积为4升(或1加仑，美制1加仑=3. 785升)的塑料瓶或者玻璃瓶内。由于光阻剂是一 种感光介质，且黄光区有特殊的生产要求，因而上述承载光阻剂所用的光阻瓶均为不透明 的塑料瓶或者玻璃瓶，从而使得工作人员很难观察每瓶光阻剂的剩余量，无法对光阻瓶内 光阻剂的剩余状态进行监控，给生产带来了不便。
[0005] 另外，光阻剂具有成本高、易过期、需经常更换、种类繁多的特点，并且光阻剂经过 退冰后是有保质期的，因而如果使用已过期的光阻剂对产品进行加工，会导致产品质量出 现问题。正是由于现有技术无法对光阻瓶内的光阻剂剩余量进行监控，因而导致很多光阻 剂因为没有及时用完而过期，从而造成了生产浪费。
【发明内容】
[0006] 本申请旨在提供一种光阻剂剩余量的监测装置、监控方法和芯片制造装置，以解 决现有技术中光阻剂剩余量无法监控的问题。
[0007] 为解决上述技术问题，本申请的一个方面提供了一种光阻剂剩余量的监测装置， 包括：获取单元，以获取各种类产品的出货数量；计算单元，与获取单元连接，以根据各种 类产品的出货数量、各种类产品使用的不同光阻剂的单位产品光阻剂用量及每种光阻剂的 光阻剂初始量，确定每种光阻剂的光阻剂剩余量；存储单元，与计算单元连接，以存储每种 光阻剂的光阻剂剩余量和更新光阻剂初始量。
[0008] 进一步地，监测装置还包括显示单元，与存储单元连接，以显示光阻剂剩余量和/ 或光阻剂的类型。
[0009] 进一步地，监测装置还包括扫描单元，以扫描光阻剂上的更换时间标识，扫描单元 与显示单元连接，显示单元以显示光阻剂的更换时间。
[0010] 进一步地，监测装置还包括：开关元件，用于在更换光阻剂时发出开关量信号；计 时单元，计时单元与开关元件连接，开关元件发送开关量信号用于启动或停止计时单元；报 警单元，计时单元与报警单元连接，以在光阻剂将要过期时报警提示。
[0011] 进一步地，监测装置还包括用于称量光阻剂的称重单元。
[0012] 进一步地，获取单元为计数器。
[0013] 进一步地，开关元件为接触式传感器。
[0014] 本申请的另一个方面在于提供了一种芯片制造装置，包括上述的监测装置。
[0015] 进一步地，该芯片制造装置包括控制单元，控制单元与监测装置的计算单元连接， 用于根据计算单元确定的光阻剂剩余量调整产品的生产种类。
[0016] 本申请的再一个方面提供了一种光阻剂剩余量的监控方法，包括：步骤S1 :获取 各种类产品的出货数量；步骤S2 :根据各种类产品使用的不同光阻剂，查询得到每种光阻 剂的光阻剂初始量；步骤S3 :根据各种类产品的出货数量、各种类产品使用的不同光阻剂 的单位产品光阻剂用量及每种光阻剂的光阻剂初始量，确定每种光阻剂的光阻剂剩余量， 并存储每种光阻剂的光阻剂剩余量和更新所述光阻剂初始量。
[0017] 进一步地，光阻剂的光阻剂初始量为上一次使用后该光阻剂的光阻剂剩余量。
[0018] 进一步地，根据下述公式（1)确定光阻剂剩余量：
【主权项】
1. 一种光阻剂剩余量的监测装置，其特征在于，包括： 获取单元（10 )，以获取各种类产品的出货数量； 计算单元（20)，与所述获取单元（10)连接，以根据所述各种类产品的出货数量、所述 各种类产品使用的不同光阻剂的单位产品光阻剂用量及每种所述光阻剂的光阻剂初始量， 确定每种所述光阻剂的光阻剂剩余量； 存储单元（30)，与所述计算单元（20)连接，以存储每种所述光阻剂的光阻剂剩余量和 更新所述光阻剂初始量。
2. 根据权利要求1所述的监测装置，其特征在于，所述监测装置还包括显示单元（40)， 与所述存储单元（30)连接，以显示所述光阻剂剩余量和/或所述光阻剂的类型。
3. 根据权利要求2所述的监测装置，其特征在于，所述监测装置还包括扫描单元（50)， 以扫描所述光阻剂上的更换时间标识，所述扫描单元（50)与所述显示单元（40)连接，所述 显示单元（40)以显示所述光阻剂的更换时间。
4. 根据权利要求1所述的监测装置，其特征在于，所述监测装置还包括： 开关元件（60 )，用于在更换所述光阻剂时发出开关量信号； 计时单元（70)，所述计时单元（70)与所述开关元件（60)连接，所述开关元件（60)发送 所述开关量信号用于启动或停止所述计时单元（70); 报警单元（80)，所述计时单元（70)与所述报警单元（80)连接，以在所述光阻剂将要过 期时报警提示。
5. 根据权利要求1所述的监测装置，其特征在于，所述监测装置还包括用于称量所述 光阻剂的称重单元。
6. 根据权利要求1所述的监测装置，其特征在于，所述获取单元（10)为计数器。
7. 根据权利要求4所述的监测装置，其特征在于，所述开关元件（60)为接触式传 感器。
8. -种芯片制造装置，其特征在于，包括权利要求1至7中任一项所述的监测装置。
9. 根据权利要求8所述的芯片制造装置，其特征在于，所述芯片制造装置包括控制单 元（90 )，所述控制单元（90 )与所述监测装置的计算单元（20 )连接，用于根据所述计算单元 (20)确定的光阻剂剩余量调整产品的生产种类。
10. -种光阻剂剩余量的监控方法，其特征在于，包括： 步骤Sl :获取各种类产品的出货数量； 步骤S2 :根据所述各种类产品使用的不同光阻剂，查询得到每种所述光阻剂的光阻剂 初始量； 步骤S3 :根据所述各种类产品的出货数量、所述各种类产品使用的不同光阻剂的单位 产品光阻剂用量及每种所述光阻剂的光阻剂初始量，确定每种所述光阻剂的光阻剂剩余 量，并存储每种所述光阻剂的光阻剂剩余量和更新所述光阻剂初始量。
11. 根据权利要求10所述的监控方法，其特征在于，所述光阻剂的光阻剂初始量为上 一次使用后该所述光阻剂的光阻剂剩余量。
12. 根据权利要求11所述的监控方法，其特征在于，根据下述公式（1)确定所述光阻剂 剩余量： D- ^_ 公式（I) C 其中，Ai为某一种类产品的出货数量；Bi为与所述某一种类产品对应的某一种所述光 阻剂的单位产品光阻剂用量；C为上一次使用后该某一种所述光阻剂的光阻剂剩余量；D为 所述光阻剂剩余量；i > 1。
13. 根据权利要求10所述的监控方法，其特征在于，所述监控方法还包括在所述步骤 S3之后的步骤S4 :显示每种所述光阻剂的光阻剂剩余量及类型。
14. 根据权利要求10所述的监控方法，其特征在于，所述监控方法还包括监控所述光 阻剂的更换时间的步骤。
15. 根据权利要求14所述的监控方法，其特征在于，监控所述光阻剂的更换时间的步 骤包括： 步骤SlO :将更换时间标识贴附在所述光阻剂上； 步骤S20 :扫描所述更换时间标识； 步骤S30 :显示所述更换时间标识的时间信息。
16. 根据权利要求10所述的监控方法，其特征在于，所述监控方法还包括报警步骤：预 设所述光阻剂的报警区间，当所述光阻剂剩余量处于所述报警区间内时，提示报警。
17. 根据权利要求10所述的监控方法，其特征在于，所述监控方法还包括生产调整步 骤：预设所述光阻剂的调整区间，当所述光阻剂剩余量处于所述调整区间内时，调整所述产 品的生产种类。
【专利摘要】本发明提供了一种光阻剂剩余量的监测装置、监控方法和芯片制造装置。监测装置包括：获取单元，以获取各种类产品的出货数量；计算单元，与获取单元连接，以根据各种类产品的出货数量、各种类产品使用的不同光阻剂的单位产品光阻剂用量及每种光阻剂初始量，确定每种光阻剂的光阻剂剩余量；存储单元，与计算单元连接，以存储每种光阻剂的光阻剂剩余量和更新光阻剂初始量。由于根据上述信息可以确定每种光阻剂的光阻剂剩余量，因而工作人员可以对光阻剂剩余量进行实时监控，从而为工作人员合理安排生产进度提供了可靠的参考依据，提高了光阻剂的使用率，减少了生产浪费并提高了生产效益。
【IPC分类】H01L21-66
【公开号】CN104658934
【申请号】CN201310577894
【发明人】方利, 黄亮, 张宛铮
【申请人】中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2013年11月18日